тянутый хвост со стороны меньших энергий пика упругого рассеяния, обусловленный потерями энергии при многократном рассеянии и неупругих столкновениях в глубоких слоях образца.

С увеличением энергии первичного пучка в спектре рассеянных ионов наблюдается уширение пика упругих потерь и появление затянутого хвоста со стороны меньших энергий, обусловленного неупругими потерями при проникновении в более глубокие поверхностные слои образца. Так, на рис.4.7 представлены спектры рассеяния ионов Не+ на поверхности золота при энергиях первичного

пучка ионов E0 = 2 , 5, 10 и 25 кэВ. Отсутствие указанного хвоста

в спектре рассеяния медленных ионов свидетельствует о том, что в этом случае рассеяние без изменения зарядового состояния ионов происходит, главным образом, на атомах первого поверхностного слоя, а рассеяние на более глубоких атомных слоях сопровождается нейтрализацией.

Рис.4.7. Спектры рассеяния медленных, средних и быстрых ионов Не+ на поверхности Au [7]

4.6. Структурные эффекты в СРМИ

Как уже упоминалось во введении, с помощью метода СРМИ можно не только идентифицировать элементный состав поверхно-

163