
- •Введение
- •1.2. Феноменологические теории кинетики адсорбции.
- •1.2.2 Теория Лэнгмюра.
- •1.2.3 Электронные переходы при химической адсорбции на поверхности полупроводников.
- •1.2.4. Влияние размеров кристалла на его адсорбционные свойства.
- •1.4 Влияние паров аммиака на характеристики p-n переходов GaAs.
1.4 Влияние паров аммиака на характеристики p-n переходов GaAs.
В работе [Влияние газовой среды на поверхностный ток в
p-n гетероструктурах на основе GaAs-AlGaAs] авторы исследовали влияние паров воды, этилена, ацетона и аммиака на вольт - амперные
характеристики прямого тока двойных гетероструктур (ПГС ) на основе AlGaAs -GaAs . Пары воды, этилена и ацетона лишь незначительно меняли поверхностный ток ПГС, в то время как пары аммиака значительно увеличивали его. Дополнительный ток, обусловленный
адсорбцией молекул NH3, линейно зависел от напряжения, что можно объяснить образованием ведущего поверхностного канала в p-n переходе. Изучена кинетика изменения поверхностного тока при изменении газовой среды. Время нарастания тока при помещении ПГС в атмосферу NH3 составлял 20- 60с, а время падения тока при следующем переносе ПГС в
воздух - 2-8 с. Установлено, что величина поверхностного тока линейно зависит от парциального давления паров NH3 в диапазоне 102-104 Па, что можно использовать для создание сенсора данных паров.
[Туннельный
поверхностный ток в p-n
переходах на основе GaAs
– AlGaAs,
обусловленный адсорбцией молекул
аммиака]
Исследовано влияние паров аммиака на
ВАХ прямого и обратного токов и на
кинетику поверхностных токов в p-n
переходах на основе GaAs
– AlGaAs
с вырожденной
областью. Показано, что адсорбция молекул
аммиака при достаточно высоком парциальном
давлении
,
создает p-
AlGaAs
поверхностный проводящий канал с
вырожденными электронами. P-n
переходы с вырожденной
областью имеют более высокую газовую
чувствительность при обратном смещении
, чем при прямом смещении. Этот эффект
объясняется туннельной инжекцией
электронов в проводящий канал из
вырожденной
области при обратном смещении. Время
нарастания поверхностного тока ~20c
в парах аммиака связано с заполнением
глубоких электронных ловушек.
[ВЛИЯНИЕ ПАРОВ АММИАКА НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРОБОЯ P-N ПЕРЕХОДОВ НА ОСНОВЕ Si И GaAs] Исследовано влияние паров аммиака и воды на вольт - амперные характеристики обратных токов в p-n переходах на основе Si и GaAs . В большинстве исследованных образцов пары аммиака и воды уменьшают напряжение пробоя. На некоторых образцах наблюдался обратный эффект. Эта разница обусловлена доминированием различных поверхностных центров, имеющих донорные или акцепторные свойств . Некоторые p-n переходы имеют фиксированную напряжение пробоя независимо от присутствия паров аммиака и воды . Данное поведение обусловлено локализацией пробоя в объеме кристалла в таких образца . Таким образом , влияние паров аммиака на напряжение пробоя дает информацию о локализации пробоя и о зарядовых состояние поверхностных центров.