
- •Учебно - методический комплекс
- •Наименование тем лекционных занятий
- •Лабораторные работы по дисциплине
- •Методические указания к изучению дисциплины
- •Структура учебного курса
- •Глава 1. Особенности датчиковой аппаратуры
- •1.1. Понятие «датчик». Классификация датчиков
- •1.2. Характеристики датчиков
- •1.3. Метрологическое обеспечение датчиков
- •Температура
- •1.4. Принципы выбора датчиков
- •Глава 2. Принципы преобразования в датчиках
- •2.1. Реостатные преобразователи
- •2.2. Индуктивные и трансформаторные преобразователи
- •2.3. Струнные и стержневые преобразователи
- •2.4. Ультразвуковые преобразователи
- •Скорость распространения в твердом теле
- •2.5. Индукционные преобразователи
- •2.6. Термоэлектрические преобразователи
- •2.7. Пьезоэлектрические преобразователи
- •2.8. Преобразователи с устройствами пространственного кодирования
- •2.9. Гироскопические приборы и устройства
- •2.9.1. Трехстепенные гироскопы
- •2.9.2. Двухстепенные гироскопы
- •Глава 3. Волоконно-оптические датчики
- •3.1. Взаимодействие оптического излучения с оптическими средами
- •3.2. Принципы преобразования в волоконно-оптических датчиках физических величин
- •3.3. Амплитудные вод (вод с модуляцией интенсивности)
- •3.4. Волоконно-оптические датчики поляризационного типа
- •3.5. Волоконно-оптические датчики на основе микромеханических резонаторов, возбуждаемых светом
- •3.6. Характеристики микрорезонаторных вод физических величин
- •3.7. Оптическое мультиплексирование вод физических величин
- •3.8. Волоконно-оптические гироскопы
- •3.9. Оптические элементы, используемые в волоконно-оптических датчиках
- •Глава 4. Особенности проектирования датчиков давления
- •4.1. Задачи измерения давления
- •4.2. Принципы построения аналоговых и дискретных датчиков давления
- •4.3. Воздействие влияющих факторов на датчики давления
- •4.4. Динамические погрешности при измерении переменных давлений
- •4.5. Особенности эксплуатации и монтажа датчиков давления
- •Глава 5. Датчики температуры и тепловых потоков
- •5.1. Физические основы температурных измерений
- •Значения длин волн, соответствующих спектральному максимуму излучения и полная спектральная светимость для различных температур абсолютно черного тела
- •5.2. Погрешности температурных измерений контактными датчиками
- •5.3. Основные задачи измерений тепловых потоков
- •5.4. Классификация датчиков теплового потока
- •5.5. Физические модели «тепловых» датчиков теплового потока
- •5.6. Бесконтактные измерители температуры
- •5.7. Тепловые фотоприемники
- •5.8. Применение пироэлектриков
- •Глава 6. Компоненты и датчики, управляемые магнитным полем
- •6.1. Магнитоупругие преобразователи
- •6.2. Гальваномагниторекомбинационные преобразователи
- •6.3. Датчики Виганда
- •Глава 7. Особенности проектирования и применения биологических, химических, медицинских датчиков
- •7.1. Биосенсоры
- •7.2. Датчики газового состава
- •7.3. Химические измерения
- •7.4. Медицинские датчики
- •Глава 8 «интеллектуальные» датчики
- •8.1. Особенности «интеллектуальных» датчиков физических величин
- •8.2. Функциональные возможности и требования, предъявляемые к «интеллектуальным» датчикам
- •8.3. Микропроцессорные модули для интеллектуальной обработки информации
- •8.4. Измерительный канал «интеллектуальных» датчиков
- •8.5. Основные критерии выбора микроконтроллера
- •8.6. Универсальный интерфейс преобразователя
- •8.7 Стандартизация интерфейсов «интеллектуальных» датчиков (семейство ieee р 1451)
- •8.8. Коррекция ошибок в «интеллектуальных» датчиках
- •8.9. Перспективы разработки и производства изделий интеллектуальной микросенсорики в Республике Беларусь
- •8.10. Примеры реализации «интеллектуализации» датчиков
- •Глава 9. Сопряжение преобразователей с измерительной аппаратурой
- •9.1. Схемы соединений измерительных преобразователей
- •9.2. Температурная компенсация тензометров
- •9.3. Температурная компенсация с помощью мостовых схем
- •9.4. Установка тензометров
- •9.5. Шумы
- •9.6. Защитные кольца
- •9.7. Случайные шумы
- •9.8. Коэффициент шума
- •Глава 10 особенности исполнения и испытаний датчиков
- •10.1. Исполнение в зависимости от воздействия климатических факторов внешней среды
- •10.2. Исполнение в зависимости от степени защиты от воздействия твердых тел (пыли) и пресной воды
- •10.3. Исполнение в зависимости от устойчивости к воздействию синусоидальной вибрации
- •10.4. Надежность датчиков
- •Литература
- •Содержание
- •Глава 1. Особенности датчиковой аппаратуры 81
- •Глава 2. Принципы преобразования в датчиках 110
- •2.9.1. Трехстепенные гироскопы 171
- •2.9.1.6. Вибрационный гироскоп 176
- •2.9.2. Двухстепенные гироскопы 177
- •Глава 3. Волоконно-оптические датчики 182
- •Глава 4. Особенности проектирования
- •Глава 5. Датчики температуры и
- •Глава 6. Компоненты и датчики,
- •Глава 7. Особенности проектирования
- •Глава 8 «интеллектуальные» датчики 347
- •Глава 9. Сопряжение преобразователей
- •Глава 10 особенности исполнения и
3.4. Волоконно-оптические датчики поляризационного типа
В основе функционирования этих датчиков лежит зависимость состояния поляризации световой волны, распространяющейся в среде, (кристаллы, оптические волокна) от внешних воздействий. Внешнее воздействие, например, электромагнитное поле или деформация, воздействуя на вещество (кристаллы, волокна) изменяет его свойства, вследствие чего изменяется состояние поляризации световой волны на выходе этого вещества.
Существуют несколько физических эффектов, приводящих к модуляции поляризации света [36].
Линейный электронно-оптический эффект Поккельса заключается в том, что наложении на кристалл электрического поля, последний, становиться анизотропным, т.е. скорость распространения световых волн с различными поляризациями, соответствующим образом направленными и ориентированными относительно осей кристалла и направления внешнего поля, становятся различными.
Такие среды и кристаллы называются электрооптическими, а возникающая анизотропия – наведенным двулучепреломлением. Тогда, если на вход такого кристалла подается линейно–поляризованная световая волна, то, пройдя через кристалл, она становится эллиптически поляризованной. Таким образом, между двумя волнами с взаимно перпендикулярными линейными поляризациями возникает сдвиг фаз, который линейно зависит от приложенного электрического поля. На этом принципе строятся ВОД напряженности электрического поля и напряжения.
Эффект Фарадея заключается во вращении плоскости поляризации линейно-поляризованной световой волны в магнитооптических материалах.
Если направление распространение линейно–поляризованной световой волны в веществе совпадает с направлением магнитного поля (или противоположно ему), то плоскость поляризации волны в веществе будет поворачиваться, причем, угол поворота линейно зависит от магнитного поля и не зависит от его направления. Таким образом, эффект Фарадея является следствием анизотропии преломляющих свойств магнитной среды для световых волн с правой и левой круговой поляризациями, возникающей под действием магнитного поля. На этом принципе строятся ВОД магнитного поля и электрического тока.
При деформации упругого тела изменяется коэффициент преломления вещества этого тела, и проявляются свойства двулучепреломления (аналогично эффекту Поккельса). Этот эффект называется эффектом фотоупругости. Эффект фотоупругости применяется для создания датчиков давления, вибрации.
На
рис.3.5
представлена схема ВОД для измерения
напряжения. В таком можно добиться
изменений выходного напряжения не более
0,5% при входном измеряемом напряжении
от нескольких вольт до 300 В. Температурная
нестабильность выходного сигнала не
превышает ±3 % в диапазоне: минус 10 –
плюс 85°С.
3.5. Волоконно-оптические датчики на основе микромеханических резонаторов, возбуждаемых светом
В последние годы широкое развитие получили работы по созданию нового класса ВОД на основе микромеханических резонаторов с частотным кодированием выходного сигнала [37]. Микрорезонатором (МР) чаще всего служит микромостик или микроконсоль, изготовляемые методом анизотропного травления в пластине из монокристаллического кремния. Под действием модулированного оптического излучения в МР возбуждаются изгибные колебания, механизм такого возбуждения главным образом фототермичный. При поглощении пластиной МР оптического излучения ее освещенная сторона оказывается сильнее прогретой, что приводит к возникновению большого механического напряжения, связанного с температурным расширением.
В связи с этим в пластине возникает изгибный момент сил, изменяющийся в фазе с модулированным оптическим излучением, который приводит к механическим колебаниям МР.
Внешнее воздействие (давление, температура, ускорение и т.п.) преобразуется во внутреннее механическое напряжение МР, что приводит к изменению его собственной резонансной частоты, определяемой размерами МР и его физическими свойствами.
Факторами, определяющими качество чувствительного элемента (МР), являются резонансная частота его собственных колебаний и добротность. Типичные значения собственных частот МР лежат в пределах 103…105 Гц, а добротностей вплоть до 2∙104.
При разработке микрорезонаторных ВОД применяют оптические методы возбуждения колебаний и съема информации.
Возбуждение МР осуществляется модулированным оптическим излучением в режимах вынужденных и свободных колебаний.
Поскольку типичное значение ширины МР составляет (20…100) мкм, что хорошо согласуется с размером световедущей жилы многомодового оптического волокна, то для возбуждения МР широко используются полупроводниковые лазеры и светодиоды с мощностью 1 мВт.
В связи с малой амплитудой колебаний МР (менее 0,1 мкм) используют интерференционный съем информации. Однако такой съем требует специальных мер по компенсации или предотвращению смещений рабочей точки, происходящих под воздействием факторов окружающей среды. На рис. 3.6 изображена схема ВОД на основе МР.
Когерентное
излучение лазера вводиться в волоконный
световод, по которому распространяется,
и в микрорезонатор. Выходной торец
волокна и частично отражающая поверхность
МР образуют интерферометр Фабри-Перо.
При колебаниях пластины микрорезонатора
излучение, отраженное интерферометром,
оказывается промодулированным.
Распространяясь обратно по волокну,
часть его с помощью волоконного
ответвителя попадает на фотоприемник
(ФП), далее информационный сигнал
обрабатывается анализатором спектра.
На этом принципе был создан ВОД для измерения давления с высокой степенью точности (0,05%) в широком диапазоне давлений, который пригоден для аэрокосмической техники.
Чувствительный элемент ВОД выполнен в виде расположенных в непосредственной близости микромостика и микроконсоли, изготовленных методом анизотропного травления в кремниевой мембране. Частоты собственных колебаний микромостика и микроконсоли составляют примерно 30 кГц и 190 кГц соответственно. Датчик имеет частотный выход сигнала, т.е. информация о воздействующей величине выдается в виде изменения резонансной частоты МР.
Дальнейшее развитие этого направления связано с созданием самовозбуждающихся микрорезонаторных датчиков на основе автоколебательной системы волоконных лазер – микрорезонаторная структура, в которой происходит автомодуляция параметров оптического излучения [38,39]. Зависимость частоты автомодуляции F от характеристик микрорезонаторных структур, селективно чувствительных к внешним воздействиям, позволяет рассматривать волоконно-оптические автоколебательные системы в качестве базовых при создании микрорезонаторных волоконно-оптических датчиков с частотным способом представления информации.
Установлено, что при изменении собственной частоты акустических колебаний Δfр вследствие внешних воздействий на МРС (Δfр/fр << 1), приращение частоты автомодуляции ΔF определяется из соотношения
(3.9)
Основным источником флуктуаций частоты автомодуляции F является нестабильность средней мощности излучения волоконно-оптического лазера, стабилизация которой с точностью до 1% позволит уменьшить относительные флуктуации частоты до (ΔF/F)фл≤10-5.
На
рис. 3.7 представлена схема преобразований
энергии автоколебательной системы
волоконно-оптический лазер –
микрорезонаторная структура.
Как видно из рис. 3.8, условия резонансной автомодуляции реализуются в вариантах трехзеркального волоконно-оптического резонатора ВОЛ с МРС (рис. 3.8, а), так и двухзеркального резонатора (рис. 3.8, б), имеющих оптическую связь через интерферометр Фабри–Перо или коллиматор.
Условия
возникновения автомодуляции сводятся
к следующим для системы ВОЛ–МРС с
оптической связью через ИФП: 1) частота
релаксационных колебаний ВОЛ (или ее
гармоник) близка к резонансной частоте
МРС fр≈nfрел,
где n=1,2,3…)
2) рабочая точка ИФП расположена на
определенных
ветвях интерферограммы, периодичных с
периодом ИФП λ/2; 3) оптическая мощность,
падающая на ИФП, превышает пороговое
значение.
Для системы ВОЛ–МРС с оптической связью через коллиматор, в которой устанавливается автоколебательный режим, необходимо выполнение следующих условий:
1) исходный угол между осью пучка и нормалью к поверхности МРС находиться в интервале (Θ1, Θ2), границы которой расположены в пределах дифракционной расходимости пучка и зависят от характеристик МРС и параметров волоконного резонатора ВОЛ;
2) резонансная частота МРС близка к частоте релаксационных колебаний ВОЛ или ее гармоникам: fр≈nfрел;
3) падающая на МРС мощность излучения превышает пороговый уровень Wп, зависящий от характеристик МРС волоконного резонатора.
Соотношение fр≈nfрел показывает, что в рассматриваемых системах автоколебания возбуждаются в условиях резонансного взаимодействия ВОЛ и МРС. При этом в условиях резонанса (fр≈fрел) частота автомодуляции интенсивности ВОЛ F практически совпадает с fр≈F, в то время как при fр≈nfрел (n≠1) выполняется соотношение F≈(1/n)fр.
Представляется перспективным применение в микрорезонаторных ВОД автогенераторного типа волоконно-оптических лазеров (ВОЛ), обладающих рядом уникальных свойств, позволяющих, в частности:
1) обеспечить эффективное оптическое согласование МР с ВОЛ, тем самым получить оптическую обратную связь между ними;
2) оптимизировать длину волны излучения λ, благодаря возможности значительной перестройки спектрального диапазона генерации ВОЛ;
3) в широких пределах изменять параметры лазера: выходная мощность излучения, частота релаксационных колебаний, длина волоконного резонатора ВОЛ (до 100 м более) и т.д.
Эти особенности приводят к новым свойствам систем типа ВОЛ–микрорезонатор, в частности возможность автоколебательного режима с резонансной частотой МР.