
- •Глава 1. Принципы преобразования в датчиках
- •1.1. Резистивные преобразователи
- •Сдвиговый пьезорезистивный коэффициент в этом случае
- •1.2. Емкостные преобразователи
- •1.3. Пьезоэлектрические преобразователи (пэп)
- •1.3.2. Группы пьезоэлектриков
- •1.4. Фотоэлектрические преобразователи
- •Параметры фототранзисторов
- •1.5. Принципы преобразования в волоконно–оптических датчиках физических величин
1.4. Фотоэлектрические преобразователи
Фотоэлектрические преобразователи по основному своему назначению основаны на принципе преобразования излучения оптического диапазона в электрический сигнал. Оптический диапазон занимает область спектра электромагнитных излучений от глубокого ультрафиолетового (от 0,01 мкм) до дальнего инфракрасного излучения (до 1000 мкм) (рис.1.11).
Видимый Средняя ИК
свет область
0,01 0,1 0,3 0,6 1,0 3 6 10 100 1000мкм
Ультрафиолетовое Ближняя
излучение ИК область Дальняя ИК область
Рис.1.11. Спектр оптического излучения
Это излучение может быть как собственным излучением исследуемого объекта, так и отраженным или рассеиваемым его поверхностью, или частично поглощенным, если тело полупрозрачно. Ряд фотоэлектрических преобразователей использует принцип прерывания. Интервалы засветки и прерывания освещенности являются в этом случае информативным параметром изучаемого процесса.
Преобразователи собственного излучения исследуемых объектов принято называть пассивными. Такие преобразователи позволяют оценивать энергетические, спектральные, фазовые, поляризационные характеристики изучаемого излучения.
Преобразователи, построенные на принципе преобразования излучения от внешнего источника, взаимодействующего с исследуемым объектом, называют активными. В качестве внешних источников в активных преобразователях используются светодиоды, твердотельные и полупроводниковые лазеры. В последнее время в сочетании с волоконными элементами начали использоваться волоконно–оптические лазеры.
Таким образом, специфической функцией фотоэлектрических преобразователей является преобразование оптического излучения в электрический сигнал. Эта функция выполняется разнообразными приемниками излучения, которые в основном относятся к двум группам – собственно фотоэлектрическим и тепловым.
К фотоэлектрическим относятся приемники с внешним и внутренним фотоэффектами.
Группу приемников с внешним фотоэффектом составляют вакуумные и газонаполненные фотоэлементы и фотоумножители. Исторически они были первыми практическими фотоэлектрическими преобразователями, созданы во времена развития вакуумной электроники, имели кислородно–цезиевый или сурмяно–цезиевый фотокатод. Однако при бесспорных достоинствах этой группы преобразователей – высокая чувствительность (фотоумножители, газонаполненные фотоэлементы) и высокое быстродействие (вакуумные фотоэлементы и фотоумножители) – они обладают и бесспорными недостатками (необходимость высоких питающих напряжений и существенные габариты), что делает предпочтительным использование в современных датчиках полупроводниковых фотоприемников с внутренним фотоэффектом.
Простейшим представителем этой группы фотоэлементов являются фоторезисторы, действие которых основано на зависимости их фотопроводимости от интенсивности и спектрального состава падающего на них излучения. Технологически фоторезисторы формируются в виде поликристаллических пластинок.
Большой селективностью и избирательной чувствительностью характеризуются монокристаллические фоторезисторы. Охлаждение фоторезисторов повышает их чувствительность в сторону длинноволнового излучения.
В табл.1.3 приведены основные параметры промышленных фотосопротивлений.
Зависимость фототока в цепи фоторезистора нелинейна, причем нелинейность зависит от освещенности. Постоянная времени прессованных резисторов наибольшая, у монокристаллических – наименьшая. С ростом освещенности инерционность уменьшается. Главным достоинством фоторезисторов является простота их устройства и низкая стоимость, главным недостатком – заметная инерционность (по сравнению с другими фотоэлектрическими преобразователями) и температурная и временная нестабильность. Варианты конструктивного выполнения фоторезисторов – герметизированный металлостеклянный корпус, пластмассовый корпус, бескорпусное исполнение.
Таблица 1.3
Основные параметры промышленных фотосопротивлений
Фоторезистор |
Габаритные размеры фоточувствительного элемента, мм |
Рабочее напряжение Up, В, не более |
Темновое сопротивление Rт, МОм, не менее |
Темновой ток Iт, мкА, не более |
Общий ток Iобщ при Е=200 лк, мА, не менее |
Отношение темнового сопротивления к световому Rт/Rсв, отн. ед., не менее |
Максимальная мощность излучения Рmax, мВт, не более |
Масса, г, не более |
Сульфид кадмия | ||||||||
ФСК-0 |
47,2 |
50 |
1 |
15 |
15 |
140 |
100 |
1,5 |
ФСК-1 |
47,2 |
50 |
3,3 |
15 |
15 |
100 |
125 |
4,5 |
ФСК-2 |
47,5 |
50 |
3,3 |
15 |
0,3 |
20 |
125 |
3,2 |
ФСК-Г1 |
47,2 |
50 |
3,3 |
15 |
1,5 |
100 |
125 |
7 |
ФР-765 |
5,8 |
20 |
2 |
10 |
1,5 |
150 |
50 |
5 |
СФ2-1 |
0,52 |
15 |
15 |
15 |
0,5 |
500 |
10 |
0,5 |
Селенид кадмия | ||||||||
ФСД-1 |
47,2 |
20 |
2 |
10 |
1,5 |
150 |
50 |
3 |
ФСД-1а |
48,4 |
20 |
2 |
10 |
1,5 |
150 |
50 |
1,2 |
ФР-764 |
5,8 |
50 |
3,3 |
10 |
1,5 |
150 |
125 |
5 |
СФ3-4А |
5,8 |
1,5 |
1 |
1,5 |
2 |
1300 |
25 |
2 |
СФ3-4Б |
5,8 |
1,5 |
15 |
0,1 |
1,5 |
12000 |
25 |
2 |
Сульфид свинца | ||||||||
ФСА-0 |
47 |
4–40 |
0,04–0,4 |
– |
– |
1,2 |
10 |
4,5 |
ФСА-1 |
47,5 |
2–50 |
0,02–1 |
– |
– |
1,2 |
10 |
4,5 |
Селенид свинца | ||||||||
СФ4-1А |
11 |
2,5–10 |
1 |
– |
– |
– |
– |
– |
СФ4-2А |
22 |
2,5–10 |
1 |
– |
– |
– |
– |
– |
СФ4-3А |
33 |
2,5–10 |
1 |
– |
– |
– |
– |
– |
СФ4-1Б |
11 |
2,5–5 |
0,6 |
– |
– |
– |
– |
– |
СФ4-2Б |
22 |
2,5–5 |
0,6 |
– |
– |
– |
– |
– |
Фотоэлектрические
приемники, в которых под действием
излучения возникает фото–ЭДС, называются
вентильными фотоэлементами, или
фотоэлементами с запорным слоем. Они
выполняются на основе полупроводниковых
p-n переходов и могут использоваться
не только в вентильном, но и в диодном
режиме – с внешним источником обратного
напряжения, поданного на фотодиод.
Структура
фотодиода представлена на рис. 1.12.
На рис. 1.13 представлены спектральные
характеристики германиевого (1) и
кремниевого (2) фотодиодов. Кремний и
германий являются основными материалами
для изготовления фотодиодов. В табл.
1.4 и 1.5 представлены соответственно
параметры кремниевых и германиевых
фотодиодов. Внешний вид фотодиода
представлен на рис. 1.14.
Таблица 1.4
Параметры кремниевых фотодиодов
Фотодиод |
Габаритные размеры фоточувствительного элемента, мм |
Диапазон спектральной характеристики , мкм |
Максимальная спектральная характеристика max, мкм |
Рабочее напряжение Uр, В |
Темновой ток Iт, мкА, не более |
Интегральная токовая чувствительность S1инт, мА/лм(мкА/лк), не менее |
Масса, г, не более |
ФДК-1 |
1 |
0,5–1,1 |
0,8–0,9 |
20 |
3 |
3 |
0,3 |
ФД-3К |
1,13 |
0,5–1,1 |
0,8–0,9 |
15 |
0,5 |
0,5 |
0,8 |
ФД-10К |
1,91,9 |
0,5–1,12 |
0,85–0,92 |
20 |
1 |
4,4 |
2 |
ФД-20-32К |
21,35 |
0,45–1,06 |
0,78–0,92 |
3 |
0,1 |
4 |
2 |
ФД-22-КП |
11 |
0,45–1,1 |
0,75–0,9 |
7 |
0,05 |
4,4 |
2 |
Таблица 1.5
Параметры германиевых фотодиодов
Фотодиод |
Габаритные размеры фоточувствительного элемента, мм |
Диапазон спектральной характеристики ,мкм |
Максимальная спектральная характеристика max, мкм |
Рабочее напряжение Uр, В |
Темновой ток Iт, мкА, не более |
Интегральная токовая чувствительность S1инт, мА/лм, не менее |
Масса, г, не более |
ФД-1 |
5 |
0,4–1,9 |
1,5–1,6 |
20 |
30 |
6,6 |
1 |
ФД-2 |
1,3 |
0,4–1,8 |
1,5–1,6 |
30 |
25 |
5–6,6 |
0,8 |
ФД-3А |
2,45 |
0,4–1,8 |
1,5–1,6 |
10 |
10 |
6,5 |
0,8 |
ФД-4Г |
2,45 |
0,4–1,8 |
1,5–1,55 |
20 |
30 |
5 |
0,8 |
ФД-5Г |
2,5 |
0,3–1,8 |
1,5–1,55 |
15 |
8 |
7 |
1,6 |
Обратный ток кремниевых p-n переходов существенно меньше, чем германиевых. Поэтому порог чувствительности кремниевых фотодиодов порядка 10-13 … 10-14 Вт/Гц1/2, германиевых – порядка 10-12 Вт/Гц1/2. Кремниевые фотодиоды работают в более широком интервале температур.
В диодном режиме фотоприемники имеют существенные преимущества по сравнению с вентильным режимом (большее быстродействие, лучшая стабильность, больший динамический диапазон, большая чувствительность в ИК–области). Недостатком диодного режима является наличие темнового тока. На рис. 1.15 представлены частотные характеристики кремниевых фотодиодов р-типа (а) в вентильном и диодном режиме и n-типа (б) в диодном режиме.
Существуют важные разновидности фотодиодов: p-i-nдиоды – а, лавинные – б, гетерофотодиоды – в (рис. 1.16) и др.
а)
б)
в)
Рис. 1.16. Структура p-i-n- (а), лавинного (б)
и гетерофотодиода (в)
В p-i-n имеются три области – сильнолегированная n+-область, область с малой концентрацией примеси (i-область) и сильнолегированная р+-область. В лавинных фотодиодах реализуется усиление тока, обусловленное умножением числа носителей за счет ионизации атомов кристаллической решетки.
Гетерофотодиоды используют слоистую структуру из разных полупроводниковых материалов.
Преимущество этих трех реализаций состоит в том, что достигается высокая чувствительность при высоком быстродействии.
На
рис. 1.17 показана спектральная характеристика
гетероэпоксиального p-i-n диода с
гетеропереходом тонкого р-слоя Ga1-xAlxAs
и p и n слоев GaAs. Видно, что фотодиоды
такого вида с успехом могут использоваться
в видимой и ультрафиолетовой области
спектра. Такие фотодиоды имеют расширенный
температурный диапазон использования.
Лавинные фотодиоды на основе кремния обладают внутренним усилением до 103, высокой чувствительностью до 1 А/Вт на длине волны λ = 0,9 мкм, малой инерционностью – до 0,5 нс, низким порогом – до 10-15 Вт/Гц1/2. Биполярный фототранзистор имеет два p-n перехода. Фотовоспринимающей частью является освещаемая часть перехода база –коллектор (рис. 1.18). Следует только иметь в виду, что во столько же раз, во столько фоторезистор усиливает фототок и во сколько увеличивается интегральная чувствительность по сравнению с аналогичным фотодиодом, уменьшается предельная частота, т.е. произведение коэффициента усиления на ширину полосы остается неизменным и соответствует этой величине для фотодиода. Спектральные характеристики фототранзисторов из германия и кремния аналогичны характеристикам фотодиодов.
Структура полевого фототранзистора представлена на рис.1.19. Такие транзисторы характеризуются высоким входным сопротивлением (до 106 Ом) и имеют хорошие пороговые характеристики, высокое быстродействие (вследствие отсутствия инжекции и диффузионной емкости на входе). Эти фототранзисторы имеют лучшую температурную стабильность и повышенную радиационную стойкость по сравнению с биполярными фототранзисторами.Параметры фототранзисторов представлены в табл. 1.6, а внешний вид одной из модификаций – на рис. 1.20. Фототранзисторы имеют металлостеклянный корпус с входным окном базы.
Таблица 1.6