2. Выбор манометров и их расстановка на вакуумной арматуре и вакуумной камере

Исходя из того, что диапазон рабочих давлений для турбомолекулярного насоса: 5*10^{- 7}…1*10^{- 2}Па, следует применить преобразователь из серии магнитных с диапазоном измеряемых давлений 1*…Па.

Простейший магнитный электроразрядный преобразователь давления представляет собой помещенную в магнитное поле двухэлектродную систему (катод и анод). В системе возникает самостоятельный разряд при высоком напряжении между ее электродами.

Принципиальные схемы преобразователей приведены на рис. 5,6

.

_{Рис.5 Электродные системы магнитных преобразователей а) ячейка Пеннинга; б) магнетронная; в) инверсно-магнетронная.}

_{Рис. 6Схема магнетронного преобразователя с уменьшенными фоновыми токами}

Выбираем вакуумметр ВМБ-8

Вакуумметр (рис.7) магнитный блокировочный ВМБ-8 предназначен для измерения давлений в диапазоне 1*10^-8- 1*10^-1 Па и использования в качестве датчика автоматики в автоматизированных вакуумных системах.

Возможность автоматизации обеспечивается наличием в вакуумметре двух каналов блокировки и аналогового выхода.

Вакуумметр состоит из магнитного электроразрядного манометрического преобразователя ПММ-32 1, измерительного блока БИВ-1, соединителя и соединителя термостойкого.

Вакуумметр рассчитан на эксплуатацию в следующих условиях:

температура окружающей среды +10о…+35оС;

относительная влажность воздуха до 80%

при температуре +20 С;

атмосферное давление 750+-30мм рт. ст.

Вакуумметр позволяет измерять давление во время прогрева манометрического преобразователя до +200оС.

Характеристики ВМБ-8

Диапазон рабочих давлений, Па – 1*10^-8- 1*10^-1 Па

Погрешность измерения - -55- +130 %

Габариты (длина*высота*ширина), мм – 240*158*335 мм

Масса,кг – 35 кг

Потребляемая мощность, Вт – 75 Вт

Тип преобразователя – ПММ-321

_{Рисунок 7 Общий вид вакуумметра ВМБ-8}

Для механического насоса диапазон рабочих давлений 5*10^{- 1}…1*10⁵Па следует применить преобразователь серии деформационных мембранных преобразователей, диапазон давлений которых составляет 10⁵…1*10^{- 1}Па.

Используются в сложных эксплуатационных и технологических условиях, в пищевой, пивоваренной и фармацевтической промышленности, в энергетической технике, химической и нефтехимической индустрии, в очистительных и фильтрующих установках, в деревообрабатывающей, целлюлозо-бумажной, сахарной, цементной и других отраслях перерабатывающей промышленности.

В деформационных вакуумметрах давление определяют по деформации упругого элемента под действием разности давлений. Их показания зависят от рода газа. Такие вакуумметры различают по типу чувствительного элемента и способу измерения деформации. По типу чувствительного элементы вакуумметры подразделяют на трубчатые, сильфонные и мембранные. Деформацию чувствительного элемента определяют механическими, оптическими или электрическими способами.

_{Рис. 8Деформационные мембранные преобразователи}

Выбираем манометр ДММ (100) (рис. 9)

Диапазоны измерений:

Нижние пределы измерений: минус 0,1 или 0,06…0 МПа (минус 1 или 0,60 бар) или

другие эквивалентные единицы давления.

Верхние пределы измерений: 0,06 или 4,0 МПа (0,6 или 40 бар) или другие

эквивалентные единицы давления.

Рекомендуемые диапазоны измерений давления:

Измеряемое давление до 75% от конечного значения шкалы.

Перегрузка по давлению:

Кратковременно до 30% конечного значения шкалы.

Допустимые температуры:

Окружающая среда: минус 40…+65 °С.

Измеряемая среда: максимум +120 °С.

Влияние температуры:

Предел дополнительной погрешности, вызванной изменением температуры

окружающего воздуха от +20 °С +/-2 °С в диапазоне рабочих температур в

соответствии с ГОСТ 2405.

_{Рисунок 8 Манометр типа ДММ}