
- •Испытание вакуумной системы среднего вакуума на наличие течи, выбор насосов, манометров и средств течеискания.
- •Введение
- •1 Выбор вакуумных насосов по расчетам их быстроты откачки
- •Выбор высоковакуумного насоса
- •1.2 Выбор механического насоса
- •2. Выбор манометров и их расстановка на вакуумной арматуре и вакуумной камере
- •Расчет натеканий в вакуумной системе
- •4. Выбор методов течеискания и течеискателя
- •5. Принцип действия течеискателя
- •Литература
1.2 Выбор механического насоса
Выбираем механический насос для области среднего вакуума. Рабочее давление насоса выбираем по наибольшему выпускному давлению турбомолекулярного насоса ТМН-100 с коэффициентом запаса φ=2.:
Р2= Рпр.р.1/ φ = 1/2= 0,5 Па
Выбираем пластинчато-роторные насосы с предельным давлением рпр =5*10-1…1*10-2 Па и диапазоном быстроты действия от 0,001 до 0,0050 м3/с [1].
Рабочее давление Р2 может обеспечить пластинчато-роторный насос
2НВР-5ДМ имеет следующие характеристики:
Таблица3. Характеристики Пластинчатороторного насоса 2НВР-5ДМ
Диапазон рабочих давлений, Па |
5*10-2…1*105 |
Быстрота откачки воздуха в рабочем диапазоне давлений, м3/с |
0,0050 |
Предельное остаточное давление: Общее с газобаластом, Па |
3 |
Общее без газобаласта |
7*10-1- |
Парциальное ( по воздуху) |
7*10-2 |
Частота вращения ротора, с-1 |
1430 |
Колличество масла, заливаемого в насос дм3 |
1,2 |
Диаметр впускного патрубка, мм |
16 |
Мощность электродвигателя, кВт |
0,55 |
Габариты (длина/ширина/высота), мм |
540/160/280 |
Масса насоса, кг. |
30 |
Определяем эффективную быстроту откачки в откачиваемом объекте
Sэф1 = Q/Р2 =4*10-5/0,5= 2*10-5м3/с.
Номинальная быстрота действия равна:
Sm2 =
= 4*10-5/(0,5*
0,5 -1*10-
2) = 1,6*10-4
м3/с,
где Рпр2 =1*10-2 Па – предельное давление насоса,
Р2 = 0,5 Па - рабочее давление в камере,
Кu1 =0,5 – коэффициент использования насоса.
Пластинчатороторные вакуумные насосы (ПРВН) выпускают с числом пластин четыре и более. ПРВН предназначены для откачки воздуха и неагрессивных газов, предварительно очищенных от механических загрязнений и капельной жидкости.
ПРВН с масляным уплотнением выполняют обычно с двумя пластинами в роторе, а пластинчато-статорные — с одной пластиной в корпусе. Эти насосы предназначены для откачки воздуха, газов, не вступающих в реакции с маслами и материалом деталей насосов, и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических примесей, а также для поддержания низкого и среднего вакуума в герметичных объемах.
Рис. 3 Схемы ПРВН с радиальными (а)
и наклонными (б) пластинами Рис.4 Схема пластинчато-роторного вакуумного насоса
В цилиндрической расточке корпуса 1 ПРВН (рис. 3, а) эксцентрично расположен цилиндрический ротор 2. В роторе выполнены пазы, в которые вставлены пластины 3 из металла, асботекстолита или пластмассы. При вращении ротора пластины под действием центробежной силы выходят из пазов н прижимаются к цилиндрической поверхности расточки корпуса. При этом серпообразное пространство между ротором и цилиндрической расточкой корпуса делится на отдельные рабочие ячейки. При угле поворота ротора
ф = 180°... 0 объемы рабочих ячеек увеличиваются, они соединяются со всасывающим окном и заполняются откачиваемым газом. Когда объем рабочей ячейки достигает максимального значения, она отходит от всасывающего окна. При дальнейшем вращении ротора объемы рабочих ячеек уменьшаются и в них происходит процесс вкутреннего сжатия.
При соединении рабочих ячеек с нагнетательным окном начинается процесс нагнетания, в течение которого газ подается в нагнетательный трубопровод. В вакуумных насосах выполняют перепускной какал, через который газ из «мертвого» объемапоступает в первую ячейку сжатая. Перепуск газа увеличивает коэффициент откачки, а следовательно, и быстроту действия вакуумного насоса. Пластины ПРВН выполняют радиальными (рис. 3, а) и наклонными (рис. 3, б).
В таблице 4 приведены графические изображения некоторых пластинчато-роторных насосов
Пластинчато-роторный насос 2 НВР 0,1 ДМ |
|
Пластинчато-роторный насос 2 НВР 5 ДМ |
|
Таблица 4 | |
Пластинчато-роторный насос TAKO EM 3 |
|
Пластинчато-роторный насос TAKO EM 4, TAKO EM 40 |
|
Пластинчато-роторный насос TRIVIAC 3-40C |
|