МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬ

БЕЛОРУССКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

Инженерно-педагогический факультет

Кафедра “Вакуумной и компрессорной техники”

КУРСОВОЙ ПРОЕКТ

Испытание вакуумной системы среднего вакуума на наличие течи, выбор насосов, манометров и средств течеискания.

Пояснительная записка

КП.109349.7-ИВС-7.

Разработал проект: Грошовкин М.Н.

Руководитель проекта: Вегера И.И.

Минск 2012

Содержание

Введение стр.

1 Выбор вакуумных насосов по расчетам их быстроты откачки стр.

1.1 Выбор высоковакуумного насоса стр.

1.2 Выбор механического насоса стр.

2. Выбор манометров и их расстановка на вакуумной арматуре и вакуумной камере стр.

3. Расчет натеканий в вакуумной системе в различных режимах течения газов

стр.

4. Выбор методов течеискания и течеискателя стр.

5. Описание принципа работы течеискателя и технологии течеискания стр.

Список литературы

Введение

Вакуумные технологии и оборудование применяется в машиностроении, электронике, металлургии, а также в химической, оптической, легкой, пищевой промышленности и медицине.

В настоящее время вакуумную технику широко используют для обеспечения технологических процессов или обеспечения работы установок различного назначения, а также в установках для имитации космических условий, ускорителях элементарных частиц. Новые типы полупроводниковых структур, особо чистые материалы, сплавы, специальные покрытия изготавливаются в вакууме. Вакуум является идеально чистой технологической средой, в которой можно осуществить электрохимические и электрофизические процессы при изготовлении изделий микроэлектроники.

Одним из важнейших условий получения и сохранения заданной среды в рабочих объемах различных вакуумных систем является герметичность их конструкций. В вакуумной технике герметизация осуществляется ради получения и сохранения необходимого вакуума. Контроль герметичности относится к числу испытаний необходимых для нормального функционирования вакуумных систем.

Под герметичностью понимают непроницаемость конструкций для газов и жидкостей. Абсолютная герметичность недостижима, поэтому герметичными считают конструкции, газовый или жидкостный обмен через которые достаточно мал для того, чтоб мешать нормальному процессу их работы.

Требования к степени герметичности устанавливаются исходя из назначения конструкций и условий работы вакуумной системы. Нарушение герметичности конструкций определяется наличием течи или проницаемостью отдельных элементов. Природа проницаемости отдельных элементов и конструкций может быть различна.

Проникновение газов и жидкостей через течи происходит гораздо быстрее, чем через сплошной материал. Поэтому обнаружение обоих видов нарушения герметичности одновременно исключено. При контроле герметичности решается только одна задача: обнаружение течи.Поскольку формы и размеры каналов течи разнообразны, их принято характеризовать количеством протекающих через них газообразных или жидких веществ в единицу времени. При заданной температуре расход (поток) газа через течь измеряется в м3*Па/с или в Вт.

Задачей курсовой работы является теоретическая разработка вакуумной системы с выбором конкретного оборудования (насосов, манометров, течеискателя) и выбор метода проверки данной системы на наличие течей.