МЕТОДИКА ПРЕПАРУВАННЯ ЗРАЗКІВ ДЛЯ ПЕМ ІЗ ЗАСТОСУВАННЯМ ІОННИХ ПУЧКІВ (FIB), ЩО ФОКУСУЮТЬ. ПЕРЕВАГА ПЕРЕД МЕТОДОМ ІОННОГО СТОНШУВАННЯ. ПРИНЦИП СТОНШУВАННЯ І ОСОБЛИВОСТІ УСТАТКУВАННЯ
Підготував: Студент 4-го курсу Групи ФМ01 Савіцький О.В.
ПЕМ із ФІП (FIB)
Просвічуючий електронний мікроскоп (ПЕМ) із фокусованим іонним пучком(ФІП).
Основна відмінність: використання різних часток для створення первинного пучка, взаємодіючого із зразком.
Найчастіше використовують іони галію.
Попередня підготовка
Для деяких крихких матеріалів існує можливість послідовного паралельного сколювання по площинах.
Для пластичних матеріалів можна застосувати панчер(пробійник).
Для більш крихких використовують ультразвукове або фрикційне свердління.
Для електропровідних можна використати електроерозійне різання.
Хімічне витравлення дисків.
Утонення. Основні методи
Формування лунки механічним способом.
Хімічне шліфування.
Електрополірування.
Диспергування
Ультрамікротомія
Сколювання
Літографія
Іонне травлення
Іонне стоншування
Реалізується шляхом бомбардуванням іонами.
Оптимальний кут іонного бомбардування 5-80.
Даним методом можна стоншувати будь- який матеріал. Недоліками якого є шорсткість поверхні та осадження розпиленого матеріалу.
Схема іонного стоншування
Висновки
Було розглянуто методи припаруваня зразків для ПЕМ із застосуванням іонних пучків (FIB), що фокусують.
Розглянуто метод іонного стоншування, його переваги: можливість застосування до будь-яких матеріалів та недоліки у вигляді високої шорсткості та переосадження матеріалу.
Використані джерела
http://www.technoinfo.ru/catalog/categor/FIB/
Наука та інновації. 2012. Т. 8. № 2. С. 13—16. С.А. Фирстов, Н.И. Даниленко «ЕХАНИЧЕСКАЯ ПОДГОТОВКА ОБЪЕКТОВ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО- МИКРОСКОПИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ»
ЕМ13 Подготовка образцов.