Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Новая папка / Vzaimodeystvie_elektronov_s_veschestvom_UA

.doc
Скачиваний:
2
Добавлен:
12.05.2015
Размер:
88.58 Кб
Скачать

Взаємодія електронів з досліджуваним матеріалом

Роздільна здатність мікроскопа назад пропорційна довжині хвилі використовуваного для освітлення об'єкту випромінювання. Чим коротше довжина хвилі, тим вище (краще) роздільна здатність мікроскопа.

Застосування ультрафіолетового випромінювання - не вихід. Ультрафіолетове випромінювання сильно поглинається склом лінз. Для таких мікроскопів вимагаються лінзи, виготовлені з матеріалів, що слабо поглинають УФ-излучение.

Рентгенівські мікроскопи також мають обмежену сферу застосування внаслідок того, що рентгеносвкие промені мають дуже малий коефіцієнт заломлення, тому для їх фокусування неможливо використовувати лінзи в звичному для нас виді. Тільки останнім часом з'явилися прилади з компонентами, що дозволяють перетворювати пучки рентгенівських променів, що сходяться, на паралельні. Це вдається здійснити за рахунок застосування кристалів із змінним значенням параметра кристалічної решітки по їх довжині.

Вихід - застосування електронних пучків для отримання зображення об'єктів, що вивчаються. Нас в певую чергу цікавлять періодичні структури, що містяться в досліджуваних об'єктах. В зв'язку з цим застосування електронів обумовлене наступними чинниками:

  • Електрони мають хвилеві властивості

    • Дають зображення об'єкту і дифракційну картину

  • Поводяться як заряджені частки, якими і є

    • Сильна взаємодія з матеріалом зразка

    • Забезпечують можливість отримувати інформацію про химичемском склад зразка за рахунок аналізу енергетичного спектру збуджуваних в нім Оже-электронов і характеристичного рентгенівського випромінювання

Взаємодія високоенергетичних електронів (~ 30-100 кВ) з досліджуваним матеріалом

Взаємодія з атомом

  1. не розсіяні (що пройшли через зразок без взаємодії з атомами)

  2. пружно розсіяні під малими кутами

  3. пружно розсіяні під великими кутами

  4. зворотньо розсіяні

  5. непружно розсіяні на зовнішніх електронних оболонках атомів досліджуваної речовини

  6. непружно розсіяні на внутрішніх електронних оболонках атомів досліджуваної речовини

Види випромінювань, що виникають при взаємодії високоенергетичного потоку електронів з твердим тілом.

Випромінювання, що виникають при проходженні пучка електронів через тонкий (~ 10-100 nm) зразок

У електронному мікроскопі типу, що просвічує, зображення формується головним чином пружно відбитими електронами. Непружно відбиті електрони також беруть участь у формуванні зразка, але їх роль полягає в тому, що вони його псують, знижуючи контраст а тому їх вклад слід зробити мінімальним.

4