Хід роботи

1. Під керівництвом викладача наочно ознайомитися з будовою електронного мікроскопу ПЕМ-125К, засвоїти розташування елементів електронно-оптичної системи, ознайомится з елементами вакуумної системи та системі реєстрації зображення.

2. Самостійно зробити схему розташування лінз та діафрагм електронного мікросокпу ПЕМ-125К.

3. Вивчити оптичні схеми різних режимів роботи електронного мікроскопу.

4. Вивчити основні вузли електронного мікроскопу, їх будову та принціп дії.

5. Вивчити електричну та вакуумну системи мікроскопу, налагодження та юстування приладу .

Завдання

В протоколі лабораторної роботи повинні бути відображенні такі розділи:

1. Оптична схема мікроскопу та хід променів для світлого і темного полів, мікродифракція з коротким описом.

2. Основні параметри, що характеризують мікроскоп, який вивчається.

КОНТРОЛЬНІ ПИТАННЯ

1. Перевага електронного мікроскопу порівнюючи з оптичним металографічним мікроскопом. Яку інформацію про об`єкт можна отримати при дослідженні за допомогою електронного мікроскопу ? Призначення та основні характеристики електронного міктоскопу.

2. Назвіть осовні функціональні системи електронного мікроскопу. Призначення кожної системи.

3. Яка довжина хвилі електроного променя в ПЕМ при U=100,200,900 кВ ?

4. Що таке роздільна здатність ПЕМ і чим вона визначається ?

5. З яких блоків складається електрична система ПЕМ?

6. Для чого необхідно розрідження в колоні ЕМ і чим зумовлена межа припустимого тиску в колоні ПЕМ? З яких елементів складається вакуумна система ПЕМ? Призначення кожного з елементів вакуумної системи.

7. Назвіть можливі аварійні ситуації при роботі вакуумної системи та заходи попередження виходу ії з ладу. Якими приладами і де контролюється розрідження в ПЕМ ?

8. Що таке шлюзові пристрої і де вони використовуються в ПЕМ? Що таке вводи руху в вакуумний об`єм і для чого вони використовуються в ПЕМ? Послідовність дій оператора при відкачці колони, шлюзованні об`єкту фотомагазину.

9. З яких елементів складається колона ПЕМ? Що таке циліндр Венельта? Вкажіть складові елементи освітлювальна система та їх призначення. Що називається кросовером електронного пучка і в чому полягає настроювання освітлювальної системи ПЕМ?

10. Принцип дії електромагнітних та електростатичних лінз ПЕМ? Як при радіальній електромагнітній котушці виникає радіальне максимальне симетричне магнітне поле? Розглянте основні випадки руху електронів в постійному та перемінному полях.

11. Від яких елементів колони ПЕМ залежить освітлення об`єкту і формування збільшення? Призначення конденсорної системи ПЕМ.

12. Роль об`єктивної лінзи ПЕМ та вимоги, що пред`являються до неї. Функції проміжної і проекційної лінз.

13. Які елементи колони відносяться до юстировочних? Яким чином в ПЕМ досягається суміщення вісей катода, циліндра Венельта, анода, діафрагм I конденсорной лінзи та самої лінзи, II конденсорної лінзи, змінної конденсорної діафрагми, об`єктивної лінзи, селекторної діафрагми, проекційної лінзи? Що таке аберація привісьового астигматизму?

14. Які ви знаєте аберації і методи усунення похибки в ПЕМ? Призначення діафрагм колони. Будова та принцип дії стигматора. Завдяки чому досягається фокусування в оптичному та електронному мікроскопах ?

15. В чому полягає настроювання ПЕМ? Що таке ореол і принцип його отримання? Для юстування якого оптичного елементу ПЕМ використовується ореол?

16. Як змінюється збільшення в ПЕМ? Чим лімітується границя збільшення? Як зв язані збільшення і розподільна здатність в ПЕМ ?

17. Які площини ( предметні та зображення ) не змінюють свого положення в процесі настройки та роботи ПЕМ?

Покажіть хід променів в ПЕМ при різних режимах його роботи: зображення,мікродифракція. Як здійснюються переключення режимів роботи ПЕМ?

18. Що таке режими світлого і темного поля?

19. Як здійснюються режими зображення і дифракції?

20. Що таке режим мікродифракції і чим лімітується розмір ділянки об`єкту, з якого спостерігається мікродифракція?