Диэлектрические материалы для защитных покрытий ИС

Требования:

- защита от диффузии (бор, фосфор, сурьма, мышьяк и т.д.)

-химическая стойкость и стабильность во времени;

-однородность и бездефектность;

-высокое удельное сопротивление и электрическая прочность;

-высокая механическая прочность.