Министерство образования Республики Беларусь

Учреждение образования БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИНФОРМАТИКИ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ

Факультет КП                         Кафедра ЭТТ                 

Специальность 1-39 02 02             Специализация                       

УТВЕРЖДАЮ

Зав. кафедрой

« »          20 г.

^{ЗАДАНИЕ}

по дипломному проекту (работе) студента

                                   ^{Марковой Марины Валерьевны}                                            

(фамилия, имя, отчество)

1. Тема проекта (работы): Формирование функциональных слоев микро твердооксидных топливных элементов методом ионно-плазменного распыления.                                                                                                                             

утверждена приказом по университету от « 7 » февраля 2014г. № 243-С     

2. Срок сдачи студентом законченной работы        1 июня 2013 г.                           

3. Исходные данные к проекту:

3.1 Метод нанесения – ионно-плазменное распыление;                                                 

3.2 Мощность разряда − до 125 Вт;                                                                           

3.3 Диаметр мишени − 39 мм;                                                                                       

3.4 Рабочие газы − аргон, смесь аргона и кислорода;                                                    

3.5 Рабочее давление − 0,06 – 1,0 Па;                                                                          

3.6 Наносимые материалы – составы ZrO₂+Y₂O_3, YSZ;;     

3.7 Толщина слоя − 400 нм ± 10 %;                                                                               

3.8 Температура отжига 700 – 800 С;                                                                           

3.9 Диэлектрическая проницаемость − не менее 150;                                                    

3.10 Остаточная поляризация, 2P_r – не менее 5,0 мкКл/cм².                         

Назначение разработки: установить и исследовать процессы изменения состава тонких плёнок твердооксидных топливных элементов.

4. Содержание пояснительной записки (перечень подлежащих разработке вопросов):

    Введение                                                                                                 

4.1. Анализ свойств, методов получения и применение функциональных слоев.                                                                                                        

4.2. Анализ технического задания на проектирование                                                            

4.3. Разработка конструкции магнетронной распылительной системы для нанесения функциональных слоев твердооксидных топливных элементов.                                             

4.4. Исследование характеристик слоев твердооксидных топливных элементов.       

4.5. Разработка технологической инструкции.                                                     

4.6. Технико-экономическое обоснование.                                                            

4.7. Рекомендации по технике безопасности и охране труда.                              

Заключение                                                                                                            

           Приложения                                                                             

5. Перечень графического материала (с точным указанием обязательных чертежей):

5.1 Сборочный чертеж магнетронной распылительной системы – формат А1, лист 1; 

5.2 Чертежи деталей магнетронной распылительной системы – формат А1, листов 3;       

5.3 Графические материалы − форматА1, листов 3.                                                               

6. Содержание задания по технико-экономическому обоснованию.

Расчёт сметной калькуляции и отпускной цены НИОКР                                   

Задание выдал ______________ Л. И. Старова 

7. Содержание задания по охране труда и экологической безопасности.

Охрана труда. Обеспечение безопасности проведения процесса ВЧ магнетронного распыления для формирования сегнетоэлектрических тонких плёнок.                                                                                                                         

Задание выдал ______________ А. А. Квитчук

КАЛЕНДАРНЫЙ ПЛАН

Наименование этапов дипломного проекта (работы)	Объем этапа, %	Срок выполнения этапа	Примечание
Разделы 4.1, 4.2, 5.1, 5.2	40%	02.02 − 29.03
Разделы 4.3, 4.4	20%	29.03 − 17.04
Разделы 4.5, 5.3	15%	17.04 − 12.05
Разделы 4.6, 4.7	15%	12.05 − 22.05
Оформление пояснительной записки и графического материала	10%	22.05 − 1.06

Дата выдачи задания ___________ Руководитель    Д. А. Голосов

Задание принял к исполнению М. В. Маркова