Министерство образования Республики Беларусь

Учреждение образования

БелорусскиЙ государственный университет

информатики и радиоэлектроники

Факультет компьютерного проектирования

Кафедра электронной техники и технологии

К защите допустить:

Заведующий кафедрой ЭТТ

____________А.П.Достанко

Пояснительная записка

к дипломному проекту

на тему

фОРМИРОВАНИЕ ФУНКЦИОНЛАЛЬНЫХ СЛОЕВ МИКРО-ТВЕРДООКСИДНЫХ ТОПЛИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МЕТОДОМ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

БГУИР ДП 1-39 02 02 026 ПЗ

Студент		М.В.Маркова
Руководитель		Д.А.Голосов
Консультанты:
от кафедры ЭТТ		Д.А.Голосов
по экономической части		Л.И.Старова
по охране труда		А.А.Квитчук
Нормоконтролер		С.И.Мадвейко
Рецензент

Минск 2014