Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
лекции_1 / 16_Технология испытаний.ppt
Скачиваний:
110
Добавлен:
11.05.2015
Размер:
2.82 Mб
Скачать

Методы испытаний на влагоустойчивость

Метод испытаний под давлением пара (pressure cooker test – PCT)

Испытание в автоклаве проводится в атмосфере перегретого пара при температуре +121˚С, давлении 0,2 МПа и относительной влажности 100% в течение 240 час

При приложении к ИМС электрической нагрузки (HAST - highly accelerated stress test) реализуются испытания с большим ускорением. Они проводятся при более высоких температурах вплоть до 155°С в условиях ненасыщенного пара (80—85% относительной влажности). При этом коэффициенты ускорения для ИМС в пластмассовых корпусах достигает 700—3500.

Дефекты при проникновении влаги

Обрыв общего вывода, присоединенного к кристаллодержателю, в результате проникновения влаги и развития коррозионных процессов

Оценка качества корпусирования

Лазерное фотоакустическое диагностирование качества корпусирования: время герметизации (а)– 3 мин, (б) – 5 мин

ФАКТОРЫ ГЕРМЕТИЧНОСТИ КОРПУСОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИМС

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Герметизация корпусов

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Вакуум-плотная

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Негерметичная

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Металло-

 

 

Металло-

 

 

Керамические

 

 

 

Стеклянные

 

Пластмассовые

 

 

стеклянные

 

керамические

 

 

 

корпуса

 

 

 

корпуса

 

корпуса

 

 

корпуса

 

 

корпуса

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Сварка

 

 

Пайка

 

 

Склеивание

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Холод

 

Электр

 

Микро-

Аргонно

 

Лаз

 

Электрон

 

Конвектив

 

Струей

ная

 

о-

 

плазменн

-дуговая

 

ерн

 

но-

 

ная

 

горячего газа

 

 

контакт

 

ая

 

 

ая

 

лучевая

 

в печах

 

 

 

 

ная

 

 

 

 

 

 

 

 

в

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Для защиты кристаллов полупроводниковых приборов и ИМС, кристаллов и подложек

гибридных микросхем от воздействий внешней среды, стабилизации параметров, повышения срока службы и надёжности осуществляют герметизацию в металлических, металлостеклянных, керамических, металлокерамических и пластмассовых корпусах.

Требования к герметизации корпусов

При выборе способа герметизации решаются две задачи, а именно: обеспечивается защита от дестабилизирующего воздействия климатических факторов атмосферы и одновременно исключается дестабилизирующее влияние герметизирующего материала на изделие.

Окружающая среда может быть газообразной (полые корпуса), жидкой (корпуса, заполненные теплоотводящей жидкостью) или в виде твердого покрытия (монолитные герметизирующие конструкции). В ряде случаев под окружающей средой следует понимать сочетание различных материалов и сред. Например, в полых корпусах могут находиться бескорпусные навесные компоненты с герметизирующим покрытием на основе органических полимерных материалов.

В монолитных пластмассовых корпусах с подслоем окружающая среда представляет

Конструкции металлокерамических и

металлостеклянных корпусов

Металлокерамические корпуса применяются в блоках радиоэлектронной аппаратуры специального назначения. Основные области применения мощных транзисторов в металлостеклянном корпусе – источники электропитания, блоки кадровой и строчной разверток, регуляторы, схемы управления электродвигателями. Транзисторы должны быть устойчивы к климатическим воздействиям при изменении температуры внешней среды от -60 до +125˚С.

При коммутации токов 30–50 А транзисторы изготавливают в металлостеклянном

корпусе КТ-9 или в металлокерамическом корпусе КТ-97В. Для достижения Рк max=100- 150 Вт кристаллы монтируют на термокомпенсатор, расположенном на медном теплорастекателе, обладающем высокой теплопроводностью и устойчивостью к механическим воздействиям. Материалом изолятора являются вакуумно-плотная керамика ВК-94-1 или стеклобусы С-45, С-76, С-95.

Внешние вывода корпусов изготавливают из материала МК (медь–ковар). Электрические соединения выполняются проволокой алюминиевой АОЦПоМ диаметром 250-300 мкм. В выходной цепи необходимо формировать не менее чем по две проволочных

перемычек, в связи, с чем поверхность траверс должна иметь расширенную площадь, что достигается путем формирования осаженной части в виде шляпки гвоздя для КТ-9 или чеканкой для КТ-97В. Присоединение кристалла к корпусу выполняется пайкой на легкоплавкий припой для корпуса с никелевым покрытием или контактно-реактивной

пайкой с образованием эвтектики Au-Si.

Конструкции металлокерамических и металлостеклянных корпусов

Металлокерамический (а) и металлостеклянный (б) корпуса: 1 – основание, 2 – крышка, 3 – выводы, 4 – подложка, 5 – кристалл с герметизирующим покрытием

Металлокерамические корпуса состоят из керамического основания с выводами и металлической крышки . Металлостеклянные корпуса более технологичны и состоят из стеклянного основания и металлической крышки. В процессе формовки основание армируют выводами и металлической рамкой, а затем спекают, в результате чего образуется металлостеклянный спай.

Для соединения выводов с рамкой керамического корпуса керамику металлизируют с помощью молибдено–марганцевых паст или металлической фольги толщиной 30–50 мкм. Металлизацию выполняют распылением через свободную маску, трафаретной печатью либо вырубкой из фольги с последующей приклейкой. На металлизацию электролитически наносят слой никеля или меди толщиной 3-5 мкм и затем производят

Требования к материалам корпуса

Во избежание термических напряжений и растрескивания корпуса изготовляют из материалов, имеющих близкие по значению температурные коэффициенты линейного расширения (ТКЛР). Стекло, кроме того, в процессе сборки и герметизации приборов не должно размягчаться при нагревании. Рекомендуемыми парами материалов являются железо-никель-кобальтовый сплав 29НК (ковар) – стекло С48-2 или С49-2 (температуры размягчения 570˚С и 585˚С), железо-никель-медный сплав 47НД - стекло С89-8 или С90-1 (температуры размягчения 530˚С и 550˚С); керамика 22ХС или "Поликор" – стекло С72-4 (температура размягчения 560˚С).

Для согласования ТКЛР металла со стеклом или керамикой применяют буферные

материалы с промежуточным значением ТКЛР. В роли буфера используют припайные стекла, имеющие сравнительно невысокую температуру размягчения (~500˚ С). При нагреве припайное стекло размягчается и смачивает соединяемые поверхности подобно тому, как припой смачивает соединяемые металлические детали. ТКЛР припайного стекла находится в пределах (4 – 12)·10-6 ˚С-1.

Технологические воздействия на корпуса

Корпуса должны выдерживать следующие технологические воздействия без потери герметичности:

– посадку кристаллов на эвтектику Au-Si при температуре 450 0С в течение 2 мин;

–– разварку проволочных межсоединений, при этом механическая прочность соединений должна быть не хуже 0,5Н для проволоки диаметром 150-300 мкм;

– герметизацию методом шовно-роликовой сварки с показателем герметичности корпусов по скорости утечки гелия не более 5 10–5 Па м3 /с;

– вывода корпуса, включая их спаи с керамикой, должны выдерживать воздействие растягивающей силы, направленной вдоль оси вывода, для вывода диаметром 1,0 мм – 20 Н, а для диаметра 1,5 мм – 40 Н.

Металлокерамические и металлостеклянные изоляторы

Металлокерамический (а): 1-керамический изолятор, 2-припой, 3-траверса, 4-вывод, 5- медный сердечник и металлостеклянный (б) гермовыводы: 1-стеклянный изолятор, 2- вывод, 3-медный сердечник

Вакуумная плотность керамического и стеклянного изоляторов является важнейшим условием получения герметичного металлокерамического или металлостеклянного гермовывода корпуса . Для получения паяного металлокерамического узла необходимо предварительно осаждать специальную металлизацию, состоящую из молибденового слоя с последующим нанесением слоя никеля для улучшения условий растекания припоя.