ВКРБ_2015_10

пользованием систем компьютерной математики (MathCAD, Maple V). Для изготовления рисунков и демонстрационных листов целесообразно использовать графические редакторы (CorelDraw); для подготовки текста ПЗ – текстовые редакторы (Word); для выполнения чертежей – системы автоматизированного проектирования (AutoCAD, КОМПАС, PCAD). Подготовку и отладку собственных программ удобно вести используя интегрированные системы разработки (Delphi, C++ Builder, Visual Studio). Презентации обычно разрабатываются в редакторе Power Point.

В процессе работы студент-дипломник может воспользоваться имеющимися на кафедре библиотеками программ, либо разработать по согласованию с руководителем оригинальную программу. В первом случае в ПЗ должны быть приведены расчетная схема с исходными данными и распечатка результатов расчета с необходимыми пояснениями, а во втором – математическая модель и алгоритм решения, список идентификаторов и описание программы, распечатка текста программы и результатов расчетов.

Вся графическая часть проекта выполняется выполняется с помощью САD систем.

ЛИТЕРАТУРА

1.Куркин В.И. Основы расчета и конструирования оборудования электровакуумного производства. – М.: Высш.шк., 1980. – 544с.

2.Орлов П.И. Основы конструирования. Справочно-методическое пособие. –

М.: Высш.шк., 1977. – 36с.

3.Первицкий Ю.Д. Расчет и конструирование точных механизмов. –

Л.:Машиностроение, 1976. – 456с.

4.Вопилкин Е.А. Расчет и конструирование механизмов, приборов и систем. –

М.: Высш.шк., 1980. – 463с.

5.Турпаев А.И. Винтовые передачи. – М.: Машиностроение, 1982. – 223с.

6.Рабинович А.Н. Автоматическое ориентирование и загрузка штучных деталей. – Киев. – Техника, 1988. – 299с.

7.Спыну Г.А. Промышленные роботы. – Киев: Вища шк., 1985. – 175с.

8.Ерошин С.С. Расчет и конструирование оборудования электронной промышленности. Конспект лекций, ч. 1. – Луганск, ВУГУ, 2000. – 179с.

9.Промышленные роботы: Каталог. – М.: НИИМаш, 1981. – 1983. – 253с.

10.Промышленная робототехника./Под ред. Я.А Шифрена. – М.: Машино-

строение, 1982. – 415с.

11.Промышленные роботы в машиностроении. Альбом схем и чертежей. / Под ред. Ю.М. Соломенцева. – М.: Машиностроение,1987. – 140с.

12.Козырев Ю.К. Промышленные роботы: Справочник. – М.: Машинострое-

ние, 1988. – 302с.

13.Справочник технолога-машиностроителя / Под ред. А.Г. Косиловой и Р.К. Мещерякова. – М.: Машиностроение, 1985. –Т.1. – 665с.

14.Косилова А.Г., Мещеряков Л.К.,Калинин М.А. Точность обработки заготовки и припуски в машиностроении: Справоч. – М.: Машиностроение, 1976. – 284с.

21

15.Станочные приспособления: Справочник/ Под ред. Б.Н. Вердашкина и А.А. Шатилова. – М.: Машиностроение, 1984. – Т.1. – 591с.

16.Горошкин А.К. Приспособления для металлорежущих станков: Справочник. – М.: Машиностроение, 1979. – 384с.

17.Обработка металлов резанием: Справочник технолога/ Под ред. Г.А.Монахова. – М.: Машиностроение, 1988. – 736с.

18.Терликова Т.Ф и др. Основы конструирования приспособлений. – М.: Машиностроение, 1980. – 119с.

19.Металлорежущие станки: Каталог-справочник в 8 ч. – М.: НИИМаш,1971.

20.Металлорежущий инструмент: Каталог-справочник в 4 ч. – М.: НИИМаш,

1971.

21.Общемашиностроительные нормативы для технического нормирования работ на металлорежущих станках. – М.: Машиностроение. – Т.1-2. – 642с.

22.Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих. – Вып.2 / ГК по труду при СМ СССР. – М.: Машиностроение, 1972. – 431с.

23.Общемашиностроительные укрупненные нормативы времени на работы, выполняемые на металлорежущих станках. Мелкосерийное, единичное производство». Сверлильные, фрезерные станки. – М.: НИИТруда, 1979.- 475с.

24.Новиков М.П. Основы технологии сборки машин и механизмов. – М.: Машиностроение, 1980. – 592с.

25.Технический контроль в машиностроении: Справочник проектировщика/ Под ред. В.Н.Чуприна и А.Д. Никифорова. – М.: Машиностроение, 1987. – 512с.

26.Методические указания к применению ЭВМ для оптимизации режимов резания в курсовом и дипломном проектировании. / Сост. Н.П. Логунов. Ворошилов-

град: ВМСИ, 1984. – 25с.

27.Анурьев А.И. Справочник конструктора-машиностроителя. – М.: Машино-

строение. – Т.1-3, 1982.

28.Балабанов А.Н. Краткий справочник технолога машиностроителя. М.: Издво Стандартов, 1992. – 460с.

29.Металлорежущие станки/ Под ред. Н.С. Колева и др. – М.: Машинострое-

ние, 1980. – 500с.

30.Методические указания к расчету и проектированию винтовых передач оборудования электронной промышленности при курсовом и дипломном проектировании. / Сост. С.С. Ерошин, И.Л. Глемб. – Ворошиловград: ВМСИ, 1983. – 48с.

31.Методические указания к расчету технологического оборудования электронной промышленности в курсовом и дипломном проектировании. / Сост. С.С. Ерошин, И.Л. Глемб. - Ворошиловград: ВМСИ, 1988. – 48с.

32.Методические указания к расчету и конструированию мальтийских механизмов в курсовом и дипломном проектировании. / Сост. С.С. Ерошин, И.Л. Глемб, Л.К. Швагер. - Ворошиловград: ВМСИ, 1990. – 44c.

33.Методические указания к расчету и конструированию кулачково-роликовых механизмов в курсовом и дипломном проектировании. / Сост. С.С. Ерошин, И.Л. Глемб. - Луганск: /ЛМСИ, 1990. – 36с.

34.Методические указания к расчету вибрационных загрузочных устройств в курсовом и дипломном проектировании. / Сост. И.Л. Глемб. - Ворошиловград:

ВМСИ, 1984. – 33с.

35.Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых

22

приборов и интегральных микросхем. – М.: Высш.шк., 1979. – 367с.

36.Нашельский А.Я. Технология спецматериалов электронной техники. – М.: Металлургия, 1993. – 368с.

37.Современная кристаллография: в 3-х. Т./ Под ред. А.А. Чернова и др. – М.:

Наука, 1980. – 408с.

38.Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. – М.: Радио и связь, 1987. - 464с.

39.Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов. – М.: Ме-

таллургия, 1987. – 336с.

40.Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА. – М.: 1987. –

376с.

41.Попов В.Ф., Горин Ю Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии. – М.: Высш.шк.,-255с.

42.Аваев Н.А. ,.Шишкин Г.Г. Электронные приборы - М.: Изд-во МАИ, 1996. –

544с.

43.Жигарев А.А., Шамаева Г.Г. Электронно-лучевые и фотоэлектронные при-

боры. – М.: Высш.шк., 1982. – 463с.

44.Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник - М.: Ра-

дио и связь, 1991. – 528с.

45.Розанов Л.Н. Вакуумная техника. – М.: Высш.шк. , 1982. – 208с.

46.Королев Б.И. Основы вакуумной техники. – М.: Энергия, 1981. – 432с.

47.Справочник по физическим основам вакуумной техники. / Под ред. Б.Т. Кучеренко. – Киев: Вища шк., 1981. – 264с.

48.Вакуумные системы и элементы: Справочник – атлас / Под ред. В.Д. Лубенца. – М.: Машиностроение, 1968. – 192с.

49.Пипко А.И. и др. Конструирование и расчет вакуумных систем. – М.:

Высш.шк. , 1976. – 352с.

50.Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. – Л.: Машиностроение,

1975. – 336с.

51.ГОСТ 2.004 – 88 ЕСКД. Общие требования к выполнению конструкторских

итехнологических документов на печатающих и графических устройствах ЭВМ.

52.ГОСТ 2.102 – 68 ЕСКД. Виды и комплектность конструкторских докумен-

тов.

53.ГОСТ 2.104 – 68 ЕСКД. Основные надписи.

54.ГОСТ 2.113 – 75 ЕСКД. Групповые и базовые конструкторские документы.

55.ГОСТ 2.301 – 68 ЕСКД. Форматы.

56.ГОСТ 2.601 – 95 ЕСКД. Эксплуатационные документы.

57.ГОСТ 3.1201 – 85 ЕСТД. Система обозначения технологической докумен-

тации.

58.ГОСТ 15.001-85. Разработка и постановка продукции на производство.

59.Дунаев П.Ф., Леликов О.П., Варламова Л.П. Допуски и посадки. Обоснование выбора: Учеб.пособие для студ. машиностроительных вузов. – М.: Высш.шк.,

1984. – 112с.

60. Зворыкин Д.Б., Прохоров Ю.И. Применение лучистого ИК-нагрева в электронной промышленности. – М.: Энергия, 1980. – 175 с.

23

ПРИЛОЖЕНИЕ А

Міністерство освіти та науки України Східноукраїнський національний університет імені Володимира Даля

Кафедра Фізики та електроніки

ПОЯСНЮВАЛЬНА ЗАПИСКА

до випускної кваліфікаційної роботи бакалавра на тему:

“Модернізація установки для іонної імплантації”

Завідувач кафедри

Сєвєродонецьк 2015

“ЗАТВЕРДЖУЮ” Зав. кафедри _______________

“16“ березня 2015р.

ЗАВДАННЯ до випускної кваліфікаційної роботи бакалавра

1.Студент Богородченко Валерій Миколайович

3.Тема випускной работы: “Модернізація установки для іонної імплантації”

Затверджена наказом по СНУ “13“ травня 2015 р. № _____

4.Термін здачі студентом закінченої роботи - 15 червня 2015 р.

5.Початкові дані до проекту: дози імплантації бором - у діапазоні від 2,0х1010 до 4,0х1014 іон/см2, фосфором та миш'яком - від 2,0х1010 до 1,6х1015 іон/см2. Виробнича спроможність – 40 пластин за годину. Розмір пластин – 150 мм. Вакуум – 10-7 Па.

6.Зміст пояснювальної записки (основні питання): технологія іонного ім-

плантації , моделювання процесу іонного легування, модернізація вакуум- ної камери, конструкція та робота установки.

7.Перелік графічного матеріалу (із зазначенням обов’язкових креслень):

установки для іонної імплантації – загальний вигляд (2 л), вакуумна каме- ра - (1л), пневматичний циліндр (1л), вакуумна схема (1л),

25

Продолжение приложения Б

8.Консультанти по проекту:

Дата видачі завдання “12 “ березня 2015 р.

26

Приложение В

27

Приложение Д

28

Приложение Е

29

Продолжение приложения Е

ПРИЛОЖЕНИЕ Ж

МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ УКРАЇНИ

СХІДНОУКРАЇНСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ імені Володимира Даля

Кафедра Фізики та електроніки

ПОЯСНЮВАЛЬНА ЗАПИСКА

до випускної кваліфікаційної роботи бакалавра

“Модернізація установки іонної імплантації”

30