Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

фхоминт_1 / 1.2 / Литографические технологии

.pdf
Скачиваний:
74
Добавлен:
21.04.2015
Размер:
8.14 Mб
Скачать

ЭМ-5299А

ЭМ-5299А является сканирующим лазерным генератором изображений следующего поколения, предназначенным для непосредственного генерирования изображений на пластинах без ограничений по размерам чипа. ЭМ-5299А идеально подходит для быстрого изготовления изделий.

Высокая производительность, оптическая обработка резиста способствуют времени производственного цикла с момента ввода данных до получения готовой пластины.

Отсутствие необходимости производства шаблонов уменьшает срок от разработки проекта до готового изделия и существенно снижает себестоимость.

72

Программное обеспечение

ПО предоставляет глубокий контроль процессов, а также гибкую адаптацию под быстро меняющиеся запросы пользователей. Контрольное ПО базируется на Windows 2000 и совместимо со всеми другими системами нанесения производства фирмы SUSS. Графический интерфейс пользователя показывает текущий статус всех модулей системы

. Для сервисных целей есть легкий доступ к каждому из подсоединенных модулей индивидуально. Управление системой интуитивно понятно и экономит время на обучение персонала. В режиме реального времени показывается местонахождение и статус каждой подложки

Конец темы

74