Доцент Резчикова Е.В.
Лекция № 06
ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ
ТРАВЛЕНИЕ
Обзор и классификация различных методов
Физические эффекты вакуумных технологий для электроники
Микропрошивка
отверстий
Вакуумное |
|
|
|
Ионное |
|
Электронная и |
|||||
нанесение |
|
|
легирование |
||
покрытий |
ионная |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
микроскопия |
|
Ионное |
||
|
|
|
травление |
||
4
ПЛАЗМА – ЭТО ЧАСТИЧНО ИЛИ ПОЛНОСТЬЮ ИОНИЗИРОВАННЫЙ ГАЗ, СОСТОЯЩИЙ ИЗ ПОЛОЖИТЕЛЬНО И ОТРИЦАТЕЛЬНО ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ, СУММАРНЫЙ ЗАРЯД КОТОРЫХ РАВЕН НУЛЮ.
ПЛАЗМА ПОДЧИНЯЕТСЯ ГАЗОВЫМ ЗАКОНАМ, НО ПРОВОДИТ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ТОК И УПРАВЛЯЕТСЯ МАГНИТНЫМ ПОЛЕМ.
ПРОЦЕСС ИОНИЗАЦИИ
1 – ускоренный электрон; 2 – отраженный частицей
электрон; |
3 – |
нейтральная частица газа; |
|
4 – анод; |
5 – |
ион; |
6 – |
выбитый вторичный электрон;
7 – резистор; |
8 – |
источник питания; |
9 |
- катод |
|
Разновидности плазмы
Низкотемпературная |
Высокотемпературная |
или холодная |
или горячая |
Температура |
Температура горячей |
холодной плазмы – |
плазмы составляет сотни |
несколько единиц |
электронвольт |
электронвольт |
|
Электрический ток в газах
Виды разрядов в газах
9
Тлеющий разряд в газах
10