Добавил:
Upload
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:
Доцент Резчикова Е.В.
Лекция № 05
Общие положения
Травление – это процесс разрушения материала поверхности детали травителем
Жидкостное травление деталей можно осуществлять:
химическим электрохимическим способом способом
Участки поверхности детали, не подлежащие травлению, защищаются резистом (специальным покрытием)
Деталь
Процесс травления состоит из пяти этапов:
1) диффузии реагентов к поверхности полупроводникового материала;
2) адсорбции реагентов поверхностью;
3) химического или электрохимического взаимодействия реагента с
поверхностью;
4) десорбции продуктов реакции;
5) диффузии продуктов реакции от поверхности
Соседние файлы в папке 1.2