Романова_1 / курсачи / Курсовик Романова / ПРИМЕР / 12 герметизация

9. Герметизация ИМС.

Основным способом защиты ГИС от воздействия дестабилизирующих факторов (температуры, влажности, солнечной радиации, механических воздействий) является герметизация. Ее осуществляют с помощью специально разработанных конструкций – корпусов.

Корпуса, в зависимости от материалов из которых они изготовлены, делятся на металлостеклянные, стеклянные, металлокерамические, керамические, металлополимерные и полимерные.

Для данной конструкции я выбрала металлостеклянный корпус 1206 (155.15-1) ГОСТ 17467-72. Корпус состоит из металлических дна и крышки, а также стеклянных деталей, в которые впаяны либо впрессованы металлические выводы круглого или прямоугольного сечения. Габариты монтажной площадки 12.5x10 мм; масса корпуса не более 2,8 г. Метод герметизации корпуса – оргонно-дуговая сварка.

9.1. Выбор способа проверки герметизации.

Для проверки герметизации корпуса выберем масс-спектрометрический метод. Этот метод основан на обнаружении гелиевым течеискателем гелия, предварительно введенного в корпус микросхемы. Выбор гелия объясняется прежде всего его высокой проникающей способностью (малый размер молекулы) и возможностью обнаружения мельчайших неплотностей в герметизирующем шве. Кроме того, гелий по сравнению с другими газами атмосферы дает резко выраженный масс-спектрометрический пик, а малое содержание гелия в сухом воздухе обусловливает низкий фоновый уровень при измерениях.

Высокая проникающая способность гелия затрудняет обнаружение больших течей, так как к моменту испытания гелий может полностью вытечь из корпуса. Поэтому целесообразно вводить гелий после герметизации, но непосредственно перед испытанием. Для этой цели герметизированные образцы помещают в герметичный объем с гелием при давлении 0,4 – 0,5МПа и выдерживают в нем несколько суток. При наличии течей гелий заполняет объем корпуса, а при последующем испытании вытекает из корпуса и обнаруживается течеискателем.