1. Вычислим относительную температурную погрешность:

2. Вычислим относительную погрешность коэффициента формы резисторов:

3. Вычислим коэффициенты формы резисторов:

Коэффициент формы резистора вычисляется по формуле:

, гдеR– сопротивление резистора,- удельное поверхностное сопротивление.

Для :;

Для :;

Для :;

Для :;

Для :;

Для :;

Для :;

Для :

Все резисторы будем выполнять в базовом слое, но для резисторов и, т.к.и, требуется в ходе расчетов проверить реальность выполнения длины данных резисторов.

4. Определяем расчетную ширину резисторов.

За расчетную ширину принимаем, где

- минимальная ширина резистора, при которой обеспечивается заданная погрешность геометрических размеров;

- минимальная ширина резистора, определяемая из максимально допустимой мощности рассеяния.

- минимальный габаритный размер резистора, определяемый разрешающей способностью технологии;

Минимальная ширина резистора, при которой обеспечивается заданная погрешность геометрических размеров считается по формуле:

,

где - абсолютная погрешность изготовления;- коэффициент формы-го резистора, относительную погрешность коэффициента формы резисторов,.

Минимальная ширина резистора, определяемая из максимально допустимой мощности рассеяния считается по формуле

,

где(Вт) - допустимая мощность рассеяния;(Вт) - средняя мощность рассеяния-го резистора;- коэффициент формы-го резистора, относительную погрешность коэффициента формы резисторов,.

Выбранное значение будет не реальной шириной резистора в кристалле. Реально же ширина будет больше из-за боковой диффузии и подтравов, поэтому значение топологической ширины(закладываемой в фотошаблон) будет меньшим будет считаться по формуле:

,

где - погрешность, вносимая растравливанием окон перед диффузией, процессе фотолитографии;- погрешность, вносимая уходом диффузионного слоя под маскирующий окисел в боковые стороны.

Окончательно за принимают ближайшие к вычисленным целые значения, кратные шагу координатной сетки.

Чтобы максимально уменьшить погрешность номинала резистора, определяют реальную ширину резистора по формуле:

На основании формул приведенных выше, сделаем расчет ширины все резисторов данной схемы.

Для :;;

зададимся

.

Окончательно . Тогда реальная ширина резистора:

Для :

зададимся

.

Окончательно . Тогда реальная ширина резистора :

Для :

зададимся

.

Окончательно . Тогда реальная ширина резистора :

Для :

зададимся

.

Окончательно . Тогда реальная ширина резистора :

Для :

зададимся

.

Окончательно . Тогда реальная ширина резистора :

Для :

зададимся

.

Окончательно . Тогда реальная ширина резистора :

Для :

зададимся

.

Окончательно . Тогда реальная ширина резистора:

Для :

зададимся

.

Окончательно . Тогда реальная ширина резистора:

5. Определяем расчетную длину резисторов:

Расчетная длина резистора считается по формуле:

,

где - реальная ширина резистора;- коэффициент формы резистора;n– количество контактных окон у резистора();- поправочных коэффициент, учитывающий сопротивление, обусловленное растеканием электрического тока у контактных областей резистора.

Коэффициент К определяется из номограмм для соответствующих контактных областей резисторов[1,стр.37, Рис.1.35б,1.35г].

Далее для проектирования топологического чертежа определяют топологическую длину резистора по формуле:

.

При этом погрешность изготовления резистора увеличивается, т.к. реально полученный резистор будет иметь меньшую длину, чем спроектированный. Окончательно за принимают ближайшие к вычисленным целые значения, кратные шагу координатной сетки. Реальная же длина резистора определяется из формулы:

Однако надо учитывать резисторы с . Для таких резисторов требуется проверить реальность выполнения размера длины резистора по формуле:

,

где - получаемая длина резистора,- вычисленная ширина резистора,- коэффициент формы резистора.

В этом случае должно соблюдаться условие .

Для всех резисторов предварительно посчитаем коэффициент К, который приведет в таблице 3.

Таблица 3. Рассчитанные поправочные коэффициенты К для всех резисторов

	Значение		Значение
	0.13		0.03
	0.14		0.24
	0.26		0.12
	0.13		0.035

Рассчитаем на основе вышеприведенных формул длину резисторов.

Для ,

.

Окончательно

Для ,

.

Окончательно

Для ,

.

Окончательно

Для ,

.

Окончательно

Для ,

.

Окончательно

Для ,

.

Окончательно

Для

Проверим реальность выполнения данного резистора:

условиевыполняется.

,

.

Окончательно

Для

Проверим реальность выполнения данного резистора:

условиевыполняется.

,

.

Окончательно