
- •1. Технические условия
- •2. Выбор и обоснование интегрального транзистора
- •3.Проектирование и расчет геометрии интегральных резисторов
- •3.1 Расчет геометрии интегральных резисторов
- •4. Выбор и обоснование структуры диода имс
- •5.. Проектирование и расчет геометрии интегральных конденсаторов
- •6.Выбор и обоснование изоляции элементов полупроводниковой имс.
- •7.Выбор корпуса микросхемы.
- •8 Расчет теплового режима имс.
- •9.Разработка технологии изготовления имс
7.Выбор корпуса микросхемы.
Основным способом защиты ИМС от воздействия дестабилизирующих факторов (температуры, влажности, солнечной радиации, пыли, механических воздействий и т.д.) является герметизация. Герметизацию осуществляют с помощью специально разработанных конструкций – корпусов, в которых размещают ИМС. Корпус предназначен также для соединения микросхемы с внешними электрическими цепями с помощью выводов, а также для обеспечения теплоотвода от кристалла ИМС.
В зависимости от использованных для изготовления материалов корпуса подразделяются на стеклянные, керамические, пластмассовые, металлокерамические, металлостеклянные, стеклокерамические и др. (наиболее распространены металлостеклянные, металлокерамические, пластмассовые и керамические).
Исходя из требований, предъявляемых к разрабатываемой ИМС (в частности, разрабатываемая ИМС предназначена для использования в аппаратуре, работающей в отапливаемых помещениях (группа РЭА 2)
Металлостеклянный корпус состоит из металлического основаниями металлической крышки, а также стеклянных деталей, в которые впаяны либо впрессованы металлические выводы круглого или прямоугольного сечения. Металлическое дно также спаяно или спрессовано со стеклом. Такие корпуса герметизируют созданием вакуумплотного соединения крышки с вваренным в диэлектрик фланцем путем пайки или сварки. Монтажная площадка, контактные площадки и выводы имеют золотое покрытие толщиной 2-5 мкм для обеспечения процессов эвтектической пайки, разварки выводов и улучшения паяемости при сборке. Для температурного согласования металлостеклянных спаев для изготовления основания и выводов корпуса применяют сплавы, имеющие ТКРЛ близкий к ТКРЛ стекла (как правило используется ковар).
8 Расчет теплового режима имс.
При разработке топологии кристалла полупроводниковой ИМС, а также в процессе разработки конструкции ИМС в целом, например при выборе корпуса, необходимо предусматривать меры, обеспечивающие рациональный тепловой режим микросхемы и ее элементов. Температурное поле кристалла — результат наложения температурных полей отдельных источников тепла, которыми являются активные и пассивные элементы и компоненты ИМС. Температурное поле имеет сложный рельеф, зависящий от выделяемой мощности и взаимного расположения элементов и компонентов, а также от теплофизических свойств материалов микросхемы и геометрических размеров деталей конструкции. Каждый источник тепла повышает уровень температуры подложки в целом и, кроме того, создает локальное повышение температуры в месте своего расположения.
Сложные конструкции микросхем, произвольное расположение тепловыделяющих источников не дают возможности получить удовлетворительные, т. е. универсальные и удобные для инженерного расчета аналитические модели для описания температурных полей ИМС. Поэтому оценка теплового режима ИМС ведется обычно приближенными методами. При этом полагают, что перенос тепловой энергии от тепловыделяющих элементов ИМС к ее корпусу осуществляется исключительно с помощью теплопроводности. Переносом тепла путем конвекции внутри корпуса, а также путем излучения в целях упрощения расчетов пренебрегают. Делается также допущение, что температура корпуса, имеющего металлическое основание, равна температуре окружающей среды. Считается также, что коэффициенты теплопроводности применяемых материалов не зависят от температуры. Расчеты делаются для стационарного, установившегося во времени теплового режима.
Конструкция ИМС должна быть такой, чтобы теплота, выделяющаяся при ее функционировании, не приводила в наиболее неблагоприятных условиях эксплуатации к отказам элементов в результате перегрева. К тепловыделяющим элементам следует отнести прежде всего резисторы, активные элементы и компоненты. Мощности, рассеиваемые конденсаторами и индуктивностями, невелики. Пленочная коммутация ИМС благодаря малому электрическому сопротивлению и высокой теплопроводности металлических пленок способствует отводу теплоты от наиболее нагретых элементов и выравниванию температуры платы ГИС или кристаллов полупроводниковых ИМС.
Кристаллы полупроводниковых ИМС размещаются в стандартных корпусах, возможности которых передавать определенную мощность от кристалла в окружающую среду определяются эмпирическим путем. Каждый типоразмер выпускаемого промышленностью корпуса для полупроводниковых ИМС рассчитан, таким образом, на конкретную максимально допустимую мощность. Поэтому тепловой режим в данном случае обеспечивается подбором корпуса исходя из суммарной мощности, выделяемой микросхемой.
Чтобы провести тепловые расчеты введем следующие понятия. Перегрев элемента или компонента ИМС — разность между их температурой и средней температурой поверхности корпуса. Максимально допустимая температура Тmax доп — максимальная температура элемента или компонента ИМС, при которой обеспечиваются требования к их надежности. Удельная мощность рассеяния (Р0, Вт/°С) — плотность теплового потока от элемента ИМС, кристалла или платы ИМС.
Внутреннее тепловое сопротивление элемента, кристалла или компонента ИМС (Rт вн, °С/Вт) — тепловое сопротивление самого элемента (кристалла, компонента) и тепловое сопротивление контакта между элементом (компонентом) и платой (кристаллом и корпусом) с учетом теплового сопротивления клеевой прослойки.
Будем полагать, что коэффициенты теплопроводности всех материалов конструкции ИМС в исследуемом диапазоне температур постоянны; теплоотдачей через газовую прослойку внутри корпуса и через гибкие проволочные выводы можно пренебречь; тепловыделяющие элементы являются плоскими источниками теплоты; температура корпуса одинакова во всех его точках (изотермичный корпус). Нормальный тепловой режим ИМС обеспечивается, если температура самого теплонагруженного элемента ИМС не превышает его максимально допустимой рабочей температуры.
Особенность теплового расчета полупроводниковых ИМС заключается в том, что полупроводниковый кристалл можно рассматривать как единственный тепловыделяющий элемент и считать, что суммарная мощность источников теплоты в нем равномерно распределена в приповерхностном слое. Эта особенность вызвана в первую очередь высоким коэффициентом теплопроводности кремния [80 — 130 Вт/(м°С)], малыми размерами элементов и небольшими расстояниями между элементами полупроводниковой ИМС. Экспериментально установлено, что разброс температур на поверхности кристалла невелик (единицы или доли градуса). Температура элементов полупроводниковой ИМС
Суммарная мощность рассеивания на резисторах P0 =120 мВт
Максимальная температура элементов определяется по формуле:
Тмах= Тс max+(RТП +RТВ1 + RТВ2 + RТК )*P0
Тс max — максимальная температура окружающей среды в процессе эксплуатации, заданная ТУ;
Тс max=45 С
-
внутреннее тепловое сопротивление
кристалла, рассчитываемое по формуле:
,
где
-
соответственно, толщина, коэффициент
теплопроводности материала и площадь кристалла;
h=0,55 мм;
=93,2
Вт/м 0С
[3];
Тогда
получим
-
тепловое сопротивление клея, рассчитываемое
по формуле:
,
где
-
те же параметры, только для клея;
h=0.002 мм;
=
140 Вт/м 0С
[5];
Тогда
получим
-
тепловое сопротивление ножки корпуса;
,
где
-
те же параметры, только для материала
ножки корпуса (ковар);
h=6 мм;
=15
Вт/м 0С
[5, стр. 94, таблица 10];
S-общая площадь одной ножки корпуса, S=9,64 кв. мм.
Тогда
получим
-для
одной ножки корпуса.
Т.к. в работе ИМС задействовано 8 ножек корпуса, тогда
Rтп=3,1 х 8=24,8°С/Вт
-тепловое
сопротивление от крышки корпуса в
окружающее пространство.
,
где
а – коэффициент теплоотдачи на конвекцию и излучение с поверхности крышки корпуса,
Sк – площадь поверхности крышки корпуса.
Sк=
Тогда
получим
Исходя из полученных значений тепловых сопротивлений, можно сказать, что основной
теплоотвод будет осуществляться через ножки корпуса ИМС.
В итоге получаем:
T=3,2 0С. – изменение температуры кристалла в процессе эксплуатации ИМС без учета
температуры окружающей среды.
При температуре атмосферы, равной 25 С, получим:
Ti=25+13,27+3,2=41,47 0С.
Таким образом, расчет показал, что температура эксплуатации ИМС не превышает максимальную температуру (Тмакс=+45 0С), заданную в ТУ. Тепловой режим ИМС обеспечен.