В ы п о л н е н и е р а б о т ы

1 Подготовка образца и откачка прибора:

1. Включить прибор и дождаться выхода на режим диффузионного насоса (выполняется за 30-40 мин до начала работы)

2. Перекрыть высоковакуумную магистраль (кнопка OFF вакуумной системы).

3. Напустить воздух в камеру объекта (кнопка AIR) и открыть камеру.

4. Извлечь держатель образца и установить на нем образцы микроэлектронных структур.

5. Закрыть камеру и, придерживая крышку, включить откачку (кнопка ON).

6. Откачать микроскоп до 5х10^-5 мм ртутного столба (20-25 мин.) Вакуум контролировать по ионизационному вакуумметру.

2 Получение изображения во вторичных электронах и проведение измерений:

1. Включить высокое напряжение ( кнопка ON блока 2)

2. Плавно увеличивая накал катода (1 деление в секунду) добиться насыщения тока делителя (в районе 100 мА).

3. Установить минимальное увеличение (ручка MAGNIFICATION влево до упора)

4. Включить питание детектора (кнопка ON блока 10 )

5. Выставить контраст и яркость так, чтобы не было участков сплошной засветки зкрана при минимуме шумов.

6. Плавно поднимая увеличение вывести при помощи джойстика край образца в центр экрана.

7. Сфокусировать изображение (ручки MAN. FOCUS и STIGMATOR)

8. Произвести измерения геометрических размеров элементов структур согласно индивидуальному заданию (для этого при помощи ручек BEAM SHIFT и ROTATE совместить измеряемый объект с масштабной меткой).

9. Зарисовать исследуемую структуру с простановкой размеров

10. Выключить питание детектора (см. п.4)

11. Снять накал катода и выключить высокое напряжение (см.п.1и2).

Рекомендуемая литература:

1. «Практическая растровая электронная микроскопия» под ред. Дж. Голдстейна и Х. Яковица пер. с англ. М. Мир 1978 .

2. «Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия» Уманский Я.С., Скаков Ю.А. и др. М. Металлургия, 1982 .

3. «Микроанализ и растровая электронная микроскопия» под ред. Ф. Морис, и др.

пер. с франц. М, Металлургия, 1985.

10