Лекции / методические указания / Таблица_1
.docТаблица 1
Классы чистоты и категории микроклимата производственных помещений предприятий электронной промышленности
|
№№ п/п |
Типовые технологические операции, производимые в помещениях и подсобные помещения |
Класс чистоты (не ниже) |
Категория микроклимата (не ниже) |
|
1 |
Вакуумное напыление |
3 (100) |
II |
|
2 |
Фотолитография |
1 (1) |
I |
|
5 |
Подготовка подложек, плат |
3 (100) |
II |
|
4 |
Междуоперационные измерения |
4 (1000) |
II |
|
5 |
Измерение выходных параметров ЭУ, настройка, регулировка |
4 (1000) |
II |
|
6 |
Герметизация ЭУ |
4 (1000) |
II |
|
7 |
Сборка и монтаж ЭУ |
4 (1000) |
II |
|
8 |
Маркировка, лакировка и др. покрытия, упаковка ЭУ |
4 (1000) |
II |
|
9 |
Административное помещение |
4 (1000) |
II |
|
10 |
Кладовая |
4 (1000) |
II |
|
11 |
Гардероб |
4 (1000) |
II |
|
12 |
Входной коридор |
5 (10000) |
III |
|
13 |
Комната дежурного |
4 (1000) |
II |
|
14 |
Кондиционерная |
4 (1000) |
II |
|
15 |
Разлив кислот и хранение химикатов |
4 (1000) |
II |
|
16 |
Комната для курения |
4 (1000) |
II |
|
17 |
Умывальник и туалет |
4 (1000) |
II |