Министерство образования Российской Федерации

Московский государственный институт электронной техники

(Технический университет)

М.А.Королев, М.А.Ревелева

Технология и конструкции интегральных микросхем

Учебное пособие

Часть 1

Основы технологических процессов изготовления кремниевых интегральных микросхем

Утверждено редакционно-издательским советом института

Москва 2000

ББК 32.852

К68

УДК 621.382.049.77.002(07)

Рецензенты: докт. техн. наук, проф. А.М.Гуляев;

докт. техн. наук, проф. К.А.Петросянц

Королев М.А., Ревелева М.А.

К68      Технология и конструкции интегральных микросхем: В 2-х ч. Уч. пособие. Часть 1. Основы технологических процессов изготовления кремниевых интегральных микросхем. - М.: МИЭТ, 2000. - 160 с.: ил.

ISBN 5-7256-0246-Х

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния и других полупроводниковых материалов. Поскольку до настоящего времени основным материалом микроэлектроники остается кремний, рассматриваются процессы, необходимые для создания интегральных схем на его основе. К ним относятся химическая и плазмохимическая обработки материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его осаждение различными методами, а также нанесение других диэлектриков; литография; создание металлических соединений и контактов.

Предназначено для изучения курса "Процессы микро- и нанотехнологии" в соответствии с учебным планом подготовки специалистов по направлению 654100 "Электроника и микроэлектроника".

ISBN 5-7256-0246-Х  МИЭТ, 2000

Учебное пособие

Королев Михаил Александрович

Ревелева Марина Алексеевна

Технология и конструкции интегральных микросхем. Часть 1. Основы технологических процессов изготовления кремниевых интегральных микросхем

Редактор Е.Г.Кузнецова. Выпускающий редактор С.В.Козинцева. Технический редактор Е.Н.Романова. Корректор Л.Г.Лосякова. Компьютерная верстка С.Е.Евсюковой.

ЛР № 020516 от 12.05.97. Подписано в печать с оригинала-макета 25.12.2000. Формат 6084 1/16. Печать офсетная. Усл. печ. л. 9,28. Уч.-изд. л. 8,0. Тираж 100 экз. Заказ 343.

Отпечатано в типографии МИЭТ.

103498, Москва, МИЭТ.