Технологический маршрут изготовления титалановых подложек (изделие 3)

Номер опера­ции в марш­рутной карте

Содержание операции

1.

Приготовление электролита анодирования

2.

Приготовление электролита электрополировки и хи­мической полировки

3.

Приготовление 2%раствора фтористоводородной кислоты

4.

Приготовление раствора снятия шлама после травле­ния и промывки титалановой заготовки

5.

Изготовление титановых заготовок

6.

Анодирование титановых заготовок

7.

Химическая обработка титановых заготовок

8.

Химическая полировка алюминевой фольги

9.

Накатка алюминевой фольги на титановую заготовку

10.

Обрезка заготовок в размер

11.

Электрополировка титалановых подложек

12.

Предварительное анодирование титалановых подло­жек

13.

Терморихтовка титалановых подложек

14.

Электрополировка титалановых подложек

15.

Глубокое анодирование титалановых подложек

16.

Отжиг титалановых подложек

17.

Контроль толщины окисла

18.

Контроль