Технологический процесс изготовления фольгового чувствительного элемента на полиимидном носителе (изделие 2)

Отмывка титановых заготовок производится в смеси Н202-225мл и NH40H-9мл при температуре 100°С. Затем они сушатся на центифу-гепри 100°С.

Никелевую фольгу обрезают в размер рамки и приваривают на установке контакно-точечной сварки. Заготовки снова отмываются.

На полуавтомате нанесения фоторезиста ПНФ-2, на заготовки со стороны, не закрытой фольгой, наносится лак электро-изоляционный полиимидный АД-9103. Полимеризация лака происходит при темпе­ратуре 350°С в течение 10мин. Заготовки остывают на воздухе.

После отмывки и сушки заготовок производится фотолитогра­фия по никелю.

Травление 1происходит в растворе РеС1з:Н20:НМОз= 200:13:20 при температуре 60°С.

Припоем ПОС-61 облуживаются контактные площадки.

Измеряется сопротивление резисторов. При необходимости про­изводится подгонка сопротивления в растворе травления 1,разбав­ленном в 10или 100раз^ в зависимости от разности номиналов ре­зисторов рассчетного и измененного.

На поверхность заготовок со стороны элементов наносится лак полиимидный АД-9103 для защиты.

Зачищаются контактные площадки, после чего производится вы­ходной контроль фольговых элементов.

Технологический маршрут изготовления тонкопленочной имс на полиимидном носителе (изделие 2)

Номер опера­ции в марш­рутной карте	Содержание операции
1.	Подготовка рамок
2.	Приварка к рамке никелевой фольги
3.	Химическая обработка заготовок
4.	Нанесение полиимидного (электроизоляционного) лака АД-9103
5.	Полимеризация лака АД-9103
6.	Отмывка заготовок
7.	Нанесение фоторезиста на сторону никелевой фоль-ги, незащищенную лаком
8.	Фотолитография (создание резисторов)
9.	Травление никеля
10.	Лужение контактных площадок
11.	Подгонка сопротивления резистора
12.	Нанесение полиимидного лака АД-9103
13.	Полимеризация лака АД-9103
14.	Зачистка контактных площадок
15.	Выходной контроль фольговых элементов на полии­мидном носителе

Рис. 4. П.2.

Технологический процесс изготовления титалановых подложек (изделие 3)

На первом этапе изготовления подложек приготавливаются не­обходимые технологические растворы.

Электролит анодированияподложки готовится следующим об­разом: заливается 10литров горячей деионизированной воды (40-60°С) в полиэтиленовый бачок. Засыпается щавелевая кислота из рас­чета 100г/л, затем борная кислота 20г/л, перемешивается, переливает­ся в рабочую ванну через бязевую ткань, доливается до рабочего объ­ема (25л) деионизованной водой.

Электролит электрополированияподложек и химической поли­ровки алюминиевой фольги готовится следующим образом: заливает­ся 5литров ортофосфорной кислоты в емкость из кварцевого стекла, затем 1,5кг щавелевой кислоты и 550мл этиленгликоля. Этиленгли-коль для химического полирования алюминиевой фольги не заливает- • ся. Раствор разогревается до 90-100°С и перемешивается текстолито­вой палочкой. Плотность раствора замеряется ареометром. При появ­лении растрава алюминия в процессе электрополирования в виде мел­ких точек раствор меняется. Приготовляется раствор 2%фтористово-дородной кислоты. В полиэтиленовой бутыли смешиваются 4,3л деионизированной воды и 190мл фтористоводородной кислоты.

Раствор снятия шламапосле травления и промывки титалановой заготовки готовится следующим образом: в винипластовую ванну за­ливается 1л деионизированной воды, 280мл НМОз и 25мл HF.Все работы проводятся под вытяжкой и в резиновых перчатках.

Изготовление титановых заготовок.Нарезаются заготовки из титана на ножницах по заданному размеру с припуском по 1мм на сторону. Снимаются заусенцы напильником. Заготовки промываются в ванночке со стиральным порошком тампоном из поролона при тем-

пературе 50-60°С в течение 30-60с, затем горячей водой 40-50°С в те­чение 1-2мин. Концентрация раствора стирального псрошка 40-50г/л. Титановые заготовки травятся в 2% HFпод вытяжкой в кассетах в ванне из винипласта емкостью 2л 4-5мин. при температуре 18-25°С. Заготовки промываются в кассетах проточной деионизированной во­дой 1-1,5мин. Снимается шлам с травленных заготовок в винипласто-вой ванне под вытяжкой 1-2мин. при 18-25°С. Заготовки промывают­ся проточной деионизированной водой 5-10мин.

Анодирование титановой заготовки.Заготовки закрепляются в приспособлении, промываются деионизированной водой в течение 30-35мин. и помещаются в ванну с электролитом анодирования. Элек­тролит состоит из щавелевой кислоты (100г/л) и борной (20г/л). Ано­дирование происходит при температуре 18-20°С при напряжении 5В в течение 1,5-2мин. Заготовки промываются холодной водой, затем деионизированной 5-10мин. Сушатся под вентилятором.

Для химической полировки алюминиевой фольги ее наматывают на приспособление для химической полировки и опускают в бачок из кварцевого стекла с электролитом химического полирования. Элек­тролит состоит из 5л ортофосфорной и 1,5кг щавелевой кислот. По­лировка происходит при температуре 80-90°С. Через 3-3,5мин. фольга вынимается из приспособления и промывается в проточной воде при температуре 30-40°С 20-25мин., затем в проточной деионизированной воде 15-20мин. Фольгу помещают на алюминиевую подставку и ста­вят сушитьоя в муфельную печь на 3-5мин. при температуре 350±10°С.

Накатка алюминиевой фольги на титалановую заготовку.Под­ложки оборачиваются в алюминиевую фольгу в один слой и фольга отрезается. Укладываются на алюминиевую фольгу и помещаются в муфельную печь с температурой 450±10°С на 10мин. Перед прокаткой валки и станину протирают от пыли бязевой салфеткой, смоченной

спиртом. Горячие заготовки по одной берутся из печи пинцетом и прокатываются на установке прокатки 4-6раз в разных направлениях. Первая прокатка -со стороны, закрытой фольгой. Зазор между вал­ками установки прокатки 0,06-0 ,08мм для титана толщиной 0,5мм. Прокатанные заготовки отжигаются 20-30мин. в печи при 450±10°С, затем остывают на воздухе. Процесс повторяется 2-4раза. Накатанные заготовки отрезаются в размер. Заусенцы снимаются напильником.

Электрополировка.Подложки по одной электрополируются на подвеске из А1 или Tiпроволоки в течение 30-60с. Электролит состо­ит из 5л ортофосфорной кислоты, 1,5кг щавелевой кислоты и 550мл этиленгликоля. Температура раствора 90-100°С. Затем подложки про­мываются проточной теплой водой (40-50°С) 1-2мин., далее деиони-зированной водой 5-10мин.

Предварительное анодирование таталановых подложекперед терморихтовкой производят в ванне для анодирования при слабом барбатаже 2-3мин. Состав раствора: щавелевая кислота 100г/л, бор­ная кислота 20г/л, режим 2А/дм². Подложки промываются вместе с подвеской проточной холодной водой, затем деионизированной 1 -2мин. Сушатся под вентилятором.

Для терморихтовкиподложки складываются в пакет, пакет по­мещается между двумя шлифовальными плитами. Приспособление для терморихтовки ставится в печь с температурой 520±10°С на 25-35мин. Вынимается и ставится в вытяжную вентиляцию на металлическую подставку.

Электрополированиепроводят на подвеске из А1 или Tiпрово­локи, поместив подложки в сачок из кварцевого стекла с электролитом полирования на 1-2мин. при температуре 90-100°С. Промываются подложки теплой проточной водой 40-50°С 1-2мин. и проточной деионизированной водой 5-10мин.

Глубокое анодирование титалановых подложек производят на подвеске для анодирования при слабом барбатаже 100-200мин. при нормальной температуре. Раствор состоит из щавелевой и борной кислот, после чего подложки промываются проточной холодной во­дой, затем деионизированной 1-2мин. Сушатся под вентилятором.

Отжигтиталановыж подложек происходит на алюминиевой под­ставке в муфельной печи при температуре 450-470°С 15-20мин., после чего подложки охлаждают.

Контроль толщины окисла.Выборочно из партии берутся 1-2 подложки. В разных местах подложки наклеиваются кусочки липкой ленты ГОСТ 20477-75 10х10 мм. Травят окисел алюмиция в 15%рас­творе фтористоводородной кислоты 3-5мин. Промывают в проточной холодной воде 1-2мин. Снимают пинцетом липкую ленту и подложку промывают в холодной проточной воде 1-2мин. Толщина окисла должна быть равна 35-50мкм.

Контроль: при установке подложки на стеклянную пластину за­зор между каждым из углов и стеклом не должен превышать 0.08мм. Не допускаются вздутия и отслаивания окисла, трещины, темно-серые участки, сквозные поры, царапины, сыпь. Внешне подложки должны быть гладкие, блестящие светло-желтые. На нерабочей стороне допус­каются дефекты.