- •Технология и конструкции тонкопленочных гибридных интегральных схем
- •Цель работы
- •Теоретические сведения
- •Методы нанесения тонких пленок.
- •Методы формирования конфигураций тонкопленочных элементов
- •Навесные компоненты гис
- •Сборка микросхемы в корпус
- •Описание лабораторного макета
- •Лабораторное задание.
- •Порядок выполнения работы
- •Методические указания
- •Требования к отчету
- •Контрольные вопросы
- •Литература
- •Технологический процесс изготовления тонкопленочной двухслойной гис (изделие 1 )
- •Технологический процесс изготовления фольгового чувствительного элемента на полиимидном носителе (изделие 2)
- •Технологический маршрут изготовления тонкопленочной имс на полиимидном носителе (изделие 2)
- •Технологический процесс изготовления титалановых подложек (изделие 3)
- •Технологический маршрут изготовления титалановых подложек (изделие 3)
Навесные компоненты гис
В ГИС применяются как активные,так ипассивныенавесные компоненты. В качествеактивных навесных компонентовГИС применяют бескорпусные диоды и диодные матрицы, корпусные диоды и транзисторы в миниатюрном исполнении, бескорпусные полупроводниковые микросхемы и кристаллы; в качествепассивных навесных компонентов -конденсаторы, наборы прецизионных конденсаторов и резисторов, выполненных на отдельных платах, трансформаторы.
Способ монтажа дискретного компонента на подложку ГИС должен обеспечивать отвод теплоты, сохранение целостности ГИС при термоциклировании, стойкость к вибрациям и ударам, отсутствие загрязнений, возможность последующей сборки и герметизации микросхемы.
Для крепления к подложке компонентов с гибкими и балочными выводами используют термостойкие клеи. Толщина клеевого соединения 0,05 - 0,1мм. Компоненты с металлизированными основаниями можно прикрепить к подложке с помощью припоя или эвтектических сплавов.
Соединение выводов навесных компонентов с контактными площадками микросхемы, а также контактных площадок с выводами корпуса осуществляют сваркой (термокомпрессией, ультразвуковой и др. ),а также пайкой низкотемпературными припоями.
Сборка микросхемы в корпус
После резки подложки на отдельные платы, последующей приклейки платы к основанию корпуса специальной пленкой или клеем и монтажа дискретных компонентов проводится герметизация ГИС. Герметизация предусматривает окончательную защиту ГИС от климатических и механических воздействий, оговоренных техническими условиями на микросхему или аппаратуру. Этим определяется выбор конструкции корпуса и технологии его герметизации. Для тонкопле-ночных ГИС обычно используют металлостеклянные и металлополи-мерные корпуса. В первом случае герметизация проводится с помощью сварки, а во втором - заливкой компаундом.
Описание лабораторного макета
Лабораторный макет состоит из лупы и двух кассет. В кассетах содержатся: 1-я кассета: изделие 1 - набор образцов после различных операций техпроцесса создания однослойной тонкопленочной ГИС;
2-я кассета: изделие 2 - набор образцов изготовления ГИС на полии-мидном носителе и изделие 3 - набор образцов после различных операций техпроцесса изготовления титалановой подложки ГИС.
Лабораторное задание.
Домашняя работа:
Ознакомиться с описанием лабораторной работы;
Подготовить 3 экземпляра формы таблицы 1 и 1 экз. формы табл. 2 для записи результатов (см. приложение 1);
Выполнить пункты 1-3 требования к отчету;
Подготовиться к ответам на контрольные вопросы.
Работа в лаборатории:
1.Изучить последовательность операций изготовления тонко-пленочных ГИС;
2.Измерить сопротивления резисторов изделия 1;
3.Ознакомиться с перечнем оборудования и материалов в производстве ГИС.
Порядок выполнения работы
Внимание!
Пластины с образцами очень хрупки. После рассмотрения пластин сразу же ставьте их в кассету.
О замеченных дефектах образцов сразу же сообщайте преподавателю.
1.Ознакомьтесь с описанием техпроцесса и маршрутной картой изготовления изделия 1,приведенными в приложении 2.
2.0пределите наименование операций, выполненых для изделия 1.
3.Укажите характерные признаки каждой операции.
4.Укажите явные и возможные виды и причины брака каждой операции.
Результаты выполнения работы занесите в форму табл. 1(Приложение 1),в которой наименования операций и их номера запишите в соответствии и в последовательности их расположения в маршрутной карте.
5.В соответствии с вариантом задания нужно измерить: сопротивления резисторов Кз и R9до и после подгонки изделия 1,принципиальная электрическая схема которого представлена в приложении 2.
Результаты измерений занесите в форму табл. 2 (приложение 1).
6.Повторите пп. 1-4для изделий 2и 3.Результаты занесите в формы табл. 1аналогично с изделием 1.
