Konsp_Lec_MKREA
.pdf
Плавные p-n переходы.
В плавных линейных p-n переходах разница между концентрациями акцепторов и доноров (или наоборот) подчиняется линейному закону
N A N D kгр x ,  | 
	(9.17)  | 
где kгр – градиент разности концентраций акцепторной и донорной примеси.
Напряжённость электрического поля в области пространственного заряда плавного перехода определяют из выражения
E(x)  | 
	
  | 
	q kгр  | 
	(x x2p ), xp  | 
	x xn .  | 
	(9.18)  | 
|
2  | 
	r 0  | 
|||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
При этом очевидно, что максимальное значение напряжённости электрического поля в плоскости контакта плавного p-n перехода
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	E(x 0)  | 
	
  | 
	
  | 
	q  | 
	kгр  | 
	x  | 
	2 .  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	(9.19)  | 
|||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	2 r  | 
	0  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	p  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||||||
Как и ранее, примем электрический потенциал на границе ОПЗ в  | 
	p-  | 
|||||||||||||||||||||||||
области равным нулю, т.е.  | 
	U (x xp ) 0 .  | 
	Тогда значение электрического  | 
||||||||||||||||||||||||
потенциала в ОПЗ вычисляется согласно выражению  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||||||||||||||||||||
U (x)  | 
	
  | 
	q kгр  | 
	
  | 
	(x  | 
	2  | 
	(x x  | 
	
  | 
	)  | 
	1  | 
	(x  | 
	3  | 
	x  | 
	3  | 
	)), x  | 
	
  | 
	x x  | 
	
  | 
	(9.20)  | 
||||||||
2  | 
	r  | 
	
  | 
	
  | 
	p  | 
	p  | 
	3  | 
	
  | 
	p  | 
	p  | 
	n  | 
||||||||||||||||
  | 
	0  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||||||
и в плоскости контакта  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	q  | 
	k  | 
	гр  | 
	x3  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	U  | 
	(x 0)  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	p  | 
	.  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	(9.21)  | 
||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	3  | 
	
  | 
	r  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	0  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||||||
Таким образом, «высота» потенциального барьера в плавном p-n переходе определяется из выражения
  | 
	
  | 
	U (x x  | 
	
  | 
	) U (x x  | 
	
  | 
	)  | 
	
  | 
	q kгр  | 
	(x  | 
	2  | 
	(x  | 
	
  | 
	x  | 
	
  | 
	)  | 
	1  | 
	(x  | 
	3  | 
	x  | 
	3  | 
	)). (9.22)  | 
|
0  | 
	n  | 
	p  | 
	2  | 
	r 0  | 
	p  | 
	n  | 
	p  | 
	3  | 
	n  | 
	p  | 
||||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
При условии, что плавный переход является линейным, получим l 2 xp 2 xn , xp xn 2l .
91
Толщину области пространственного заряда при условии внешнего смещения можно определить из выражения
l 3  | 
	12 r  | 
	0 ,  | 
	(9.23)  | 
  | 
	q kãð  | 
	
  | 
	
  | 
а при условии равновесия по формуле
l0 3  | 
	0 12 r  | 
	0 .  | 
	(9.24)  | 
  | 
	q kãð  | 
	
  | 
	
  | 
Сравнивая выражения (9.23) и (9.24), можем сделать вывод, что
l l0  | 
	
  | 
	
  | 
	1/ 3  | 
	
  | 
	
  | 
(  | 
	
  | 
	)  | 
	.  | 
	(9.25)  | 
|
  | 
|||||
  | 
	
  | 
	0  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
Следовательно, при прямом смещении p-n перехода, когда 0 , наблюдается сужение ОПЗ, т.е. l l0 . И наоборот, при обратном смещении p-n перехода, когда 0 , наблюдается расширение ОПЗ, т.е. l l0 .
Следует заметить, что ширина l0 переходов реальных
полупроводниковых приборов колеблется в пределах от десятков нм до десятков мкм.
Ёмкость p-n перехода.
Удельная ёмкость p-n перехода при условии внешнего смещения определяется через толщину ОПЗ l :
C0  | 
	
  | 
	r 0  | 
	,  | 
	(9.26)  | 
  | 
	
  | 
	l  | 
	
  | 
	
  | 
а при условии равновесия через через толщину ОПЗ l0 :
C00  | 
	
  | 
	r 0 .  | 
	(9.27)  | 
  | 
	
  | 
	l0  | 
	
  | 
Тогда ёмкость p-n перехода для этих двух случаев вычисляется из
выражений  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
C C0  | 
	S  | 
	r 0 S  | 
	,  | 
	(9.28)  | 
  | 
	
  | 
	l  | 
	
  | 
	
  | 
  | 
	92  | 
	
  | 
	
  | 
|
C C00  | 
	S  | 
	r 0 S .  | 
	(9.29)  | 
  | 
	
  | 
	l0  | 
	
  | 
где S – площадь перехода.
Чем больше примеси в кристалле, тем тоньше переход и больше его ёмкость. Также ёмкость перехода возрастает при увеличении его площади S .
Толщина области пространственного заряда зависит от напряжения внешнего смещения согласно (9.25). Поэтому
C0  | 
	C00  | 
	(  | 
	0  | 
	1/ 3  | 
	.  | 
	(9.30)  | 
  | 
	)  | 
|||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
Данное выражение справедливо для плавных линейных p-n переходов. Применительно к ступенчатым переходам оно преобразуется к виду
C0  | 
	C00  | 
	(  | 
	0  | 
	1/ 2  | 
	.  | 
	(9.31)  | 
  | 
	)  | 
|||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
Из выражений (9.30) и (9.31) следует, что в режиме прямого смещения, когда 0 , наблюдается увеличение удельной ёмкости перехода, т.е.
C0 C00 . И наоборот, в режиме обратного смещения, когда 0 , наблюдается уменьшение удельной ёмкости перехода, т.е. C0 C00 . Так как
подача на переход внешнего напряжения не изменяет площади перехода S , то можно считать, что аналогичным образом в режимах прямого и обратного смещения изменяется и ёмкость p-n перехода C .
Построим зависимость ёмкости ступенчатого перехода от напряжения смещения согласно (9.31) в расчёте на площадь перехода S 1 мм2 . Пусть
«высота» потенциального барьера кремниевого p-n перехода 0  | 
	1 В,  | 
	а  | 
|||||
ёмкость перехода в состоянии равновесия C00 10 пФ. При вычислении C0  | 
|||||||
следует учесть, что  | 
	согласно  | 
	(9.2) 0  | 
	| U пр |,  | 
	но 0  | 
	| U обр |.  | 
||
Зададимся  | 
	интервалом  | 
	прямых  | 
	напряжений  | 
	смещения U пр 0...0,9 В  | 
	и  | 
||
интервалом  | 
	обратных  | 
	напряжений смещения U обр  | 
	10...0 В.  | 
	График  | 
|||
рассчитанной зависимости приведен на рис. 9.3.
Рассмотренный вид ёмкости p-n перехода при его обратном смещении называют барьерной ёмкостью. Барьерная ёмкость может достигать сотен пФ в расчёте на площадь перехода S 1 мм2 . Зависимость барьерной
93
ёмкости от обратного напряжения используют при создании одного из классов полупроводниковых диодов – варикапов. Как видно из рис. 9.3, ёмкость перехода при его прямом смещении оказывается даже больше ёмкости C00 (при U 0 В). Однако использовать эту ёмкость не
представляется возможным, поскольку она шунтируется малым сопротивлением открытого p-n перехода.
Рисунок 9.3 – Зависимость ёмкости p-n перехода от напряжения смещения в расчёте на площадь перехода S 1 мм2
Под барьерной ёмкостью понимают отношение приращения заряда неподвижных ионов обеднённого слоя к вызвавшему его приращению напряжения на переходе:
Q
Cб Uни .
Существует также и другой вид ёмкости в p-n переходе – диффузионная ёмкость. Под диффузионной ёмкостью понимают отношение приращения объемного заряда неравновесных подвижных носителей (как основных, так и не основных) у границ перехода к приращению напряжения на переходе:
94
Q
Cдф Uпн .
Наличие диффузионной ёмкости объясняется тем, что при изменении напряжения на переходе вследствие явления инжекции изменяется концентрация (а значит и заряд) неравновесных подвижных носителей в нейтральных приконтактных областях. При обратных смещениях на переходе диффузионная ёмкость невелика в сравнении с барьерной и её обычно не учитывают. Существенную роль эта ёмкость играет лишь при прямых напряжениях. От приложенного прямого напряжения Cдф зависит
экспоненциально:
Cдф ~ exp(U пр ) .
UT
Графически качественный характер зависимости диффузионной ёмкости от прямого напряжения показан на рис. 9.4.
Рисунок 9.4 – Зависимость диффузионной ёмкости от прямого напряжения на переходе
Полная ёмкость p-n перехода равна сумме барьерной и диффузионной емкостей.
95
Более полную информацию о структуре и свойствах p-n переходов, полученных с применением различных технологий, работе p-n перехода в условиях равновесия и внешнего смещения, понятии потенциального барьера, области пространственного заряда, ёмкости перехода можно получить в следующих источниках.
Список литературы
1.Гершунский Б.С. Основы электроники и микроэлектроники: Учебник.
– 4-е изд., перераб и доп. – К.: Вища школа, 1989. – 423 с.
2.Справочник по радиоэлектронике. Т.1 / под ред. А.А. Куликовского. –
Энергия, 1967. – 648 с., ил.
3.Зи С.М. Физика полупроводниковых приборов. Пер. с англ. под ред.
А.Ф. Трутко: М., «Энергия», 1973. – 656 с., ил.
4.Прянишников В.А. Электроника. Курс лекций. – М.: Корона Принт, 2006. – 415 с.
5.Полупроводниковые приборы, интегральные микросхемы и технология их производства: Учебник / Ю.Е. Гордиенко, А.Н. Гуржий, А.В. Бородин, С.С. Бурдукова. – Харьков: «Компания СМИТ», 2004. – 620 с.
6.Мікроелектроніка. Елементи мікросхем. Збірник задач. Навч. посіб. / За ред. М. М. Прищепи. – К.: Вища шк., 2005. – 167 с.: іл.
96
Лекция 10. ЭЛЕКТРОННО-ДЫРОЧНЫЙ ПЕРЕХОД
Вольт-амперная характеристика p-n перехода.
Рассмотрим свойства p-n перехода в режимах прямого и обратного смещения. В режиме прямого смещения на переход подаётся такое внешнее напряжение, при котором вызванное им внешнее электрическое поле с напряжённостью Eвнеш направлено навстречу внутреннему полю Eвнутр . Как
было показано на предыдущей лекции, в режиме прямого смещения наблюдается уменьшение толщины области пространственного заряда, т.е. l l0 , поскольку основные носители заряда смещаются в направлении
плоскости контакта и частично заполняют обеднённый слой. Так как внутреннее и внешнее электрические поля направлены в разные стороны, то суммарное поле (Eвнутр Eвнеш) Eвнутр, а потенциальный барьер уменьшается
на величину прямого напряжения, т.е. 0 Uпр .
Вследствие снижения потенциального барьера его тормозящее действие по отношению к основным носителям заряда уменьшается и равенство диффузионного и дрейфового тока нарушается. Диффузионный ток становится больше дрейфового, а суммарный ток в режиме прямого смещения Iпр
становится отличным от нуля:
Iпр Iдф Iдр Iдф 0.
Поскольку диффузионный ток образован основными носителями, концентрация которых велика, то в режиме прямого смещения ток перехода Iпр будет
значительным, а сопротивление перехода будет мало (десятки-сотни Ом).
Основные носители, преодолевшие потенциальный барьер и попавшие в противоположную область полупроводника оказываются в ней неосновными. Поэтому концентрация неосновных носителей вблизи плоскости контакта возрастает. Явление увеличения концентрации неосновных носителей в обеднённом слое смещённого прямо p-n перехода называется инжекцией.
Носители, инжектированные через переход, являются избыточными или неравновесными. Их концентрация на границе перехода оказывается максимальной и определяется выражением
97
pn (x 0)
и выражением
np (x 0) np0
pn0 exp(U пр ) для дырок в n-области
UT
exp(U пр ) для электронов в p-области.
UT
(10.1)
(10.2)
Появление на границе перехода избыточных неосновных носителей заряда вызывает перепад концентрации этих носителей по направлению вглубь кристалла, т.е. pn (x 0) pn0 и np (x 0) np0 . Вследствие этого дырки
диффундируют от границы перехода вглубь n-области. При этом избыточные неравновесные дырки активно рекомбинируют с основными носителями – электронами, а их концентрация постепенно убывает, стремясь к pn0 .
Инжекция дырок не нарушает электрической нейтральности n-области, поскольку сопровождается одновременным встречным поступлением равного количества электронов из внешней цепи. Аналогичным образом происходит инжекция электронов в p-область, их диффундирование от границы перехода вглубь p-области, рекомбинация с основными носителями – дырками, постепенное уменьшение концентрации до значения np0 .
В режиме обратного смещения на переход подаётся такое внешнее напряжение, при котором вызванное им внешнее электрическое поле с напряжённостью Eвнеш совпадает по направлению с внутренним полем Eвнутр.
Как было показано на предыдущей лекции, в режиме обратного смещения наблюдается увеличение толщины области пространственного заряда, т.е. l l0 ,
поскольку основные носители заряда оттягиваются от границы контакта. Так как внутреннее и внешнее электрические поля направлены в одну сторону, то суммарное поле (Eвнутр Eвнеш) Eвнутр , а потенциальный барьер увеличивается на величину обратного напряжения, т.е. 0 Uобр .
Вследствие увеличения потенциального барьера его тормозящее действие по отношению к основным носителям заряда возрастает, у основных носителей не хватает энергии для преодоления барьера и диффузионный ток резко уменьшается. При этом преобладающим оказывается ток дрейфа, а суммарный ток в режиме обратного смещения
98
Iобр Iдф Iдр Iдр.
Поскольку дрейфовый ток образован неосновными носителями, концентрация которых крайне мала, ток перехода Iобр будет незначительным, а
сопротивление перехода будет велико (сотни-тысячи кОм).
Суммарное электрическое поле на p-n переходе является ускоряющим для неосновных носителей заряда. Поэтому любой из них, попав на границу обеднённого слоя, переходит через переход. При этом концентрация неосновных носителей в области пространственного заряда уменьшается по сравнению с их концентрацией в состоянии равновесия. Явление уменьшения концентрации неосновных носителей в обеднённом слое обратно-смещённого p-n перехода называют экстракцией.
Концентрация неосновных носителей на границе перехода оказывается минимальной и определяется выражением
  | 
	pn' (x 0) pn0 exp(  | 
	Uобр  | 
	) для дырок в n-области  | 
	(10.3)  | 
|||||
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	UT  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||
и выражением  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|
n'p (x 0) np0  | 
	exp(  | 
	Uобр  | 
	) для электронов в p-области.  | 
	(10.4)  | 
|||||
  | 
|||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	UT  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||
Как следует из формул (10.3) и (10.4), уже при обратном напряжении  | 
|||||||||
Uобр 100  | 
	мВ 4 UT ,  | 
	концентрации  | 
	неосновных  | 
	носителей на  | 
	границе  | 
||||
перехода  | 
	становятся  | 
	пренебрежимо  | 
	малы,  | 
	т.е. pn' (x 0) pn0 и  | 
|||||
n'p (x 0) np0 . Тем не менее, в режиме обратного смещения через переход протекает конечный по величине обратный ток Iобр. Это обеспечивается тем,
что в связи с понижением концентрации неосновных носителей в ОПЗ сюда непрерывно диффундируют неосновные носители из глубинных слоёв полупроводника взамен экстрагированных.
Для вывода вольт-амперной характеристики p-n перехода необходимо получить математические выражения для распределения носителей заряда вблизи границ перехода при произвольном внешнем смещении и рассчитать
99
плотность тока диффузии (лекция 8). Решение этой задачи приводит к выражению
I Iобр [exp(  | 
	U  | 
	) 1].  | 
	(10.5)  | 
|
UT  | 
||||
  | 
	
  | 
	
  | 
Данное выражение описывает ВАХ «идеализированного» p-n перехода, когда не учитывается падение напряжения на нейтральных областях кристалла, не учитываются явления, протекающие на поверхности кристалла и т.д. Построим «идеализированную» ВАХ, полагая Iобр 10 мкА, UT 26 мВ.
Результат расчёта по формуле (10.5) представлен на рис. 10.1.
Рисунок 10.1 – ВАХ p-n перехода
Как видно из рис. 10.1, в области прямых смещений (положительных напряжений) ток возрастает по экспоненте. Уже при U 100 мВ 4 UT
I Iобр exp( U ) .
UT
100
