Подготовка к работе.

1. Установите на держателе необходимые контактирующие устройства и маркеры. Подсоедините штепсели устройств контактирующих к розеткам и вилки маркеров к розетке 1П, 1Л или 2П, 2Л.

2 Установите на столик предметный и закрепите проверяемую пластину, включив клапан "Фиксация пластины" (в лабораторном варианте вакуум отсутствует), и осторожно, чтобы не повредить зонды, опустите держатель в нижнее положение; механизм перемещений 9 (рис 1) заранее установите в положение , соответствующее верхнему рабочему положению держателя .

3. Включите питание автомата тумблером "Сеть" и подсветку оптической головки (микроскопа) тумблером "Освещение", установите головку микроскопа в рабочее положение.

4. Кнопкой "Z-подъем" поднимите столик предметный и , наблюдая через оптическую головку , опустите держатель с помощью механизма перемещений (вращая лимб по часовой стрелке) до касания зондами поверхности проверяемой пластины (платы).

5. Опустите столик предметный кнопкой "Z-подъем"(повторное нажатие кнопки приводит к опусканию столика), включите режим "Ориентирование", выберите желаемую скорость (1 или 2). Переключателем «Х» включите манипулятор и, наблюдая через оптическую головку, поворотом щитка столика добейтесь параллельного, относительно оси «Х» перемещения подложки микросхем. Зафиксируйте столик предметный клапаном "Фиксация столика"(так как вакуум отсутствует постарайтесь больше не касаться щитка столика).

6. Переключите режим работы автомата на "Медленно" или "Очень медленно", выставьте контролируемую пластину относительно зондов так, чтобы зонды совпадали с контактными площадками, манипулируя переключателями "Х" и "У" .

7. При помощи регулировочных винтов головки совместите зонды с контактными площадками, обеспечив одновременное касание всех зондов в пределах 10 мкм (1 деление на лимбе механизма перемещения). В лабораторной работе эту операцию выполняет лаборант или преподаватель.

8. Опустите предметный столик кнопкой "Z-подъем", опустите держатель с помощью механизма перемещений на 60…80 мкм (1 деление лимба- 10 мкм).

При подъеме предметного столика убедитесь в срабатывании датчика края по загоранию лампы "Датчик края" (в лабораторном макете датчик края отсутствует и загорание лампы не происходит).

Пункты 9, 10 и 11 в лабораторной работе не выполняются:

9. Выставьте маркеры на проверяемую микросхему. При применении двух маркеров один следует устанавливать на предыдущую, а другой на последующую микросхему по отношению к проверяемой. Проверьте положение и размер маркированного пятна, совместив бачок маркера с негодной микросхемой, нажав кнопку "Контроль маркера" (в лабораторном макете маркеры отсутствуют).

10. В режиме "Непрерывно" установите столик с проверяемой пластиной в начальное положение. Установите переключатель рода работ в положение "Автоматический".

11. При первичном использовании зондов, в целях ускорения приработки контактирующих поверхностей и удаления окисных пленок рекомендуется произвести в режиме "Самоконтроль" пятиминутную наработку зондов, выставленных на чистую германиевую или кремниевую пластину, смоченную спиртом, при шаге 0,5 мм.

Для удобства проверки и наладки устройства "Зонд-5А"служит переходная плата 4.135.252 , входящая в комплект ЗИП.

12.Опытным путем подберите шаг перемещения столика по оси "У", чтобы зонды попадали на соответствующие контактные площадки пластины (платы), при одном нажатии на кнопку пуск "У-ось направление ↓ ↑". Контроль правильности выбранного шага осуществлять по наличию измерения сопротивления прибором Е7-13 при поднятии столика.

13.Аналогично подберите шаг перемещения столика по оси "Х", чтобы зонды попадали на соответствующие контактные площадки второго сегмента ИМС на пластине (плате), при нажатии на кнопку пуск "Х-ось направление← →". Ввиду большой величины линейных размеров фрагмента подбор перемещения выполняется за 2-3 шага.

14.После завершения настройки установки "Зонд-5А" произвести замеры сопротивления во всех точках платы и результаты измерений занести в табл.1.

Таблица 1.

Фрагмент	№ измерения	R, Ом
№1	1
	2
	3
	4
	5
№2	1
	2
	3
	4
	5

Лабораторная работа завершается демонстрацией преподавателю результатов настройки установки "Зонд-5А".