Задание 1

Вопрос 1. Методика анализа пэб. Участок диффузии.

Будем рассматривать методику анализа ПЭБ в соответствии со схемой:

1. Декомпозиция анализируемых объектов с целью выявления материальных носителей потенциальной опасности.

1.1 Предметы труда (исходные материалы)

Исходные материалы диффузанты ,в качестве которых используются высокотоксичные соединения мышьяка , сурьмы , фосфора , бора.

1.2 Средства труда : машины, орудия, сооружения, здания, энергия.

На этапе заготовительных операций используется следующее оборудование:

- диффузионные установки: СДО -13,СДО-125/4, CДО-125/3-12,CДД-13,СДД-125ц/1;

1.3 Продукты труда, полуфабрикаты.

- полупроводниковая ИМС , подвергаемая после проведения операции диффузии, дальнейшей обработке(по технологической цепочке);

1.4 Технологический процесс, операции, действия.

Диффузия примесей проводится следующими методами : в открытой трубке в потоке газа-носителя , в ампулах , в вакууме , а также бокс-методом , среди которых наиболее широко применяют первый метод.

Подготовку к сборке и непосредственно сборку кварцевой ампулы проводят в скафандре с использованием средств индивидуальной защиты ( защитных очков , резиновых перчаток , респиратора ).

Сама диффузионная электрическая печь также располагается в специальном укрытии , оснащённом вытяжной вентиляцией. При этом в случае разгерметизации ампул с навеской мышьяка в момент загрузки в печь створки шкафа должны быть немедленно закрыты и печь отключена . Выгрузка ампул и замена реактора производится после остывания печи до температуры не более 40 градусов . Вскрытие кварцевых ампул производится в вытяжном шкафу с использованием индивидуальных средств защиты . Для утилизации твёрдых отходов , загрязнённых мышьяком , применяют специальную тару , на которую наносятся предупредительные надписи - "Отходы мышьяка" , "Яд".

В технологии кремниевых ИМС наиболее широкое применение нашёл метод диффузии в открытой трубке с твердым , жидким или газообразным источником примеси. В каждом случае в качестве диффузантов используются вещества , оказывающие токсичное действие на организм человека.

Обращение с указанными веществами требует соблюдения особых мер безопасности на всех этапах работы с ними . Транспортировка и хранение диффузантов производятся в запаянных кварцевых ампулах , помещенных в герметично закрывающийся контейнер , с размещением каждой ампулы в отдельном гнезде с амортизирующими прокладками . Места хранения должны быть недоступны попаданию воды . Вскрытие ампул работающими производится в вытяжном шкафу с использованием промышленного противогаза марки "М" , халата , резиновых нарукавников , анатомических перчаток в присутствии инженерно-технического работника , ответственного за проведение данной работы.

1.5 Производственная среда.

В следствии специфичности операции диффузии ее можно проводить в отдельном производственном помещении , тем самым не подвергаясь и не оказывая влияния на дальнейший процесс изготовления печатных плат.

1.6 Природно климатическая cреда.

Предприятие находится в средней полосе РФ. Максимально возможная температура в течении года +30 - +35 градусов , минимально возможная --35 - -40 градусов. Средняя летняя температура +25 градусов , средняя зимняя -25 градусов . В зимнее время большую часть дня необходимо искусственное освещение.