кремния

Путем осаждения из парогазовой смеси (ПГС). Восстановление кремния из трихлорсилана:

2SiHCl3газ + 3H2газ → 2Siтв + 6HClгаз

Зародышем будущего слитка служит резистивно нагреваемый кремниевый стержень. Полный цикл осаждения длится много часов. В результате получается стержень поликристаллического электронного кремния диаметром до 20 см и длиной несколько метров.

Предприятие «Усолье-

сибирский силикон» «Роснано»

Поликристалличе ский кремний. Именно в таком виде он поставляется для дальнейшей обработки

Методы выращивания

кристаллов в однокомпонентных системах

кристаллов в многокомпонентных системах

Чтобы рос

монокристал

л,

необходимы два главных

условия:

1. Наличие монокристаллической затравки или создание условий для роста единичного кристалла

2. поддержание достаточно медленной скорости выращивания, с учетом анизотропии роста граней кристалла и скорости протекания различных релаксационных процессов

Нормальная направленная кристаллизация

.

с

по длине;