Лабник тверд эл
.pdfМИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ МЭИ
____________________________________________________
И.Н. МИРОШНИКОВА, О.Б. САРАЧ, Б.Н. МИРОШНИКОВ
ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ЭЛЕКТРОНИКИ ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
Лабораторные работы Биполярные диоды и транзисторы Полевые транзисторы
Методическое пособие по курсу
ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ЭЛЕКТРОНИКИ
Часть I Твердотельная электроника
для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника»
Москва |
Издательский дом МЭИ |
2013 |
|
1
УДК 621.383
М
Утверждено учебным управлением МЭИ Подготовлено на кафедре полупроводниковой электроники
Рецензенты: доктор технических наук, профессор А.И. Попов.
М Физические основы электроники (твердотельная электроника). Лабораторные работы: методическое пособие И.Н. Мирошникова, О.Б. Сарач, Б.Н. Мирошников. М.: Издательство МЭИ, 2013. 96 с.
Представлены теоретические сведения и методика выполнения цикла лабораторных работ по исследованию электрических явлений в полупроводниковых приборах, методах исследования их характеристик.
Методические указания предназначены для обеспечения учебного процесса при многоуровневой подготовке специалистов по укрупненной группе специальностей и направлений подготовки 210100 «Электроника и наноэлектроника», а также для образовательных программ технической и педагогической направленности.
© Национальный исследовательский университет МЭИ, 2013
Мирошникова Ирина Николаевна Сарач Ольга Борисовна Мирошников Борис Николаевич
Методическое пособие по курсу «Физические основы электроники», часть I «Твердотельная электроника»
для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника»
Редактор издательства
____________________________________________________________
Темплан издания МЭИ 2012, метод. |
Подписано в печать |
|
Печать офсетная |
|
|
Формат 60×84/16 |
Физ. печ. л. 2,8 |
Тираж 200 экз. Изд. № Заказ |
____________________________________________________________
2
Лабораторная работа № 1. Исследование статических вольтамперных характеристик полупроводниковых диодов
Цель работы: изучение принципа работы полупроводниковых диодов и светодиодов.
Контролируемое введение примеси, легирование, позволяет управлять концентрацией свободных носителей заряда в полупроводнике. Если атомы примеси отдают электроны, примесь называется донорной. Уровень донорной примеси Ed находится в запрещенной зоне вблизи дна зоны проводимости Ec (рисунок 1.1). Для ионизации атомов примеси требуется энергия Ec–Ed. Для Si и Ge донорной примесью могут быть элементы пятой группы. Если атомы примеси принимают электроны, примесь называется акцепторной. Уровень акцепторной примеси Ea находится в запрещенной зоне вблизи потолка валентной зоны Ev. Для ионизации атомов примеси требуется энергия Ea Ev. Для Si и Ge акцепторной примесью могут быть элементы третьей группы.
а) б)
Рис. 1.1. Зонная структура полупроводника:
а) полупроводник n-типа (электронный); б) полупроводник p-типа (дырочный)
При температурах, близких к комнатной концентрации основных носителей заряда совпадает с концентрацией легирующей примеси: nn0 Nd , pp0 Na .
Произведение концентраций свободных электронов и дырок в полупроводнике равно квадрату собственной концентрации носителей заряда nn0 pn0 pp0 np0 ni2 . Из этого соотношения находят концентрацию
неосновных носителей заряда, т.е. дырок в полупроводнике n-типа ( pn0 ) и электронов в полупроводнике p-типа ( np0 ).
Удельная электропроводность полупроводника σ ( 1 , где –
удельное сопротивление) прямо пропорциональна концентрации свободных носителей заряда и их подвижности μ:
q n n p p , |
(1.1) |
где q – элементарный заряд (q=1,6∙10–19 Кл).
3
Для расчета подвижности в германии может быть использована эмпирическая формула:
|
|
|
μ2 |
|
|
|
|
T |
b |
, |
|
μ(N,T ) μ |
|
|
|
|
|
|
|
|
(1.2) |
||
1 (N / N |
|
)a |
300 |
||||||||
|
1 |
|
0 |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
где N Nd Na |
суммарная концентрация ионов доноров и |
|||||||||
акцепторов, |
остальные |
величины |
являются |
эмпирическими |
|||||||
постоянными. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Германий (Ge) |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Носители |
|
|
|
|
|
|
N0, см –3 |
|
a |
b |
|
заряда |
|
|
см2/(В∙с) |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
Электроны |
|
50 |
|
3850 |
|
8,1∙1016 |
|
0,48 |
0,269∙ln(N) 10,9 |
|
|
Дырки |
|
42 |
|
1860 |
|
1,4∙1017 |
|
0,42 |
0,33∙ln(N) 14,5 |
Для расчета подвижности в кремнии (Si) и арсениде галлия (GaAs) следует использовать следующую также эмпирическую формулу:
μ(N,T ) μ max |
B N |
|
|
|
|
|
|
T |
|
||
|
|
||
|
1 B N |
|
|
|
|
||
|
300 |
|
|
|
T |
b |
|
|
|
, |
|
|
300 |
(1.3) |
где
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
N |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
g |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
min max |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
N |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
B N |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
. |
|
|
|
(1.4) |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
min |
max |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
T 300K |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Тип п/п |
Тип |
|
|
max |
, |
|
|
|
|
|
|
min |
, |
|
N |
g |
, |
|
|
|
|
|||
носителей |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
материала |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
заряда |
|
см2/(В·с) |
|
|
|
|
см2/(В·с) |
|
см-3 |
|
|
|
|
|
||||||||||
Si |
Электроны |
|
1414,0 |
|
|
|
|
|
|
|
68,5 |
|
|
9,2∙1016 |
2,42 |
0,26 |
|
0,71 |
||||||
Дырки |
|
470,5 |
|
|
|
|
|
|
|
44,9 |
|
|
2,2∙1017 |
2,20 |
0,36 |
|
0,72 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
GaAs |
Электроны |
|
9400,0 |
|
|
|
|
|
750,0 |
|
|
7∙1016 |
2,3 |
0,50 |
|
0,5 |
||||||||
Дырки |
|
450,0 |
|
|
|
|
|
30,0 |
|
|
|
|
5∙1017 |
2,3 |
0,45 |
|
0,5 |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Полупроводниковым диодом называют прибор с одним p-n- переходом и двумя выводами. Структура диода на основе p-n-перехода и его потенциальная диаграмма показаны на рисунке 1.2, а, условное обозначение – на рисунке 1.2, б.
4
Рис. 1.2. Диод на основе p-n перехода (здесь Na > Nd)
На границе областей n- и p-типа проводимости существует область, обедненная подвижными носителями заряда, – область пространственного заряда (ОПЗ). Нескомпенсированные ионы акцепторов у границы раздела создают отрицательный объемный заряд Q – = qNa–, нескомпенсированные ионы донорной примеси создают положительный объемный заряд Q+= qNd+. В результате в ОПЗ образуется внутреннее электрическое поле Eопз, препятствующее перемещению электронов из n-области в p-область и дырок из p– области в n-область.
Разность потенциалов между границами ОПЗ υk называется
контактной разностью потенциалов. Для резкого (ступенчатого) p-n-
перехода
k |
Т ln |
N |
d |
N |
a |
Т ln |
n |
n0 |
T ln |
p p |
. |
(1.5) |
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
n |
2 |
|
np |
pn0 |
||||||||
|
|
|
i |
|
|
|
|
|
Здесь υT = kT/q – тепловой потенциал равный 0,026 В при комнатной температуре, T – абсолютная температура (в Кельвинах), k – постоянная Больцмана (k=8,617∙10–5 эВ/К); np0 и pn0 – концентрации неосновных
носителей заряда в соответствующих областях в состоянии термодинамического равновесия.
При приложении к p-n-переходу внешнего напряжения практически все оно падает на ОПЗ, так как ОПЗ имеет наиболее высокое сопротивление. Если «+» источника напряжения соединяется с n- областью, а « » – с p-областью, внешнее электрическое поле совпадает по направлению с внутренним, высота потенциального барьера увеличивается и становится равной υk+U. Это обратное включение.
Если «+» источника напряжения соединяется с p-областью, а « » – с n-областью, внешнее электрическое поле направлено против внутреннего, высота потенциального барьера уменьшается и становится равной υk U. Это прямое включение. Если внешнее напряжение будет
5
близко к υk, носители смогут переходить через барьер, и через диод будет течь значительный ток.
Вольт-амперная характеристика (ВАХ) диода на основе p-n-
перехода показана на рисунке 1.3. При приложении напряжения состояние ТДР нарушается. При обратном смещении ОПЗ расширяется, потенциальный барьер повышается, концентрация неосновных носителей заряда (np и pn) будет меньше равновесной (np0 и pn0).
I
Идеальная
характеристик
Реальная
характеристи
Is
φk U
Рис. 1.3. Вольт-амперная характеристика диода
При приложении прямого смещения носители будут преодолевать понизившийся потенциальный барьер. Электроны за счет диффузии (т.е. из-за разницы концентраций) будут проникать из n-области в p- область, а дырки – из p-области в n-область, концентрация неосновных носителей заряда вблизи ОПЗ будет выше равновесной. Этот процесс называется инжекцией. Распределение концентраций носителей при прямом смещении показано на рисунке 1.4.
Концентрация носителей на границе ОПЗ: |
|
pn хn pno exp U T . |
(1.6) |
np хp npo exp U T . |
(1.7) |
Зависимость распределения концентрации носителей от координаты определяется длиной области. В случае длинной области, превышающей утроенную диффузионную длину 3 Lp неосновных
носителей тока
pn x pn0 pn хn pn0 exp x Lp . |
(1.8) |
6
Рис. 1.4. Распределение концентрации носителей при прямом смещении
В случае короткой области
|
sh |
W x |
|
|
|
||
pn x pn0 pn хn pn0 |
|
Lp |
|
. |
(1.9) |
||
|
|
|
|||||
sh |
W |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|||
|
Lp |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
Для расчета концентрации электронов формулы аналогичные.
Если количество инжектированных неосновных носителей заряда много меньше количества основных носителей заряда – это низкий уровень инжекции (НУИ).
Плотность диффузионного тока дырок на границе ОПЗ (x=xn):
|
qD p p |
n0 |
|
U |
|
|
J p диф = |
|
e |
Τ 1 . |
(1.10) |
||
|
|
|||||
|
Lp |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
плотность диффузионного тока электронов на границе ОПЗ (x= xp):
|
qDnn p0 |
|
U |
|
|
|
Jn диф = |
|
e |
T 1 . |
(1.11) |
||
Ln |
||||||
|
|
|
|
|
где Dn и Dp – коэффициенты диффузии электронов и дырок, см2/(В·с);
Dn |
|
kT |
n T n , |
Dp |
|
kT |
p T p |
(1.12) |
|
q |
q |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
Ln – диффузионная длина электронов в p-области, Lp – диффузионная длина дырок в n-области:
|
|
|
|
|
|
|
Lp |
Dp p , |
Ln |
Dn n , |
(1.13) |
Где τn – время жизни электронов в p-области, τp – время жизни дырок в n-области.
При условии НУИ и отсутствии генерации и рекомбинации носителей заряда в ОПЗ полная плотность тока через диод:
|
U |
|
(1.14) |
J = Js e |
T 1 . |
||
|
|
|
|
7
где Js – плотность тока насыщения:
|
|
|
|
|
|
|
q Dn np |
|
q Dp |
pn |
|
2 |
|
|
D |
|
|
|
|
Dp |
|
(1.15) |
||
J |
|
J |
|
J |
|
|
|
|
|
|
|
q n |
|
|
n |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
s |
|
sn |
|
sp |
|
L |
|
L |
p |
|
i |
|
|
L |
p |
p |
L |
p |
n |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
n |
|
|
|
|
|
|
|
n |
|
|
n |
|
Умножив плотность тока на площадь p-n-перехода S, получим ток
через диод: |
|
|
|
|
I = Is eU T |
1 . |
(1.16) |
|
|
|
|
При U > 0 |
ток экспоненциально растет с ростом напряжения, при |
||
U < 0 exp U Т |
<<1, следовательно, |
ток через |
p-n-переход равен току |
насыщения.
Формула (1.16) описывает ВАХ идеализированного p-n-перехода. В реальных диодах напряжение падает не только на ОПЗ, но и на слаболегированной области диода – базе:
U T ln I |
|
I S 1 I rБ . |
(1.17) |
||||
Сопротивление базы |
r |
1 |
|
|
lБ U |
|
|
|
|
|
|||||
|
Б |
|
|
S |
|
||
|
|
|
|
При обратном смещении ток через диод увеличивается из-за генерации электронно-дырочных пар в ОПЗ, при прямом смещении рекомбинация носителей в ОПЗ увеличивает общий ток. Плотность тока рекомбинации-генерации носителей заряда в ОПЗ:
J RG 0 |
(U ) |
q ni |
W (U ) |
, |
(1.18) |
|
eff |
||||||
|
|
|
|
где W (U ) – ширина ОПЗ, а eff – эффективное время жизни носителей заряда:
|
|
|
|
|
|
|
ln |
p |
. |
|
|
|
eff |
|
|
n |
|
p |
(1.19) |
||||
|
|||||||||||
|
|
|
|
n |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
Для многих практических случает можно использовать следующие формулы:
– прямое смещение p-n-перехода: |
|
||
|
|
|
|
пр |
n p , |
(1.20) |
|
– обратное смещение p-n-перехода: |
|
||
обр n p . |
(1.21) |
8
Ширина ОПЗ согласно зависит от смещения. Для ступенчатого p-n- перехода ширина ОПЗ:
W U |
|
2 |
0 s |
|
|
U |
N d |
Na |
|
, |
(1.22) |
|
q |
k |
N d |
Na |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
где ε0 – электрическая постоянная (ε0 = 8,854∙10 –14 Ф/см),
s – относительная диэлектрическая проницаемость материала.
Влияние эффектов высокого уровня инжекции тоже искажает ВАХ. Прямая ветвь ВАХ диода показана на рисунках 1.5, 1.6.
Рис. 1.5. ВАХ с учетом |
Рис. 1.6. Прямая ветвь ВАХ |
сопротивления базы в |
полупроводникового диода в |
линейном масштабе |
полулогарифмическом масштабе |
Кроме того, вследствие саморазогрева прибора (выделение мощности I∙U) растет температура, и меняются параметры p-n-перехода (см. Лабораторную работу №2). При приложении большого обратного напряжения происходит пробой из-за лавинного увеличения количества носителей заряда в ОПЗ или из-за туннелирования электронов через ОПЗ. Он может перейти в тепловой пробой, ведущий к необратимому изменению характеристик.
Согласно идеализированной теории p-n-перехода I ~ exp U Т . При изменении тока в 10 раз (на декаду) напряжение получает приращение U = 2,3 Т . Путем экстраполяции прямой ветви ВАХ идеализированного p-n-перехода, построенной в полулогарифмическом масштабе (рисунок 1.6), к напряжению U = 0 можно найти значение тока насыщения Is. В области малых напряжений наклон ВАХ кремниевых диодов может быть меньше и определяться показателем экспоненты U/(m Т ). Если наклон соответствует коэффициенту m = 2, то преобладающим механизмом, определяющим протекание тока в диоде, считаются процессы генерации и рекомбинации носителей
9
заряда в ОПЗ, что позволяет экстраполяцией участка с наклоном U/(2 Т ) найти значение тока Irg 0 .
При домашней подготовке необходимо ознакомиться с типами р-n- переходов, изучить принцип работы полупроводникового диода, рассмотреть особенности ВАХ реальных диодов.
Предварительное расчетное задание
1.Провести расчет υk, Is и rб диодов.
2.Рассчитать и построить ВАХ идеального диода и ВАХ реального диода при температуре 300 K в одной системе координат.
Данные к расчету
Взять из задания к типовому расчету согласно номеру в журнале
Рабочее задание
1.Получить у преподавателя диод, отметить в протоколе материал, из которого сделан диод.
2.Измерить прямую и обратную ветви ВАХ диодов при масштабах ±5 В по напряжению и ±5 или ±15 мА, результаты занести в таблицы.
3.Отдельно промерить обратную ВАХ диода при масштабе ±100 В.
4.Построить графики ВАХ диодов в линейных масштабах по осям.
5.По усмотрению преподавателя, получить второй диод и повторить п. 1-4.
Анализ результатов измерений
1.Перестроив график прямой ветви ВАХ в полулогарифмическом масштабе, установить, есть ли на ней участок, соответствующий идеализированной теории p-n-перехода. Если такой участок есть, найти
значение тока насыщения Is. Если наклон в области малых напряжений соответствует коэффициенту m = 2, найти значение тока I +RG0.
2.По наклону прямолинейного участка прямой ветви ВАХ, построенной в линейном масштабе, приближенно найти значение сопротивления базы rб.
3.Графически оценить значение υk. При больших значениях прямого тока падение напряжения на ОПЗ приближается к значению
контактной разности потенциалов, т.е. U ≈ υk. Напряжение на диоде Uд=I rб+U, и, следовательно, при I = 0 на оси напряжений отсекается величина, приблизительно равная контактной разности потенциалов φk.
3. Сравнить экспериментально полученные ВАХ диодов с рассчитанными, объяснить различия.
Указания к отчету
Отчет должен содержать:
10