лабы КЭТ Спермаков / 5 / обработка
.docx
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ»
им. В.И. Ульянова (Ленина)»
кафедра МНЭ
ОТЧЕТ
по лабораторной работе № 5
«Исследование элементов гибридных интегральных микросхем»
Выполнил : Цой А.В.
Группа № 4206
Преподаватель: Пермяков Н.В.
Санкт-Петербург
2026
Цель работы: определение степени интеграции и плотность упаковки элементов микросхем; определение поверхностного сопротивления плёночных резисторов.
Обработка результатов эксперимента
Определим степень интеграции микросхем, то есть число элементов на каждой схеме
№ схемы
Число элементов на схеме(k)
1
20
2
8
3
18
4
37
5
15
6
27
Рассчитаем плотность упаковки элементов
;
-
S,
N
4,93
20
4
4,9
8
2
4,89
18
4
4,9
37
8
4,93
15
3
4,9
27
6
Рассчитаем поверхностное сопротивление плёнки для каждого резистора;
-
№
l, дел.
d, дел.
1
5840
25
0,3
70,08
2
464
4,6
0,3
60,31
3
203
2
0,3
63,82
4
87,1
3,3
0,3
72,42
5
102,2
1,5
0,3
68,93
6
1182
1,5
0,5
73,58
Вывод:
Исследуемые
микросхемы имеют разную плотность
упаковки элементов,
.
Поверхностное сопротивление плёночных
резисторов в исследуемой микросхеме
различаются из-за погрешности измерения
их геометрических размеров, неоднородности
толщины эпитаксиальной слоя резистора
