Интегральные устройства радиоэлектроники. Ч.1. Основные структуры полупроводниковых интегральных схем. Учебное пособие для вузов

9.Щука А. Электроника четвертого поколения - функциональная элетроника? – URL: http://www.chipnews.ru (дата обращения: 20.04.2019). – Режим доступа: свободный.

10.Шур М. Современные приборы на основе арсенида галлия / М. Шур. – Москва:

Мир, 1991. - 632 с.

11.Технология СБИС: В 2-х кн. / под ред. С. Зи. – Москва: Мир, 1986. Кн. 1, 2 –

857 с.

12.Данилина Т.И. Ионно-плазменная технология в производстве СБИС / Т.И. Данилина, С.В. Смирнов. – Томск: ТУСУР, 2000. – 140 с.

13.Иванов-Есипович Н.К. Технология микросхем / Н.К. Иванов-Есипович. –

Москва: Высш. шк., 1972. – 256 с.

14.Технология тонких пленок: В 2-х т. / под ред. Л. Майселла и Р. Глэнга.– Москва:

Сов. радио, 1977. Т. 1, 2 – 1432 с.

15.Херман М. Полупроводниковые сверхрешетки / М. Херман. – Москва: Мир,

1989. – 240 с.

16.Пихтин А.Н. Оптическая и квантовая электроника/ А.Н. Пихтин. – Москва.:

Высш. шк., 2001. – 573 с.

17.Зи С. Физика полупроводниковых приборов: В 2-х книгах / Зи С. – Москва.: Мир, 1984. Кн. 1, 2 – 912 с.

18.Бубенников А.Н. Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем / А.Н. Бубенников. – Москва: Высш. шк., 1989. – 320 с.

91