идз / идз3

МИНОБРНАУКИ РОССИИ Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) Кафедра микро- и наноэлектроники

отчет по индивидуальному домашнему заданию № 3 по дисциплине «Методы анализа структур электроники и микросистемной техники»

Студент ____________________ Преподаватель __________________________ Андреева Н.В.

Санкт-Петербург 2026

1. Общие сведения и область применения материала

Исследуемый образец – пиростильпнит (Ag₃SbS₃).

Рисунок 1 – Элементарная ячейка Ag₃SbS₃ [1]

Пиростильпнит — это редкий минерал, относящийся к сульфосолям серебра и сурьмы. Он представляет собой природный полупроводник с моноклинной кристаллической структурой, часто образующий игольчатые или пластинчатые кристаллы. [2]

2. Моделирование РФЭ-спектра материала

В качестве источника рентгеновского излучения возьмем алюминий, т.к. он является одним из стандартных источников рентгеновского излучения, используемых в РФЭС. Энергия фотонов рентгеновского излучения:

Таблица 1 – Энергия связи электронов для различных оболочек атомов, эВ

Элемент	Оболочка
S									-		-
Ag
Sb

Рассчитаем кинетические энергии фотоэлектронов и приведем примеры расчета:

Таблица 2 – Кинетические энергии фотоэлектронов, эВ

Элемент	Оболочка
S
Ag
Sb

На рисунке 1 качественно изобразим получаемый спектр исследуемого образца:

Рисунок 1 – Качественный РФЭ-спектр

Выберем аналитические линии:

Рисунок 2 – Качественный аналитический РФЭ-спектр

Для выбранных аналитических линий рассчитаем значение сечений фотоионизации в соответствии с выражением.

Объёмную концентрацию элементов образца возьмем из ИДЗ №1.

Длину свободного пробега определим по универсальной ее зависимости от энергии.

Рассчитаем интенсивности линий (домножаем все на количество электронов, если хотя бы один дублет):

Таблица 3 – Параметры модельного рентгеновского спектра

Параметры

Рисунок 4 – Модельный РФЭ-спектр исследуемого образца