ФОМНЭ 9дз

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ

ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

«ЛЭТИ» ИМ. В. И. УЛЬЯНОВА (ЛЕНИНА)

Кафедра микро- и наноэлектроники

ОТЧЕТ

по домашнему заданию №9

по дисциплине «Физические основы микро и наноэлектроники»

Тема: Электронная микроскопия.

Вариант 3

Студент гр. 0182 ______________ Бронников Д. Д.

Преподаватель ______________ Рассадина А. А.

Санкт-Петербург

2021

Рассчитать длину пробега и коэффициент отражения электронов для

заданной мишени (Ge) и соответствующих энергий электронов 100, 200, 500, 1000,

2000, 5000 и 10000 эВ.

E=0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10 кэВ;

Z=32;

A= 72,6 (г/моль)

p = 5,323 г/см³

Найти:

R-?

-?

E	0.1	0.2	0.5	1	2	5	10
R, μm	5,912*10-3	0,019	0,087	0,277	0,880	4,065	12,934

(дальнейшими слагаемыми можно пренебречь)

-0.1375

Вывод.

Формулы очень приближённы и могут дать лишь грубые оценки этих величин.

С ростом энергии электронов растет длина пробега, по крайней мере для мишени из Германия.

С ростом атомного номера элементов мишени растет доля электронов, рассеянных(отраженных), коэффициент растет (т.к. “минус” - убывает).