ФОМНЭ 8дз

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ

ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

«ЛЭТИ» ИМ. В. И. УЛЬЯНОВА (ЛЕНИНА)

Кафедра микро- и наноэлектроники

ОТЧЕТ

по домашнему заданию №8

по дисциплине «Физические основы микро и наноэлектроники»

Тема: Ионно-плазменное распыление материалов.

Вариант 3

Студент гр. 0182 ______________ Бронников Д. Д.

Преподаватель ______________ Рассадина А. А.

Санкт-Петербург

2021

Рассчитать скорость распыления v при ионно-плазменном распылении для ионов аргона и соответствующей мишени М₂ для плотности тока j₁ (А/см²) и коэффициента распыления S.

М2	J1	S
Cu	10-3	0,1

M₂=63,546 (г/моль)

=8,93 кг/см3

см/с

Вывод. Скорость распыления при ионно-плазменном распылении зависит от материала мишени, плотности подаваемого тока и коэффициента распыления.