ФОМНЭ 6 дз

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ

ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

«ЛЭТИ» ИМ. В. И. УЛЬЯНОВА (ЛЕНИНА)

Кафедра микро- и наноэлектроники

ОТЧЕТ

по домашнему заданию №6

по дисциплине «Физические основы микро и наноэлектроники»

Тема: Газовый разряд в современной микро и нанотехнологии.

Вариант 3

Студент гр. 0182 ______________ Бронников Д. Д.

Преподаватель ______________ Рассадина А. А.

Санкт-Петербург

2021

1. Рассчитать при какой температуре возможна спонтанная ионизация нейтрального атома N. Е₁ =14,5 эВ – первый потенциал ионизации

K_T=8.6179*10^-5 - постоянная Больцмана

2) Рассчитать, какой температуре соответствует энергия сродства к электрону Е_A =0.82 .

3) Рассчитать, какую энергию теряет электрон с энергией Е₀ 50 эВ, столкнувшись с атомом O. Приближенно долю потерянной энергии можно определить как соотношение m/M, где m –масса электрона, а M- масса атома:

Выводы.

1)Температура, при которой возможна спонтанная ионизация то есть средняя энергия частиц становится сравнимой с энергией ионизации атомов или молекул (с энергией, достаточной для отрыва одного или нескольких электронов от атома или молекулы) получилась очень высокая . 2)А энергия, сродства к электрону т.е. необходимую для отрыва от иона наиболее слабо связанного электрона (энергия отрыва для иона)

3)В каждом столкновении с атомом электрон теряет очень маленькую долю своей энергии Е, в моем варианте она получилась