АндрееваНВ_УсиковаМА_Методы_элементного_анализа_материалов_и_структур

.pdf

Скачиваний:

Добавлен:

28.02.2026

Размер:

16.8 Mб

Скачать

☆

<<< < Предыдущая 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 1617 / 1717

Окончание таблицы

		2s02p6		2s12p5				2s22p4
		1S0	1P1	3P0	3P1	3P2	1S0	1D2	3P0	3P2
		KL1L1	KL1L2	KL1L2	KL1L3	KL1L3	KL2L2	KL2L3	KL3L3	KL3L3
Xe	54	23.527	23.879	23.916	24.182	24.237	24.201	24.530	24.822	24.863
Cs	55	24.426	24.783	24.820	25.111	25.167	25.109	25.463	25.781	25.823
Ba	56	25.330	25.697	25.735	26.053	26.111	26.033	26.416	26.762	26.805
La	57	26.251	26.631	26.669	27.018	27.077	26.978	27.393	27.796	27.813
Ce	58	27.201	27.590	27.628	28.009	28.069	27.945	28.393	28.802	28.847
Pr	59	28.171	28.572	28.610	29.024	29.086	28.936	29.420	29.863	29.909
Nd	60	29.163	29.574	29.612	30.063	30.126	29.947	30.468	30.948	30.995
Pm	61	30.170	30.592	30.6331	31.120	31.184	30.976	31.537	32.056	32.104
Sm	62	31.199	31.631	31.671	32.200	32.266	32.024	32.627	33.186	33.235
Eu	63	32.247	32.690	32.730	33.303	33.370	33.092	33.740	34.345	34.395
Cd	64	33.315	33.769	33.809	34.429	34.497	34.182	34.877	35.528	35.579
Tb	65	34.402	34.868	34.909	35.576	35.646	35.291	36.036	36.736	36.788
Dy	66	35.512	35.988	36.029	36.749	36.820	36.421	37.220	37.792	38.025
Ho	67	36.604	37.127	37.169	37.944	38.016	37.750	38.425	39.234	39.287
Er	68	37.788	38.287	38.329	39.162	39.236	38.740	39.655	40.522	40.576
Tm	69	38.958	39.469	39.512	40.406	40.481	39.934	40.911	41.840	41.895
Yb	70	40.151	40.674	40.716	41.675	41.752	42.192	41.149	43.186	43.242
Lu	71	41.361	41.897	41.940	42.967	43.045	42.383	43.496	44.559	44.617
Hf	72	42.589	43.137	43.181	44.280	44.359	43.635	44.821	45.957	46.015
Ta	73	43.831	44.391	44.436	45.611	45.691	44.900	46.164	47.377	47.436
W	74	45.097	45.671	45.715	46.971	47.053	46.193	47.538	48.831	48.891
Re	75	46.385	46.972	47.018	48.357	48.440	47.507	48.938	50.315	50.367
Os	76	47.690	47.291	48.337	49.767	49.851	48.839	50.361	51.830	51.892
Ir	77	49.022	49.636	49.682	51.205	51.291	50.195	51.812	53.375	53.437
Pt	78	50.375	51.003	51.050	52.672	52.759	51.575	53.292	54.954	55.017
Au	79	51.752	52.393	52.440	54.167	54.255	52.978	54.801	56.568	56.633
Hg	80	53.149	53.802	53.849	55.685	55.774	54.397	56.330	58.206	58.272
Tl	81	54.554	55.227	55.275	57.225	57.316	55.840	57.890	59.882	59.948
Pb	82	55.992	56.677	56.726	58.799	58.891	57.302	59.476	61.691	61.658
Bi	83	57.451	58.115	58.205	60.402	60.495	58.799	61.098	63.338	63.406
Po	84	58.918	59.640	59.690	62.026	62.120	60.299	62.739	65.118	65.187
At	85	60.427	61.163	61.213	63.689	63.784	61.836	64.416	66.935	67.005
Rn	86	61.980	62.720	62.771	65.393	65.489	63.397	66.124	68.789	68.860
Fr	87	63.523	64.286	64.337	67.114	67.212	64.983	67.868	70.690	70.762
Ra	88	65.103	65.887	65.939	68.879	68.978	66.604	69.654	72.640	72.712
Ac	89	66.720	67.509	67.562	70.673	70.774	68.232	71.453	74.611	74.684
Th	90	68.341	69.153	69.207	72.498	72.600	69.898	73.302	76.640	76.714
Pa	91	70.016	70.842	70.896	74.373	74.576	71.599	75.190	78.714	78.789
U	92	71.704	72.550	72.604	76.280	76.384	73.327	77.116	80.839	80.916
Np	93	73.437	74.297	74.351	78.236	78.342	75.085	79.086	83.019	83.096
Pa	94	75.204	76.080	76.135	80.237	80.344	76.884	81.103	85.254	85.332
Am	95	77.060	77.930	77.985	82.317	82.425	78.727	83.177	87.558	87.637
Cm	96	78.867	79.590	79.646	84.386	84.495	80.240	85.099	89.888	89.968
Bk	97	80.594	81.528	81.585	86.408	86.518	82.388	87.331	92.204	92.284
Cf	98	83.286	84.187	84.245	89.453	89.565	85.017	90.348	95.607	95.688
Es	99	85.219	86.146	86.204	91.701	91.814	86.997	92.617	98.165	98.248
Fm	100	87.205	88.144	88.203	93.998	94.113	89.006	94.926	100.774	100.857
Md	101	89.221	90.192	90.251	96.356	96.471	91.085	97.315	103.472	103.556
No	102	91.267	92.260	92.320	98.763	98.880	93.173	99.744	106.240	106.325
Lr	103	93.373	94.388	94.448	101.250	101.368	95.322	102.252	109.108	109.194
Ku	104	95.518	96.555	96.615	103.796	103.915	97.510	104.820	112.055	112.142

161

ОГЛАВЛЕНИЕ
СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ.....................................................................................	3
ВВЕДЕНИЕ..............................................................................................................	4
1. СПЕКТРОСКОПИЯ РЕЗЕРФОРДОВСКОГО
ОБРАТНОГО РАССЕЯНИЯ..............................................................................	7
1.1. Физические основы.......................................................................................	7
1.1.1. Кинематика упругих столкновений..................................................	7
1.1.2. Сечение рассеяния............................................................................	10
1.1.3. Спектр обратного рассеяния............................................................	11
1.1.4. Основные типы спектров обратного рассеяния.............................	14
1.2. Восстановление структуры образца по модельному
спектру обратного рассеяния.....................................................................	18
Контрольные вопросы и задания по разд. 1 ....................................................	31
Список рекомендуемой литературы по разд. 1...............................................	31
2. РЕНТГЕНОСПЕКТРАЛЬНЫЙ МИКРОАНАЛИЗ........................................	32
2.1. Физические основы.....................................................................................	32
2.1.1. Строение атома. Теория Бора–Зоммерфельда...............................	32
2.1.2. Квантово-механическая модель атома...........................................	34
2.1.3. Спин-орбитальное взаимодействие................................................	35
2.1.4. Рентгеновский спектр.......................................................................	38
2.1.5. Локальность рентгеноспектрального микроанализа.....................	41
2.1.6. Количественный рентгеноспектральный микроанализ................	43
2.2. Моделирование рентгеновского спектра..................................................	50
2.2.1. Выбор энергии электронного зонда................................................	52
2.2.2. Построение качественного рентгеновского спектра.....................	53
2.2.3. Энергетическое разрешение............................................................	55
2.2.4. Расчет интенсивностей линий рентгеновского спектра...............	57
Контрольные вопросы и задания по разд. 2 ....................................................	61
Список литературы по разд. 2...........................................................................	62
3. ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ.................................................	64
3.1. Физические основы.....................................................................................	64
3.1.1. Излучательный и безызлучательный механизмы релаксации.....	64
3.1.2. Оже-переходы...................................................................................	66
3.1.3. Глубина выхода Оже-электронов....................................................	72

162

3.1.4. Оже-спектр ........................................................................................	88
3.1.5. Количественный анализ в электронной Оже-спектроскопии......	90
3.2. Моделирование Оже-спектра.....................................................................	94
3.2.1. Выбор аналитических линий. Построение качественного
Оже-спектра......................................................................................	96
3.2.2. Энергетическая ширина Оже-линий.............................................	101
3.2.3. Расчет интенсивностей линий Оже-спектра................................	102
Контрольные вопросы и задания по разд. 3 ..................................................	110
Список литературы по разд. 3.........................................................................	111
4. РЕНТГЕНОВСКАЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ...........	112
4.1. Физические основы...................................................................................	112
4.1.1. Поперечное сечение фотоэффекта................................................	112
4.1.2. Рассеяние рентгеновских фотонов на электронах.......................	122
4.1.3. РФЭ-спектр......................................................................................	123
4.1.4. Количественный анализ в РФЭС ..................................................	135
4.2. Моделирование РФЭ-спектра..................................................................	139
4.2.1. Выбор аналитических линий. Построение качественного
РФЭ-спектра....................................................................................	140
4.2.2. Расчет интенсивностей линий РФЭ-спектра................................	142
Контрольные вопросы и задания по разд. 4 ..................................................	144
Список литературы по разд. 4.........................................................................	145
ОБОЗНАЧЕНИЕ И НАИМЕНОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН
И ТЕХНИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ.................................................................	147
ТЕРМИНЫ И ОПРЕДЕЛЕНИЯ.........................................................................	150
ПРИЛОЖЕНИЯ...................................................................................................	153
1. Сечение торможения атомов 4Не...............................................................	153
2. Энергии связи электронов...........................................................................	157
3. Энергии KLL-переходов Оже-электронов.................................................	160

163

Андреева Наталья Владимировна Усикова Мария Александровна

Методы элементного анализа материалов и структур микроэлектроники

Учебное пособие

Редактор Э. К. Долгатов

Компьютерная верстка Е. Н. Стекачевой

––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––

Подписано в печать 09.10.24. Формат 60×84 1/16. Бумага офсетная. Печать цифровая. Печ. л. 10,25.

Гарнитура «Times New Roman». Тираж 50 экз. Заказ .

––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––

Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ» 197022, С.-Петербург, ул. Проф. Попова, 5Ф

164

<<< < Предыдущая 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 1617 / 1717

Соседние файлы в предмете Методы анализа структур электроники и микросистемной техники

#
03.03.202613.64 Mб0Childs K. D. Handbook of Auger Electron Spectroscopy_1995.pdf
#
28.02.202611.44 Mб0Feldman_L.pdf
#
28.02.202616.8 Mб1АндрееваНВ_УсиковаМА_Методы_элементного_анализа_материалов_и_структур.pdf
#
28.02.202691.99 Кб2ИДЗ1.docx
#
28.02.202633.02 Mб0презентации.7z (распаковывается, подождите)