МИНОБРНАУКИ России
«Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»
кафедра МНЭ
Курсовая работа по дисциплине «Физико-химические основы технологии изделий
электроники и наноэлектроники»
«Термодинамический анализ физико-химического процесса»
Выполнил: |
__________ |
. |
Преподаватель: |
__________ |
Никонова В. А. |
Санкт-Петербург
2025
|
|
Оглавление |
|
1. |
Структура и свойства ............................................................................................................................................... |
3 |
|
2. |
Анализ основного процесса..................................................................................................................................... |
6 |
|
|
2.1. |
Выбор рабочей температуры........................................................................................................................ |
6 |
|
2.2. |
Расчёт константы равновесия....................................................................................................................... |
6 |
3. |
Анализ процессов сублимации................................................................................................................................ |
9 |
|
|
3.1. |
Сублимация свинца:...................................................................................................................................... |
9 |
|
3.2. |
Сублимация селена: .................................................................................................................................... |
11 |
4. |
Построение P-T диаграмм ..................................................................................................................................... |
13 |
|
|
4.1. |
Границы области гомогенности (ГОГ):..................................................................................................... |
13 |
|
4.1.1. |
Верхняя линия:........................................................................................................................................ |
13 |
|
4.1.2. |
Линия стехиометрии: ............................................................................................................................. |
13 |
|
4.1.3. |
Нижняя линия: ........................................................................................................................................ |
14 |
|
4.2. |
Диапазон изменения давлений: .................................................................................................................. |
16 |
5. |
Определение парциальных давлений паров компонент и температуры нагревателей .................................... |
17 |
|
6. |
Оценка возможности окисления свинца............................................................................................................... |
19 |
|
Заключение ..................................................................................................................................................................... |
22 |
||
Источники |
....................................................................................................................................................................... |
23 |
|
2
1. Структура и свойства
Рассмотрим структуру PbSe в промежутке температур от комнатной до температуры плавления.
В данном промежутке PbSe кристаллизуется в структуру типа NaCl [1].
Рисунок 1 - Кристаллическая структура PbSe типа NaCl [2]
Свойства материала приведены в таблице 1:
Таблица 1 - Свойства структуры PbSe типа NaCl при T = 300 К
Температура плавления |
Тпл = 1354 К [1] |
|
|
Энтальпия образования |
ΔH°обр = -99.2 кДж/моль [1] |
|
|
Ширина запрещённой зоны |
ΔW = 0.29 эВ [1] |
|
|
Постоянная решётки |
a = 6.124 Å [3] |
|
|
Коэффициент температурного расширения |
α = 1.940 * 10-5 К-1 [4] |
|
|
3
Применение PbSe:
-) Благодаря небольшой ширине запрещённой зоны материал находит
применение в фотоэлементах и лазерных материалах. Граница использования
материала рассчитывается по формуле: Wкв ≥ W
hv ≥ 0.29 эВ
v ≥ 0.07 * 1015 = 7 * 1013 Гц
Материал может быть использован в качестве датчика инфракрасного излучения.
-) Тензодатчики [1]
Термодинамические параметры Для выполнения курсовой работы необходимо знание термодинамических
параметров каждого компонента системы.
Таблица 2 - Термодинамические параметры
Вещество |
ΔH°f298, |
S°298, |
Cp°, Дж/(моль*К) |
Тпл, К |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
кДж/моль |
Дж/(моль*К) |
a, |
b*103, |
|
|
|
|
|
Дж/(моль*К) |
Дж/(моль*К2) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
PbSe(тв) |
-99.2 |
102.51 [6] |
50.21 [6] |
- |
|
1354 |
|
|
|
|
|
|
|
Pb(газ) |
195.13 [6] |
175.26 [6] |
20.79 [6] |
- |
|
- |
|
|
|
|
|
|
|
Se2(газ) |
138.64 [6] |
251.96 [6] |
35.40 [6] |
- |
|
- |
|
|
|
|
|
|
|
O2(газ) |
0 [6] |
205.17 [6] |
29.37 [6] |
- |
|
- |
|
|
|
|
|
|
|
PbO |
-217.61 [6] |
68.70 [6] |
45.77 [6] |
- |
|
1159 [6] |
|
|
|
|
|
|
|
Pb(конд) |
0 [6] |
64.85 [6] |
24.22 [7] |
8.71 |
[7] |
601 [6] |
|
|
|
|
|
|
|
Se(тв) |
0 [6] |
42.13 [6] |
17.89 [7] |
25.1 |
[7] |
494 [6] |
|
|
|
|
|
|
|
Таблица 3 - Термодинамические параметры фазовых переходов
Элемент |
Тип перехода |
Тфп |
ΔHфп, |
ΔSфп, |
|
|
|
кДж/мол |
Дж/(моль*К) |
Pb |
Плавление |
601 [6] |
4.77 [6] |
7.95 [6] |
Pb |
Кипение |
2016 [6] |
177.81 [6] |
88.13 [6] |
Se |
Плавление |
494 [6] |
6.7 [6] |
13.57 [6] |
Se |
Кипение |
959 [6] |
29.31 [6] |
30.56 [6] |
4
Диаграммы состояния:
Примем давление постоянным и равным атмосферному, p = 1 атм.
Рисунок 2 - Диаграмма состояния PbSe [5]
Выделим область гомогенности на диаграмме при отношении компонент материала ≈ 1:1
Рисунок 3 - Крупномасштабная диаграмма состояния PbSe [5]
5
2.Анализ основного процесса
2.1.Выбор рабочей температуры
Чтобы синтез требуемого материала не занял слишком много времени, будем поддерживать температуру Tраб во время синтеза.
Сверху температура будет ограничена 1200 К – температура размягчения кварца, из которого состоит реактор синтеза, а снизу ограничим в 500 К, чтобы процесс не был неоправданно медленным.
Также будет учтена температура плавления синтезируемого материала. Температура должна быть достаточна высокая, чтобы процесс шел быстро, но материал должен быть осаждён в твёрдой фазе, поэтому сверху имеем ограничение в виде температуры плавления PbSe. Ограничим температуру сверху до 0.9TплPbSe, чтобы флуктуации температур не повлияли на процесс. Снизу ограничение 0.7TплPbSe для ускорения синтеза.
|
|
|
|
[0.7 |
|
|
|
|
, 0.9 |
|
|
|
|
|
] |
|
|
|
|||
|
|
{ |
раб |
|
пл |
|
пл |
= 1000 К |
|||||||||||||
|
|
|
|
раб (500, 1200) К |
|
раб |
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
2.2. |
Расчёт константы равновесия |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
Пример расчёта для 298 К: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
∆ 0 |
= |
∑ ∆ 0 |
= −1 ∙ ∆ 0 |
|
− |
1 |
|
∙ ∆ 0 |
+ 1 ∙ ∆ 0 |
||||||||||||
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
298( ) |
2 |
|
298( 2) |
|
298( ) |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
∆ 0 |
= −195.13 ∙ 103 − |
|
138.64 ∙ 103 |
− 99.2 ∙ 103 = −363.65 кДж |
|||||||||||||||||
|
|
||||||||||||||||||||
298 |
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
∆ 0 = ∑ ∆ 0 |
= −1 ∙ ∆ 0 |
|
− |
1 |
|
|
∙ ∆ 0 |
+ 1 ∙ ∆ 0 |
|||||||||||||
|
|
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
298( ) |
2 |
|
|
298( 2) |
298( ) |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
∆ 0 |
= −175.26 − |
1 |
251.96 + 1 ∙ 102.51 = −198.73 |
Дж |
|
||||||||||||||
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
298 |
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
К |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
∆ 2980 = ∆ 2980 − ∆ 2980
∆ 2980 = −363 650 + 298 ∙ 198.73 = −304 428 Дж
∆ 0 |
= ∑ ∆ 0 |
= −1 ∙ ∆ 0 |
− |
1 |
∙ ∆ 0 |
+ 1 ∙ ∆ 0 |
|||||||
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
( ) |
|
2 |
|
( 2) |
|
( ) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∆ 0 |
= −(20.79) − |
(35.40) + 50.21 = 11.72 Дж |
||||||||||
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
∆ 0 |
= − , |
= 8.314 |
Дж |
||||||||
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
моль ∙ |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
−∆ 0 |
|
|
|
−304 428 |
|
|
|
||||||
= |
|
|
298 |
= − |
|
|
|
|
|
|
= 122.874 |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
298 |
|
|
|
|
|
8.314 ∙ 298 |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
Пример расчета для 494: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∆ 0 |
= ∆ 0 |
|
|
+ ∫ ∆ 0 , |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
298 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
298 |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
494 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
∆ 0 |
= −304 428 + ∫ |
|
|
11.72 = − 361 353 Дж |
||||||||||||
494 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
298 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∆ 0 |
|
|
|
|||
|
|
∆ 0 |
= ∆ 0 |
+ ∫ |
|
|
, |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
298 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
298 |
|
|
|
|
||||
∆ 0 |
|
|
|
|
494 |
|
11.72 |
|
|
|
|
|
Дж |
|||
= −198.73 + ∫ |
|
|
|
|
= − 192.806 |
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
494 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
К |
||
|
|
|
|
|
298 |
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∆ 0 |
= ∆ 0 − ∆ 0 |
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
∆ 4940 = −361 353 + 494 ∙ 192.81 = −266 106.61 Дж
|
= − |
∆ 0 |
|
||
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
= − |
−266 106.61 |
|
= 64.823 |
||
|
|||||
|
|
8.31 ∙ 494 |
|
||
|
|
|
|||
Значения для других температур занесём в таблицу
Таблица 4 – Значения логарифма константы равновесия для рассматриваемых температур
T, K |
∆ 0, Дж |
|
Дж |
∆ 0, Дж |
|
lgKp |
|
|
|
∆ 0, |
|
|
|
|
|
|
К |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
||
298 |
-363 650 |
-198.73 |
|
-304 428 |
122.874 |
53.363 |
|
494 |
-361 352 |
-192.806 |
-266 107 |
64.792 |
28.139 |
||
601 |
-360 099 |
-190.508 |
-245 603 |
49.153 |
21.347 |
||
1000 |
-355 423 |
-184.541 |
-170 882 |
20.553 |
8.926 |
||
1354 |
-351 274 |
-180.989 |
-106 214 |
9.435 |
4.098 |
||
Построим зависимость lnKp = f(1/T)
7
Рисунок 4 – Зависимость логарифма константы равновесия №1 от обратной температуры
Из уравнения изотермы:
∆0 |
= − |
+ ( |
|
1 |
) |
[8] |
|
|
|
||||||
|
0.5 |
||||||
|
|
|
|
реальн |
|||
|
|
|
|
2 |
|
Условие, чтобы реакция проходила самостоятельно в прямом направлении:
∆0 < 0
Чтобы это условие выполнялось в рассматриваемой задаче, логарифм обратных давлений должен быть меньше логарифма константы равновесия.
Выберем рабочую точку: (1/Tраб, ln(−1 |
∙ −0.5) |
< lnK(1/Tраб)). Выберем |
|
2 |
реальн |
ближайшее целое число. |
|
|
Рисунок 5 – Зависимость lnKp = f(1/T) с выбранной рабочей точкой
Значение ln(P-1Pb*P-0.5Se2)реальных = 20 в выбранной точке
8
3. Анализ процессов сублимации
Расчёт термодинамических параметров для вспомогательных процессов сублимации.
3.1.Сублимация свинца:
Вид реакции: конд газ
Константа равновесия для приведённой реакции: KpII = PPbгаз=PPbравновес 1) Пример расчёта для T = 494 К:
|
∆C0 |
= ∆C0 |
|
− ∆C0 |
|
|
|
|
= 20.79 − 24.22 − T 8.71 10−3 = |
|||||||||||||||||
|
P |
|
|
(Pbгаз) |
|
|
|
|
(Pbконд) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
= −3.43 − T 8.71 10−3 Дж/К |
|
|
|||||||||||||||||||
|
∆H0 = −∆H0 |
|
|
|
|
|
|
+ ∆H0 |
|
|
|
|
= 195.13 кДж |
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
298 |
|
|
|
f298(Pbконд) |
|
|
f298(Pbгаз) |
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∆ 0 |
|
= ∆ 0 |
|
+ ∫ ∆ 0 |
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
298 |
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
494 |
|
|
|
|
|
298 |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
∆ 0 |
= 195 139 + ∫ |
|
|
−3.43 − 8.71 10−3 = 193 782 Дж |
|||||||||||||||||||||
|
494 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
298 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∆S2980 = −∆Sf2980 |
(Pbконд) − ∆Sf2980 |
(Pbгаз) = −64.86 + 175.26 = 110.41 Дж/К |
||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∆ 0 |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
∆ 0 |
= ∆ 0 |
|
+ ∫ |
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
298 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
298 |
|
|
|
|
|
|||
|
∆ 0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
494 |
|
−3.43 − T 8.71 10−3 |
Дж |
|||||||||||||
|
|
= 110.41 + ∫ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
= 106.97 |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
494 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
К |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
298 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
∆G0 |
= ∆H0 |
|
|
− 494 ∆S0 |
|
= 193 782 − 494 106.97 = 140 938.8 Дж |
||||||||||||||||||||
494 |
298 |
|
|
|
298 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
−∆G0 |
|
|
|
140 938.8 |
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
lnK298 |
= |
|
|
|
|
298 |
= − |
|
|
|
|
|
= −34.316 |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
8.314 ∙ 494 |
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
R 298 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
2) Пример расчёта для T = 1000 K:
∆CP0′ = ∆CP0|T=TплPb = −3.43 − 601 8.71 10−3 = −8.6647 Дж
|
|
|
|
ф.п. |
|
|
|
|
|
|
|
∆ 0 |
= ∆ 0 |
+ ∫ |
|
∆ 0 |
− ∆ 0 |
+ ∫ |
∆ 0′ |
|
|
|
|
|
298 |
298 |
|
|
ф.п. |
ф.п. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
601 |
|
|
|
|
|
|
∆ 0 |
|
= 195130 + ∫ |
(−3.43 − 8.71 10−3) − 4770 |
|||||||
1000 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
298
1000
+ ∫ −8.6647 = 184 677 Дж
601
9
|
|
|
|
|
|
|
ф.п. ∆ 0 |
|
|
|
|
|
∆ 0′ |
|
|||||
|
|
∆ 0 = ∆ 0 |
+ ∫ |
|
|
|
|
− ∆ 0 |
+ ∫ |
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
298 |
298 |
|
|
|
ф.п. |
|
|
ф.п. |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
∆ 0 |
= ∆ 0 |
|
+ |
∫601 |
−3.43− 8.71 10−3 |
− 7.95 + ∫1000 |
−8.6647 |
= 93 Дж/К |
|||||||||||
|
|
|
|
||||||||||||||||
1000 |
298 |
|
|
298 |
|
|
|
|
|
|
|
601 |
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
∆G0 |
= ∆H0 |
|
|
− 1000 ∆S0 |
= 192 976 − 1000 93 = 99 973 Дж |
||||||||||||||
1000 |
1000 |
|
|
|
1000 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
−∆G0 |
|
|
|
99 976 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
lnK298 = |
298 |
= − |
|
|
|
|
= −12.025 |
||||||||
|
|
|
|
R 298 |
|
8.314 ∙ 1000 |
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Значения для остальных рассматриваемых температур занесём в таблицу 5:
Таблица 5 – Параметры процесса сублимации свинца
T, K |
∆ 0, Дж |
∆ 0 |
, |
Дж |
∆ 0, Дж |
|
lnPPbравновес |
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
К |
|
|
|
|
298 |
195 130 |
110.41 |
|
162 228 |
-65.479 |
-65.479 |
||
494 |
193 782 |
106.97 |
|
140 939 |
-34.316 |
-34.316 |
||
601 |
192 904 |
105.36 |
|
129 580 |
-25.933 |
-25.933 |
||
1000 |
184 677 |
93.00 |
|
91 674 |
-11.026 |
-11.026 |
||
1354 |
181 610 |
90.38 |
|
59 239 |
-5.262 |
-5.262 |
||
По полученным значениям построим зависимость логарифма константы равновесия от обратной температуры:
Рисунок 6 – Зависимость логарифма константы равновесия №2 от обратной температуры для сублимации свинца
1
