Лабы по ТМиЭЭТ / ЛР4 Изготовление пленок методом магнетронного распыления Вариант 2

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

Санкт-Петербургский государственный

электротехнический университет

«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)

Кафедра ФЭТ

Лабораторная работа №4

по дисциплине «Технология материалов и элементов электронной техники»

Тема: «ИЗГОТОВЛЕНИЕ ПЛЕНОК МЕТОДОМ

МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ»

Студенты гр.
Преподаватель		Мишнёв М.А.

Санкт-Петербург

202X

Цель работы

Изучение процесса магнетронного напыления пленки и влияния технологических параметров на скорость напыления пленки.

Обработка результатов

1. Результаты измерений

Таблица 1. Зависимость скорости напыления плёнки от напряжения

I = 5 А
v, мкм/мин	0,216	0,257	0,295	0,32	0,357
U, кВ	0,5	0,6	0,7	0,8	0,9

Рис. 1. Экспериментальная зависимость скорости напыления плёнки от напряжения

Таблица 2. Зависимость скорости напыления плёнки от тока

U = 0,7 кВ
v, мкм/мин	0,081	0,137	0,211	0,322	0,504
I, А	1,3	2,37	3,65	5,59	8,75

Рис. 2. Экспериментальная зависимость скорости напыления плёнки от тока

2. Расчёт теоретической скорости напыления

Данные для расчёта:

Расчёт:

Рис. 3. Теоретическая и экспериментальная зависимость скорости напыления плёнки от напряжения при токе I = 5 А

Рис. 4. Экспериментальная и теоретическая зависимость скорости напыления плёнки от тока при U = 0,7 кВ

Выводы

В ходе лабораторной работы были изучены процессы магнетронного напыления пленки и влияние технологических параметров на скорость напыления пленки.

Были построены экспериментальные зависимости скорости напыления в зависимости от напряжения или тока. Также был проведён расчёт теоретической скорости травления в зависимости от напряжения или от тока. С помощью них через «подгоночный» коэффициент х были найдены зависимости теоретической скорости напыления плёнки.

Таким образом, можно сказать, что скорости напыления, полученные в экспериментах при изменении напряжения или тока хорошо сходятся с теорией.