- •1. Полевой транзистор Шоттки на подложке GaAs
- •3.1. Модификация командного файла Sentaurus Device
- •3.2. Результаты моделирования
- •3.3. Задания для самостоятельного выполнения
- •4. AlGaAs/GaAs транзистор
- •4.1. Модификация структуры
- •4.2. Модификация командного файла sDevice
- •4.3. Результаты моделирования
- •4.4. Задания для самостоятельного выполнения
4.1. Модификация структуры
Построим в SDE и визуализируем модель HEMT-транзистора (рис. 8).
Рис. 8. Модель HEMT
4.2. Модификация командного файла sDevice
Добавим в командный файл SDevice следующий фрагмент кода после секции Physics:
Physics (Material=«AlGaAs») {
MoleFraction(xFraction=0.26 Grading=0)
}
В данном фрагменте кода описана секция Physics, определенная только для материала AlGaAs. В ней задана мольная доля алюминия в тройном растворе AlGaAs, исходя из которой модулем SDevice рассчитывается ряд основных параметров полупроводника (например, ширина запрещенной зоны и диэлектрическая проницаемость).
Добавим в секцию Plot переменные ValenceBandEnergy и ConductionBandEnergy.
4.3. Результаты моделирования
Постройте семейство выходных ВАХ HEMT (рис. 9).
Рис. 9. Выходные ВАХ HEMT
Расстояние между ветвями при 0 и –1 В на затворе HEMT гораздо боль-ше, чем у ПТШ. Это означает, что при одном и том же изменении напряжения на затворе изменение тока стока GaAs HEMT гораздо больше, чем у GaAs ПТШ, т. е. крутизна характеристики транзистора с гетеропереходом существенно выше, чем у обычного транзистора с легированным каналом. Отсечка HEMT наступает при напряжении на затворе –2 В.
Построим зонные диаграммы. Для этого откроем plot0_0000_des.tdr в SVisual.
Сделаем срез по оси X под затвором в точке X = 1,5 мкм, после чего в модуле SVisual будет создан график, отображающий зависимость от координаты той величины, которая была активна при создании среза.
Для отображения зонной диаграммы и распределения концентрации электронов вдоль сечения выберем переменные ConductionBandEnergy, ValenceBandEnergy и eDensity (рис. 10).
Рис. 10. Зонные диаграммы и распределение концентрации электронов вдоль сечения через центр HEMT
4.4. Задания для самостоятельного выполнения
Рассчитаем управляющую характеристику изучаемого HEMT-транзистора при стоковом напряжении VDRAIN = 5 В и сравним ее с аналогичной характеристикой исходной структуры ПТШ (рис. 11).
Рис. 11. Сравнение управляющих характеристик HEMT и ПТШ
Из рисунка видно, что крутизна характеристики выше у HEMT.
Более высокой эффективностью управления обладает HEMT, поскольку высокая подвижность электронов и низкое сопротивление канала в нем обеспечивают более высокую скорость переключения по сравнению с ПТШ. Благодаря гетероструктуре, HEMT требует меньшего напряжения на затворе для включения и выключения.
