Добавил:
Barlavonus
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Uchebnoe_posobie_po_laboratornym_rabotam
.pdfКондрашов Александр Викторович Михайлов Николай Иванович Перепеловский Вадим Всеволодович
Элементы микро- и наноэлектроники
Лабораторный практикум
Редактор М. Б. Шишкова
–––––––––––––––––––––––––––
Подписано в печать __.__.__. Формат 60 84 1/16. Бумага офсетная. Печать цифровая. Печ. л.
Гарнитура «Times New Roman». Тираж ___ экз. Заказ .
–––––––––––––––––––––––––––
Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ» 197376, С.-Петербург, ул. Проф. Попова, 5
31
Соседние файлы в предмете Микро - и наноэлектроника