Метод материального баланса в технологии полупроводников (практические задания)
.pdf
Варианты таблиц потерь (табл. 6.6, табл. 6.7).
|
|
|
|
|
|
Таблица 6.6 |
||
|
Таблица потерь, вариант 1 |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица потерь, |
|
Входной |
Травление |
|
Отмывка |
|
Выходной |
|
вариант 1 |
|
контроль |
|
|
контроль |
|
||
Подложки |
|
0,01 |
0,03 |
|
0,05 |
|
0,01 |
|
Соляная кислота |
|
0 |
0,06 |
|
0 |
|
0 |
|
Деионизованная вода |
|
0 |
0,05 |
|
0,08 |
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
Таблица 6.7 |
||
|
Таблица потерь, вариант 2 |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица потерь, |
|
Входной |
Травление |
|
Отмывка |
|
Выходной |
|
вариант 2 |
|
контроль |
|
|
контроль |
|
||
Подложки |
|
0,01 |
0,02 |
|
0,06 |
|
0,01 |
|
Соляная кислота |
|
0 |
0,04 |
|
0 |
|
0 |
|
Деионизованная вода |
|
0 |
0,02 |
|
0,1 |
|
0 |
|
Варианты условий для расчета представлены в табл. 6.8.
|
|
|
|
|
Таблица 6.8 |
||
|
|
Условия для расчета |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Программа |
|
Соотно- |
|
|
|
Вариант |
Вариант |
Глубина |
шение |
Диаметр |
||
|
выпуска |
||||||
Вариант |
таблицы |
таблицы |
травления, |
соляной |
пластины, |
||
подложек, |
|||||||
|
расходов |
потерь |
шт |
мкм |
кислоты |
м |
|
|
|
|
|
и воды |
|
||
|
2 |
|
|
|
|
||
1 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
||
1 |
1 |
1 |
1000 |
10 |
1:9 |
0,2 |
|
2 |
1 |
2 |
3000 |
20 |
2:5 |
0,3 |
|
3 |
1 |
1 |
5000 |
30 |
3:10 |
0,45 |
|
4 |
1 |
2 |
2600 |
40 |
4:7 |
0,2 |
|
5 |
1 |
1 |
2000 |
50 |
5:11 |
0,3 |
|
6 |
1 |
2 |
7500 |
10 |
1:9 |
0,45 |
|
7 |
1 |
1 |
2000 |
20 |
2:5 |
0,2 |
|
8 |
1 |
2 |
1700 |
30 |
3:10 |
0,3 |
|
9 |
1 |
2 |
6000 |
40 |
4:7 |
0,45 |
|
10 |
1 |
1 |
2200 |
50 |
5:11 |
0,3 |
|
|
|
|
|
|
|
51 |
|
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
1.Мартынов, В. В. Технология сверхбольших интегральных схем и оптико-механическое оборудование для микро-и наноэлектроники / В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий; Национальная академия наук Беларуси. – Минск : Беларуская навука, 2018. – 466 с.: ил., цв. ил., схемы, табл.
2.Колосницын, Б. С. Полупроводниковые приборы и элементы интегральных микросхем: [учебно-методическое пособие для специальности 1-41 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии
исистемы»] / Б. С. Колосницын, А. Г. Черных; кол. авт. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2015. – 85 с.: ил.
3. Готра, З. Ю. Технология микроэлектронных устройств / З. Ю. Готра. – Москва : Радио и связь, 1991. – 528 с.
4.Ефимов, И. Е. Микроэлектроникa / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов – 2-е изд. – Москва : Высшая школа, 1986. – 464 с.
5.Аваев, Н. А. Основы микроэлектроники. Учебное пособие для студентов радиотехнических специальностей ВУЗов / Н. А. Аваев, Ю. Е. Наумов, В. Т. Фролкин. – Москва : Радио и связь, 1991. – 288 с.
6.Курносов, А. И. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Учебное пособие для студентов вузов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. – 3-е изд. – Москва : Высшая школа, 1986. – 368 с.
7.Будневич, М. Технологическая подготовка производства печатных плат / М. Будневич // Электроника. – 2004. – № 5. – С. 30–33.
52
Учебное издание
БАЛОХОНОВ Дмитрий Валентинович
МЕТОД МАТЕРИАЛЬНОГО БАЛАНСА В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ (ПРАКТИЧЕСКИЕ ЗАДАНИЯ)
Учебно-методическое пособие для студентов специальности 1-27 01 01 «Экономика
иорганизация производства (по направлениям)» по направлению 1-27 01 01-08 «Экономика
иорганизация производства (приборостроение)»
Редактор П. П. Горбач Компьютерная верстка Е. А. Беспанской
Подписано в печать 08.06.2023. Формат 60 84 1/16. Бумага офсетная. Ризография. Усл. печ. л. 3,08. Уч.-изд. л. 2,05. Тираж 100. Заказ 269.
Издательиполиграфическоеисполнение:Белорусскийнациональныйтехническийуниверситет. Свидетельство о государственной регистрации издателя, изготовителя, распространителя печатных изданий № 1/173 от 12.02.2014. Пр. Независимости, 65. 220013, г. Минск.
53