Задания для самостоятельной работы

Таблица 2.1

Длина и ширина,

Толщина слоев,

Материалы слоев

Нагрузка, Па

мкм

мкм

1,5

2,3

1,5

Нитрид кремния–

8000

100 100

Диоксид кремния–

Нитрид кремния

1

1,5

1

Диоксид кремния–

5000

75 75

Карбид кремния–

Диоксид кремния

Нитрид кремния–

120 120

2

3,2

2

Диоксид кремния–

8500

Нитрид кремния

5

6,4

5

Диоксид кремния–

10000

400 400

Карбид кремния–

Диоксид кремния

1

1,4

1

Нитрид кремния–

3500

50 50

Диоксид кремния–

Нитрид кремния

Диоксид кремния–

90 90

2

2,5

2

Карбид кремния–

4200

Диоксид кремния

1,5 2 1,5

Нитрид кремния–

3800

110 110

Диоксид кремния–

Нитрид кремния