Технология оптического приборостроения
.pdf
Министерство образования Республики Беларусь
БЕ ОРУССКИЙ НАЦИО НАЛЬНЫЙ Т ЕХНИЧЕСКИ УНИВЕРСИ ЕТ
Кафедра «Лазерная техника и технология»
А. С. Козе рук
ТЕХНОЛОГИЯ ОП ТИЧЕСКОГО ПРИ БОРОСТРОЕНИЯ
Минск
БНТУ
2 0 1 6
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬ Белорусский национальный технический университет
Кафедра «Лазерная техника и технология»
А.С. Козерук
ТЕХНОЛОГИЯ ОПТИЧЕСКОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ
Допущено Министерством образования Республики Беларусь в качестве учебного пособия для студентов учреждений высшего образования
по специальностям «Оптико-электронные и лазерные приборы и системы», «Механические и электромеханические приборы и аппараты»
Минск
БНТУ
2016
1
УДК 681.7.02(075.8) ББК 34.96я7
К59
Рецензенты:
кафедра технологии стекла и керамики Белорусского государственного технологического университета (зав. кафедрой – доктор технических наук,
профессор И. А. Левицкий);
кандидат технических наук, доцент, директор ОАО «Оптическое станкостроение и вакуумная техника» В. С. Томаль
Козерук, А. С.
К59 Технология оптического приборостроения: учебное пособие для студентов специальностей 1-38 01 02 «Оптико-электронные и лазерные приборы и системы» и 1-38 01 01 «Механические и электромеханические приборы и аппараты» / А. С. Козерук. – Минск : БНТУ, 2016. – 504 c.
ISBN 978-985-550-739-1.
Приведены современные методы получения деталей из основных конструкционных материалов оптического приборостроения: стекла, металлов и пластмасс.
Рассмотрены теоретические основы и методы их практической реализации при нанесении покрытий на оптические детали и получении фотошаблонов.
Изложена последовательность операций сборки, юстировки и испытания линзовых, зеркально-призменных и оптико-электронных узлов и приборов в целом и проанализирована особенность конструкции применяемых при этом контрольно-юстировочных и измерительных приборов.
Описаны наиболее часто применяемые приемы ремонта приборов и используемый при этом инструмент и приспособления.
|
УДК 681.7.02(075.8) |
|
ББК 34.96я7 |
ISBN 978-985-550-739-1 |
© Козерук А. С., 2016 |
|
© Белорусский национальный |
|
технический университет, 2016 |
2
ОГЛАВЛЕНИЕ |
|
Введение ....................................................................................................................... |
12 |
Раздел 1 |
|
ИЗГОТОВЛЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ |
|
Глава 1. АБРАЗИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ .................................................................. |
14 |
1.1. Шлифующие абразивы естественного и искусственного происхождения.... |
14 |
1.2. Зернистость и зерновой состав абразивов......................................................... |
15 |
1.3. Регенерация абразивов........................................................................................ |
17 |
1.4. Полирующие абразивы........................................................................................ |
17 |
Глава 2. ВСПОМОГАТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ.................................................... |
19 |
2.1. Смазочно-охлаждающие жидкости ................................................................... |
19 |
2.2. Материалы для блокирования............................................................................ |
20 |
2.3. Материалы для изготовления полировальников.............................................. |
21 |
2.4. Материалы для защитных покрытий и оптические клеи................................. |
22 |
Глава 3. ОСНОВЫ ТЕОРИИ ШЛИФОВАНИЯ И ПОЛИРОВАНИЯ СТЕКЛА.. |
24 |
3.1. Действие абразивных зерен на стекло в процессе шлифования..................... |
24 |
3.2. Влияние основных технологических факторов на процесс шлифования...... |
25 |
3.3. Обработка стекла связанным шлифующим абразивом ................................... |
27 |
3.4. Сущность процесса полирования стекла........................................................... |
29 |
3.5. Влияние основных технологических факторов на производительность |
|
процесса полирования......................................................................................... |
30 |
Глава 4. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ФАКТОРЫ, ВЛИЯЮЩИЕ |
|
НА ФОРМООБРАЗОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ.................... |
33 |
4.1. Основные сведения о кинематике станков для обработки |
|
оптических деталей.............................................................................................. |
33 |
4.2. Влияние относительной линейной скорости |
|
при обработке плоскостей................................................................................... |
35 |
4.3. Влияние давления при обработке плоскости.................................................... |
39 |
4.4. Влияние неравномерного измельчения абразивных зерен |
|
и корректировки поверхности инструмента ............................................................ |
39 |
4.5. Влияние факторов настройки станка................................................................. |
40 |
Глава 5. ТРЕБОВАНИЯ К ОПТИЧЕСКИМ ДЕТАЛЯМ И МЕТОДЫ |
|
ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯ................................................................................ |
42 |
5.1. Чертежи оптических деталей.............................................................................. |
42 |
5.2. Показатели качества деталей.............................................................................. |
43 |
5.3. Виды операций обработки стекла...................................................................... |
46 |
5.4. Общие сведения о типах производства и технологическом процессе........... |
46 |
5.5. Технологическая документация......................................................................... |
47 |
3
Глава 6. БЛОКИРОВКА ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ............................................. |
48 |
6.1. Требования к блокировке оптических деталей и к наклеечным |
|
веществам............................................................................................................. |
48 |
6.2. Склеивание и блокировка заготовок при предварительной обработке.......... |
50 |
6.3. Способ эластичной блокировки линз ................................................................ |
50 |
6.4. Способ жесткой блокировки линз...................................................................... |
52 |
6.5. Блокировка призм твердеющим раствором...................................................... |
53 |
6.6. Блокировка высокоточных деталей................................................................... |
54 |
6.7. Блокировка призм и пластин оптическим контактом...................................... |
54 |
6.8. Блокировка детали действием сил капиллярного натяжения жидкости........ |
56 |
Глава 7. ПРЕДВАРИТЕЛЬНАЯ ОБРАБОТКА ЗАГОТОВОК ОПТИЧЕСКИХ |
|
ДЕТАЛЕЙ. АЛМАЗНЫЙ ИНСТРУМЕНТ............................................... |
56 |
7.1. Резание стекла...................................................................................................... |
56 |
7.2. Раскалывание, распиливание и кругление стекла............................................ |
57 |
7.3. Сверление и высверливание стекла................................................................... |
58 |
7.4. Алмазные абразивные круги............................................................................... |
59 |
7.5. Типовые формы алмазно-абразивных кругов и их выбор............................... |
61 |
7.6. Расчет алмазного абразивного инструмента на металлической связке ......... |
63 |
7.7. Изготовление алмазного абразивного инструмента......................................... |
64 |
Глава 8. ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ОБРАБОТКИ |
|
ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ......................................................................... |
66 |
8.1. Станки для тонкого алмазного шлифования и полирования.......................... |
66 |
8.2. Особенности точного формообразования плоских и сферических |
|
поверхностей алмазным инструментом............................................................ |
68 |
8.3. Станки для шлифования и полирования свободным абразивом |
|
и полирующей суспензией.................................................................................. |
72 |
Глава 9. МЕТОДЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ .................... |
73 |
9.1. Обработка по методу свободного притирания................................................. |
73 |
9.2. Обработка по методу «Синхроспид»................................................................. |
80 |
9.3. Магнитореологическое полирование оптических деталей.............................. |
84 |
Глава 10. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ |
|
ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ..................................................................... |
87 |
10.1. Проектирование технологических процессов................................................. |
87 |
10.2. Технология изготовления плоскопараллельных пластин и клиньев............ |
88 |
10.3. Технология изготовления призм...................................................................... |
98 |
10.4. Технология изготовления линз....................................................................... |
107 |
10.5. Контроль линз.................................................................................................. |
113 |
10.6. Соединение оптических деталей.................................................................... |
120 |
10.7. Изготовление пробных стекол........................................................................ |
123 |
4
Глава 11. ИЗГОТОВЛЕНИЕ АСФЕРИЧЕСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ... 125
11.1. Параметры асферических деталей................................................................. |
125 |
11.2. Правила выполнения чертежей оптических деталей с асферическими |
|
поверхностями................................................................................................. |
127 |
11.3. Способы формообразования асферических оптических деталей............... |
128 |
11.4. Контроль асферических поверхностей.......................................................... |
131 |
Глава 12. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ШКАЛ И СЕТОК..................................................... |
136 |
12.1. Общие сведения о шкалах и сетках ............................................................... |
136 |
12.2. Механические методы изготовления шкал................................................... |
137 |
12.3. Фотолитографический метод изготовления сеток ....................................... |
145 |
12.4. Изготовление фотошаблонов.......................................................................... |
151 |
12.5. Основное технологическое оборудование для получения |
|
фотошаблонов.................................................................................................. |
157 |
Глава 13. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ШАРОВИДНЫХ ДЕТАЛЕЙ ИЗ СТЕКЛА........... |
160 |
13.1. Предварительная обработка шариков по классической технологии.......... |
160 |
13.2. Метод пневмоцентробежной обработки шариков........................................ |
162 |
13.3. Модернизированное устройство для пневмоцентробежной |
|
обработки шариков.......................................................................................... |
163 |
13.4. Устройство для формообразования шаровидных деталей широкого |
|
диапазона диаметров....................................................................................... |
165 |
13.5. Классические методы шлифования и полирования стеклянных шариков.... |
167 |
13.6. Перспективный метод финишной обработки стеклянных шариков.......... |
168 |
13.7. Центрирование микролинз.............................................................................. |
170 |
Глава 14. ОБРАБОТКА КРИСТАЛЛОВ ................................................................ |
171 |
14.1. Технологические свойства кристаллов.......................................................... |
171 |
14.2. Механическая обработка кристаллов............................................................ |
172 |
14.3. Изготовление оптических деталей из некоторых кристаллов..................... |
175 |
Глава 15. ИЗГОТОВЛЕНИЕ СТЕКЛОМЕТАЛЛИЧЕСКИХ ЗЕРКАЛ ............... |
178 |
15.1. Характеристика деталей.................................................................................. |
178 |
15.2. Конструкция стеклометаллических зеркал................................................... |
178 |
15.3. Материалы для стеклометаллических зеркал и физическая сущность |
|
процесса спекания........................................................................................... |
179 |
15.4. Технология изготовления стеклометаллических зеркал.............................. |
180 |
Литература к разделу 1............................................................................................. |
181 |
Раздел 2 |
|
НАНЕСЕНИЕ СПЕЦИАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОПТИЧЕСКИЕ ДЕТАЛИ
Глава 16. ФОРМИРОВАНИЕ И СТРУКТУРА ТОНКИХ ПЛЕНОК................... |
185 |
16.1. Общие положения............................................................................................ |
185 |
16.2. Металлические покрытия................................................................................ |
186 |
5
16.3. Эпитаксиальные пленки.................................................................................. |
191 |
16.4. Процессы старения.......................................................................................... |
194 |
16.5. Образование пор в конденсированных пленках........................................... |
196 |
16.6. Напряжения в пленках..................................................................................... |
203 |
16.7. Измерение механических свойств покрытий................................................ |
206 |
Глава 17. ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ........................................... |
210 |
17.1. Металлические покрытия................................................................................ |
210 |
17.2. Неметаллические покрытия............................................................................ |
213 |
Глава 18. ВАКУУМНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ................................. |
218 |
18.1. Сущность метода ............................................................................................. |
218 |
18.2. Подготовка подложек к нанесению покрытий ............................................. |
219 |
18.3. Формирование покрытия ................................................................................ |
221 |
18.4. Испарение материалов .................................................................................... |
222 |
18.5. Перенос вещества от испарителя к подложке............................................... |
222 |
18.6. Способы получения однородных по толщине покрытий............................ |
224 |
18.7. Специальные методы получения однородных по толщине покрытий ...... |
231 |
18.8. Электронно-лучевой нагрев............................................................................ |
236 |
18.9. Лазерный нагрев .............................................................................................. |
238 |
Глава 19. ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ................... |
240 |
19.1. Сущность ионно-плазменного нанесения покрытий................................... |
240 |
19.2. Взаимодействие энергетических ионов с материалом................................. |
242 |
19.3. Формирование покрытий в процессе ионно-плазменного |
|
и ионно-лучевого нанесения........................................................................... |
245 |
Литература к разделу 2............................................................................................. |
248 |
Раздел 3 |
|
ИЗГОТОВЛЕНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ |
|
Глава 20. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДЕТАЛЕЙ |
|
ИЗ МЕТАЛЛА И ТЕХНОЛОГИЧНОСТЬ ИХ КОНСТРУКЦИИ....... |
250 |
20.1. Структура технологического процесса изготовления деталей................... |
250 |
20.2. Свойства технологических процессов........................................................... |
250 |
20.3. Технологическая подготовка производства.................................................. |
251 |
20.4. Виды технологичности.................................................................................... |
251 |
20.5. Стадии технологичности................................................................................. |
252 |
20.6. Общие требования к технологичности конструкции деталей..................... |
252 |
20.7. Общие требования к технологичности конструкции деталей |
|
при механической обработке.......................................................................... |
254 |
20.8. Технологические требования к элементарным поверхностям |
|
деталей приборов............................................................................................. |
254 |
6
20.9. Общие требования к технологичности конструкции |
|
при термической обработке............................................................................ |
260 |
20.10. Технологические особенности конструирования деталей |
|
из пластмасс и металлокерамики................................................................. |
260 |
Глава 21. ОБРАБОТКА ДЕТАЛЕЙ ДАВЛЕНИЕМ .............................................. |
261 |
21.1. Особенности процесса механической штамповки и конструкция |
|
штампов............................................................................................................. |
261 |
21.2. Высокоэнергетические методы штамповки.................................................. |
263 |
21.3. Прессование и конструкция пресс-форм....................................................... |
264 |
Глава 22. МЕТОДЫ ОБРАБОТКИ МЕТАЛЛОВ. ЭЛЕМЕНТЫ РЕЖИМА |
|
РЕЗАНИЯ И РЕЖУЩИЙ ИНСТРУМЕНТ........................................... |
266 |
22.1. Отделочные методы обработки...................................................................... |
266 |
22.2. Движение рабочих узлов станка и элементы режима резания.................... |
267 |
22.3. Типы приводов и передач станков................................................................. |
269 |
22.4. Классы и конструктивные элементы инструментов.................................... |
270 |
22.5. Инструментальные материалы....................................................................... |
271 |
22.6. Классификация инструментов........................................................................ |
272 |
Глава 23. ОСНОВЫ ПРОЦЕССА РЕЗАНИЯ МЕТАЛЛОВ................................. |
274 |
23.1. Общая характеристика материалов................................................................ |
274 |
23.2. Свойства металлов........................................................................................... |
274 |
23.3. Общие понятия о процессе резания............................................................... |
275 |
23.4. Процесс образования стружки и ее типы...................................................... |
276 |
23.5. Образование нароста при резании................................................................. |
277 |
23.6. Вибрации при резании материалов................................................................ |
278 |
Глава 24. ТОЧЕНИЕ И ФРЕЗЕРОВАНИЕ............................................................. |
279 |
24.1. Классификация резцов общего назначения .................................................. |
279 |
24.2. Общие сведения о токарных станках............................................................. |
280 |
24.3. Обработка эксцентриковых деталей.............................................................. |
281 |
24.4. Общие сведения о процессе фрезерования................................................... |
282 |
Глава 25. СВЕРЛЕНИЕ И РАЗВЕРТЫВАНИЕ..................................................... |
283 |
25.1. Устройства для крепления осевых инструментов........................................ |
283 |
25.2. Типы, геометрические параметры и конструктивные элементы сверл ..... |
285 |
25.3. Конструкции разверток................................................................................... |
286 |
25.4. Инструментальная оснастка для станков с числовым программным |
|
управлением и автоматических линий.......................................................... |
287 |
Глава 26. ПРОТЯГИВАНИЕ, ПРОШИВАНИЕ, СТРОГАНИЕ |
|
И ДОЛБЛЕНИЕ. РЕЗЬБООБРАЗОВАНИЕ |
|
И АБРАЗИВНАЯ ОБРАБОТКА............................................................. |
289 |
26.1. Обработка протягиванием и прошиванием................................................... |
289 |
7
26.2. Особенности обработки строганием и долблением..................................... |
290 |
26.3. Способы получения резьб и применяемые инструменты............................ |
292 |
26.4. Абразивная обработка..................................................................................... |
293 |
Глава 27. ОБРАБОТКА ПЛАСТМАСС РЕЗАНИЕМ ........................................... |
295 |
27.1. Физические основы резания пластмасс......................................................... |
295 |
27.2. Обработка пластмасс резанием лезвийным инструментом......................... |
295 |
Глава 28. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКАЯ И ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ |
|
РАЗМЕРНАЯ ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ ...................................... |
298 |
28.1. Электроэрозионная обработка........................................................................ |
298 |
28.2. Ультразвуковая обработка.............................................................................. |
299 |
28.3. Электрохимическая и электронно-лучевая обработка. Обработка |
|
излучением лазера ........................................................................................... |
300 |
28.4. Плазменная обработка..................................................................................... |
302 |
28.5. Магнитно-абразивная обработка.................................................................... |
303 |
28.6. Технология быстрого прототипирования...................................................... |
305 |
Глава 29. ИЗГОТОВЛЕНИЕ НЕКОТОРЫХ ДЕТАЛЕЙ ОПТИЧЕСКИХ |
|
ПРИБОРОВ............................................................................................... |
307 |
29.1. Изготовление корпусных деталей.................................................................. |
307 |
29.2. Контроль корпусных деталей......................................................................... |
310 |
29.3. Изготовление оправ, колец и тубусов............................................................ |
315 |
29.4. Обработка окулярной резьбы......................................................................... |
321 |
29.5. Особенности обработки корпусов труб......................................................... |
323 |
29.6. Контроль оправ и тубусов............................................................................... |
324 |
29.7. Изготовление зубчатых колес и реек............................................................. |
327 |
Литература к разделу 3............................................................................................. |
331 |
Раздел 4 |
|
СБОРКА И ЮСТИРОВКА ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ |
|
Глава 30. ПРОЕКТИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА |
|
СБОРКИ ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ ................................................. |
332 |
30.1. Особенности оптических приборов............................................................... |
332 |
30.2. Основные понятия и определения.................................................................. |
333 |
30.3. Структура технологического процесса сборки............................................. |
333 |
30.4. Исходные данные, необходимые для проектирования процесса сборки... |
334 |
30.5. Общие требования технологии сборки к конструкции................................ |
335 |
30.6. Технологическая документация процесса сборки........................................ |
335 |
30.7. Разработка схем сборки................................................................................... |
336 |
30.8. Проектирование операционной технологии................................................. |
337 |
30.9. Экономическая оценка технологических процессов ................................... |
340 |
30.10. Типизация технологических процессов ...................................................... |
340 |
30.11. Технологичность и серийнопригодность.................................................... |
341 |
8
30.12. Проектирование сборочных приспособлений............................................ |
343 |
Глава 31. ТИПОВЫЕ РАБОТЫ, ВЫПОЛНЯЕМЫЕ ПРИ СБОРКЕ |
|
ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ.................................................................. |
344 |
31.1. Промывка механических деталей .................................................................. |
344 |
31.2. Чистка оптических деталей............................................................................. |
344 |
31.3. Выполнение разъемных и неразъемных соединений................................... |
345 |
31.4. Виды пригоночных работ и их выполнение ................................................. |
348 |
31.5. Смазка оптических приборов......................................................................... |
349 |
31.6. Герметизация оптических приборов.............................................................. |
349 |
Глава 32. СБОРКА И РЕГУЛИРОВКА ТИПОВЫХ УЗЛОВ ПРИБОРОВ......... |
350 |
32.1. Сборка и контроль направляющих ................................................................ |
350 |
32.2. Уравновешивание подвижных частей приборов.......................................... |
354 |
32.3. Сборка оптических деталей с механическими.............................................. |
356 |
32.4. Сборка и юстировка объективов.................................................................... |
358 |
32.5. Сборка и юстировка окуляров........................................................................ |
361 |
32.6. Сборка и юстировка систем переменного увеличения................................ |
362 |
32.7. Сборка и юстировка осветительных систем................................................. |
364 |
Глава 33. КОНТРОЛЬНО-ЮСТИРОВОЧНЫЕ И ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ |
|
ПРИБОРЫ................................................................................................. |
364 |
33.1. Коллиматоры. Устройство и назначение....................................................... |
364 |
33.2. Установка коллиматора на бесконечность.................................................... |
365 |
33.3. Центрирование коллиматора.......................................................................... |
368 |
33.4. Широкоугольный коллиматор........................................................................ |
370 |
33.5. Автоколлиматоры............................................................................................ |
371 |
33.6. Динаметры........................................................................................................ |
373 |
33.7. Трубка Юдина, окуляр-микрометр и объект-микрометр ............................ |
374 |
Глава 34. ПАРАМЕТРЫ ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ И МЕТОДЫ |
|
ИХ КОНТРОЛЯ....................................................................................... |
375 |
34.1. Разрешающая способность фотографического объектива.......................... |
375 |
34.2. Разрешающая способность микрообъектива................................................ |
378 |
34.3. Качество изображения оптических систем и его контроль......................... |
379 |
34.4. Определение фотометрических характеристик оптических приборов...... |
381 |
34.5. Измерение цветности объективов.................................................................. |
383 |
34.6. Измерение угла поля зрения........................................................................... |
385 |
34.7. Контроль и юстировка визирной линии в телескопических системах....... |
386 |
34.8. Параллакс в оптических приборах................................................................. |
389 |
Глава 35. ОСНОВНЫЕ ЮСТИРОВОЧНЫЕ ОПЕРАЦИИ................................... |
392 |
35.1. Операции и приемы юстировки ..................................................................... |
392 |
35.2. Стадии и задачи юстировки и методы их аналитического решения.......... |
392 |
35.3. Фокусировка изображения.............................................................................. |
393 |
9
