Технологии нано- и микросистемной техники

УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКАЯ КАРТА УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ

заочная форма получения высшего образования, интегрированного со средним специальным образованием1

1 Темы учебного материала, не указанные в Учебно-методической карте, отводятся на самостоятельное изучение студента.

ИНФОРМАЦИОННО-МЕТОДИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ

Список литературы

Основная литература

14.Ремпель, А. А., Валеева, А.А. Материалы и методы нанотехнологий : учеб. пособие / А.А. Ремпель, А.А. Валеева.— Екатеринбург : Изд-во Урал.

ун-та, 2015.— 136 с.

15.Лапшинов, Б.А. Технология литографических процессов. Учеб. пособ.

М.: МИЭМ, 2011.- 95 с.

16.Агеев, О.А., Федотов, А.А., Смирнов, В.А. Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники: Учебное пособие/ О.А.Агеев, А.А. Федотов, В.А. Смирнов.- Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2010. – 72 с.

17.Раскин, А. А. Прокофьева, В. К. Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : учебное пособие, ч.1 /А. А. Раскин, В. К.Прокофьева – 2-е

изд. - М: Бином, 2010. – 164 с.

18.Орликов, Л.Н. Технология материалов и изделий электронной техники: Учебное пособие /Л.Н. Орликов.- Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2007. - 382 c.

19.Андриевский, Р.А., Рагуля, А.В. Наноструктурные материалы/ Р.А.Андриевский., А.В Рагуля - М.: Изд.центр «Академия», 2005.- 192 с.

20.Ануфриенко, В.В. Процессы и оборудование фотолитографической обработки/ В.В. Ануфриенко. - М.: МИЭТ, 1998 – 68 с.

21.Березин, А.С. Технология и конструирование интегральных микросхем / А.С.Березин, О.Р. Могалкина – Москва: Радио и связь, 1992. – 432 с.

22.Достанко, А. П. Технология производства ЭВМ : учебник / А. П. Достанко, М. И. Пикуль, А. А. Хмыль. – Минск: Высшая школа, 1994. – 346 с.

23.Розанов, Л.Н. Вакуумная техника: Учеб. для вузов по спец. «Вакуумная техника» /Л.Н.Розанов. – Москва: Высшая школа, 1990. – 320 с.

Дополнительная литература

1.Материалы современной электроники / В.Ф.Марков [и др.]; под общ. ред. В.Ф.Маркова - Екатеринбург: Изд-во Урал. ун-та, 2014. – 272 с

2.Суздалев, И.П. Нанотехнология: физикохимия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов/ И.П. Суздалев - М.: КомКнига, 2006. -592 с.

3.Процессы микро- и нанотехнологии / Т.И. Данилина [и др.]; - Томск:

ТУСУР, 2005. - 315 с.

4.Фролов, Г.И., Жигалов, В.С. Физические свойства и применение магнитопленочных нанокомпозитов/ Г.И.Фролов, В.С. Жигалов - Новосибирск: Изд. СО РАН, 2006.- 188 с.

Средства диагностики результатов учебной деятельности

Оценка уровня знаний студента производится по десятибалльной шкале в соответствии с критериями, утвержденными Министерством образования Республики Беларусь.

Для оценки достижений студента рекомендуется использовать следующий диагностический инструментарий:

устный и письменный опрос во время практических занятий;

проведение текущих контрольных работ по отдельным темам;

защита выполненных на лабораторных занятиях индивидуальных заданий;

защита выполненных в рамках самостоятельной работы индивидуальных заданий;

собеседование при проведении индивидуальных и групповых консультаций;

выступление студента на конференции по подготовленному реферату;

защита курсового проекта;

сдача зачета по дисциплине; сдача экзамена.

Перечень тем практических занятий

1.Примеры использования локального зондового окисления для создания наноструктур и элементов наноэлектроники.

2.Исследование нанотрубок методами сканирующей электронной микроскопии и микроанализа.

3.Этапы производства пластин из слитков монокристаллического кремния.

4.Особенности технологического маршрута изготовления интегральных схем на основе GaAs.

5.Селективные и полирующие травители. Лимитирующие стадии травления.

6.Устройство установки молекулярно-лучевой эпитаксии.

7.Механизмы окисления. Классификация методов окисления и получаемых окислов.

8.Расчет глубины залегания p-n перехода. Распределение примеси при диффузии из ограниченного и бесконечного источника.

9.Способы нанесения фоторезистов.

10.Плазменные методы в технологии наноструктур.

11.Функции основных элементов вакуумных систем.

12.Физические принципы контроля толщины напыляемых пленок.

13.Методы синтеза порошков для нанокерамики.

14.Технология кремниевой объёмной и поверхностной микрообработки.

Перечень тем лабораторных работ

1.Исследования структуры и фазового микро- и нанообъектов методами просвечивающей электронной микроскопии

2.Устройство, принцип действия, основные методы поиска и устранения неисправностей при работе на вакуумном напылительном оборудовании

3.Исследования фазового состава тонкопленочных систем на просвет и на отражение методами электронографии

4.Исследование наноразмерных материалов методами сканирующей электронной микроскопии

Примерный перечень тем курсовых проектов

1.Особенности технологических процессов с применением рентгенолитографии

2.Технология формирования пористого кремния

3.Технология формирования фотошаблонов

4.Формирование графена методом химического осаждения

5.Технологические процессы с использованием ионолитографии

6.Технологии формирования полевых транзисторов

7.Основные методы формирования фуллеренов

8.Основные технологии формирования углнродных нанотрубок

9.Технологии создания солнечных элементов

10.Технологические процессы при формировании МОП-транзисторов

11.Технологические процессы поверхностной микрообработки для производства МЭМС

12.Создание структур кремний на изоляторе для формирования микро- и наносистем.

13.Технология очистки пластин кремния для формирования элементов микросистемной техники.

14.Технология контроля качества пластин полупроводниковых материалов. 15.Технология формирования силицидов тугоплавких металлов для микро- и

наноэлектроники.

16.Технологические процессы герметизации микроэлектронных устройств.

Методические рекомендации по организации и выполнению самостоятельной работы студентов

При изучении дисциплины рекомендуется использовать следующие формы самостоятельной работы:

решение индивидуальных задач в аудитории во время проведения практических занятий под контролем преподавателя в соответствии с расписанием;

подготовка курсового проекта по индивидуальным заданиям.

Методы (технологии) обучения

Основными методами (технологиями) обучения, отвечающими целям изучения дисциплины, являются:

элементы проблемного обучения (проблемное изложение, вариативное изложение, частично-поисковый метод), реализуемые на лекционных занятиях; элементы учебно-исследовательской деятельности, творческого подхода, реализуемые на или лабораторных работах и при самостоятельной

работе;

коммуникативные технологии (дискуссия, учебные дебаты, и другие формы и методы), реализуемые на практических занятиях и конференциях.