- •Введение
- •1. Свободный электрон. Электрон в твердом теле
- •1.1. Плоская волна
- •1.2. Волновой пакет
- •1.3. Расчет движущегося волнового пакета
- •2. Зонная структура полупроводников
- •2.1. Формирование ковалентного кристалла
- •2.2. Кристаллическая решетка
- •2.3. Индексы Миллера
- •2.4. Зона Бриллюэна. Зонная структура полупроводников
- •2.5. Эффективная масса носителей заряда. Ширина запрещенной зоны
- •2.6. Проявление зонной структуры полупроводников в различных явлениях. Масса плотности состояний
- •2.7. Твердые растворы полупроводников
- •3. Дефекты и ПРИМЕСИ
- •3.1. Свойства примесей и дефектов
- •3.2. Водородоподобные примеси
- •4.1. Функция распределения Ферми–Дирака. Плотность разрешенных состояний
- •4.3. Уравнение электронейтральности
- •4.4. Основные и неосновные носители заряда
- •5.1. Основные механизмы рассеяния. Общие положения
- •5.2. Рассеяние носителей заряда на динамических дефектах
- •5.3. Рассеяние на статических дефектах (ионизованная примесь)
- •5.4. Смешанное рассеяние носителей заряда
- •6. Неравновесные носители заряда в полупроводниках. ГЕНЕРАЦИЯ И РЕКОМБИНАЦИЯ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА
- •6.1. Квазиуровни Ферми
- •6.2. Скорости генерации и рекомбинации
- •6.3. Основные уравнения для расчета неравновесных носителей заряда
- •6.5. Рекомбинационные явления в полупроводниках
- •6.6. Рекомбинация Шокли–Рида через статические дефекты
- •Список РЕКОМЕНДУЕМОЙ литературы
- •ПРИЛОЖЕНИЕ
- •Оглавление
Задача 6.22.
На рис. 6.2, а представлен график Аррениуса в координатах частота ω от обратной температуры 1/T. Данный график характеризует температурную зависимость скорости эмиссии носителя заряда ep с глубокого уровня, выража-
емую формулой(6.14).Впакете MathCAD определить энергиюактивации глубокого уровня Et по наклону графика Аррениуса, учитывая, что эксперимен-
тальные точки удовлетворяют равенству ep = ω. Температурной зависимо-
стью предэкспоненциального множителя пренебречь.
Ответ: Et = 275 мэВ.
а |
б |
Рис. 6.2. График Аррениуса (а); температурные спектры высокочастотной проводимости образца (б)
Задача 6.23.
В эксперименте измерены температурные спектры высокочастотной проводимости образца, зависящие от частоты тестового сигнала (рис. 6.2, б).
Построить график Аррениуса в координатах ω от 1/T, как в предыдущей задаче. В качестве точекдля графикавзять температуры максимумов спектров при следующихчастотахf:2000,1000,500,200,100,50,20,10,5,2,1кГц.Понаклону прямой Аррениуса определить энергию активации найденного процесса.
Ответ: Et = 75 ± 15 мэВ.
6.5. Рекомбинационные явления в полупроводниках
Рекомбинацией называется релаксация свободного носителя заряда в связанное состояние с выделением энергии или, иными словами, локализация свободногоносителязаряда. Данныйтерминизначальнообязанпарнойреком-
63
бинации электрона и дырки после поглощения кристаллом фотона, однако существуют и другие механизмы рекомбинации.
В прямозонных полупроводниках доминирует механизм излучательной рекомбинации.
Укажите отличительные особенности излучательной рекомбинации.
6.6. Рекомбинация Шокли–Рида через статические дефекты
Рекомбинация Шокли–Рида наблюдается в легированных или содержащих дефекты полупроводниках.
Пусть рекомбинационный центр имеет донорную природу и σn > σp . Та-
кой центр, будучи в нейтральном состоянии, может захватить дырку, а будучи заряженным (ионизованным), способен захватить электрон. Рекомбинация через простой дефект проходит, таким образом, в 2 этапа: захват одного сорта носителя заряда и последующий захват носителя другого сорта. При этом очевидно, что в нейтральном состоянии у донорного центра сечение захвата будет намного меньше.
Введем обозначения
τp0 = |
1 |
, τn0 = |
1 |
. |
|
Nt cp p |
Nt cn n |
||||
|
|
|
С учетом этих обозначений получаем окончательно
|
n0 + n1 + ∆n |
|
p0 + p1 + ∆p |
|
|||
τШ-Р = τp0 |
|
|
+ τn0 |
|
|
. |
(6.15) |
n |
+ p + ∆n |
n |
+ p + ∆p |
||||
0 |
0 |
0 |
0 |
|
|
||
Первый член в полученном выражении для постоянной времени отвечает за захват дырки, второй – электрона.
Уровнивблизикраевразрешенныхзонпреимущественноиграютрольловушек носителей заряда. В то же время э нергетические уровни вблизи середины запрещенной зоны очень эффективны для рекомбинации.
Постоянная времени Шокли–Рида зависит от параметров полупроводника (равновесных концентраций электронов и дырок), уровня легирования и уровня возбуждения, а также от температуры и природы глубокого уровня.
Задача 6.24.
Вn-Ge имеются центры рекомбинациис Et =(EC − EV )
2 иNt =5·1012 см–3. При 300 К сечения захвата электронов и дырок одинаковы, при малых отклонениях от равновесия τ = 10–4 с, ρ = 5 Ом·см. Найти сечение захвата σ.
64
Решение.
Постоянную времени рекомбинации Шокли–Рида в пренебрежении из-
быточной концентрацией носителей заряда запишем как |
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
τ = (v |
σN )–1 (n |
0 |
+ p |
0 |
+ n |
1 |
+ p |
1 |
)/(n |
0 |
+ p |
0 |
), |
|||||
|
|
|
|
т |
|
t |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
ED − EC |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
где n = N |
|
exp |
; v |
|
= |
|
3k T m* |
. |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
C |
k T |
|
т |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
1 |
|
|
|
|
|
|
B |
|
n |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
B |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Вычислим вошедшие сюда концентрации: |
|
||||||||
n0 = (ρqμn)–1 = 3.3·1014 см–3; |
p0 = ni2/n0 = 2·1013 см–3; |
||||||||
n = N |
|
exp |
|
− |
EG |
|
= p = n = 8·1013 |
см–3. |
|
C |
|
|
|||||||
1 |
|
|
2k T |
|
1 i |
|
|||
|
|
|
|
|
B |
|
|
|
|
Отсюда σ ≈ 2.3·10–16 см2.
Задача 6.25.
В n-Ge с n0 = 1015 см–3 стационарным освещением равномерно по объему генерируются пары носителей заряда. При слабом освещении τ0 = 2 мкс, а при n/n0 = 0.1 рекомбинация идет с постоянной времени τ = 4.7 мкс. Считая, что рекомбинация происходит на глубоких уровнях с Et = EC – 0.2 эВ, определить
отношение сечений захвата дырок и электронов при комнатной температуре.
Решение.
Выражения для постоянной времени в двух случаях имеют вид:
|
∆n |
|
|
|
n1 |
|
; |
τ = τn0 |
|
+ τp0 |
1 |
+ |
|
|
|
n + ∆n |
n + ∆n |
||||||
0 |
|
|
0 |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n1 |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
τ |
0 |
= τ |
p0 |
1+ |
. |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
n0 |
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
Найдем отношение выражений для τ и τ0 : |
|
|
||||||||||||||||||
|
|
n1 |
|
τ |
|
|
τn0 |
|
|
∆n |
|
n1 |
|
|
||||||
1 |
+ |
|
|
|
|
= |
|
|
|
|
|
|
|
+ |
|
+1. |
(6.16) |
|||
n |
τ |
0 |
τ |
p0 |
|
n |
|
+ ∆n |
n + ∆n |
|||||||||||
|
0 |
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
0 |
|
|
|||||||
Здесь n1 = NC exp (Et − EC )
(kBT ) = 4.7 1015 см–3.
Решая (6.16) относительно τn0
τp0 , получим искомое отношение сечений захвата: σp
σn = τn0
τp0 ≈89.
Задача 6.26.
Для образца n-Ge с ρ0 = 1.65 Ом·см при 300 К и слабом освещении значение времени жизни τ = τ0 = 2 мкс. При более интенсивном возбуждении
65
ρ1 = 1.275 Ом·см и τ = τ1 = 3.3 мкс. Считая, что рекомбинация Шокли–Рида идет черезглубокиецентры сэнергетическимуровнем Et = EV + 0.32 эВ, найти времена жизни τn0 и τp0 .
Решение.
В данном случае глубокий центр является ловушкой акцепторного типа. Для рассматриваемых условий времена жизни таковы:
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
τ |
n0 |
|
p |
|
|
|
|
||
|
τ |
0 |
= τ |
p0 |
1 |
+ |
|
|
1 |
|
; |
|
(6.17) |
||||||
|
τ |
|
|
n |
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
p0 |
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
τ |
n0 |
|
p + ∆n |
|
|
|||||||
τ |
= τ |
p0 |
1 |
+ |
|
|
|
1 |
|
|
|
. |
(6.18) |
||||||
τp0 |
n0 + ∆n |
||||||||||||||||||
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Вычислим входящие в выражения величины:
|
|
|
|
n |
= |
(ρ |
0 |
qµ |
n |
)−1 = 1·1015 см–3, |
|
|
||||||
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
p = N |
V |
exp (E |
|
|
− E |
t |
) (k T ) |
= 2.5·1013 см–3. |
||||||||||
1 |
|
|
|
|
V |
|
|
|
B |
|
|
|
|
|
||||
Из (6.17) и (6.18) определим отношение парциальных времен жизни τn0 |
||||||||||||||||||
и τp0 : |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
τn0 |
= |
|
|
|
|
|
|
|
|
1− τ0 τ1 |
|
|
|
. |
|||
|
τ |
p0 |
|
(p + ∆n)τ |
0 |
/ (n + ∆n)τ − p n |
|
|||||||||||
|
|
|
1 |
|
|
|
|
0 |
|
1 |
1 |
0 |
|
|||||
Тогда из (6.17) находим τp0 ≈1.8 мкс и далее τn0 ≈8 мкс.
66
