Англо-русский терминологический словарь по микросистемной технике

ISBN 985-479-169-6

© Кипнис И. Ю., Лацапнёв Е. В.,

Яшин К. Д., 2005

A

опция распределения

“array” option

микросистемы полного анализа

µ-TAS

работоспособность

ability to work

удаление воздействий лазерного излучения

ablation

поглощать, впитывать, абсорбировать

absorb

поглотитель; абсорбер; поглощающий фильтр

absorber

абсорбция – поглощение вещества из смеси газов

absorption

жидкостью

ускорять

accelerate

ускорение

acceleration

датчик ускорения

acceleration sensor

акселерометр, сенсор для измерения ускорения

accelerometer

накопление

accumulation

достигать, выполнять

achieve

кислота

acid

акустика;

acoustics

wave ~ волновая акустика

источник акустической электродвижущей силы –

acoustic electromotive

force element

преобразователь, который преобразует кинетиче-

скую энергию акустической волны в электриче-

скую энергию

активный катетер – катетер, который может дос-

active catheter

тигать места назначения, свободно изгибаясь по-

средством встроенного микроактюатора в ответ

на полученные внешние сигналы управления

приводить в действие

actuate

исполнительное устройство - возбуждающий ме-

actuator

ханизм, который приводит в действие устройство;

electrostatic ~ электростатическое исполнитель-

ное устройство

hydraulic ~ гидравлическое исполнительное уст-

ройство

linear ~ линейный исполнительный механизм

magnetic ~ магнитное исполнительное устройство

piezoelectric ~ пьезоэлектрическое исполнитель-

ное устройство

thermal ~ термоисполнительное устройство

VLSI ~ СБИС преобразователь

примесь; присадка; добавка; аддитивный;

additive

dope ~ легирующая примесь

аденилпирофосфат (C10H16N5O13P3)

adenosine triphosphate

(ATP)

прилипать, приклеиваться

adhere

сцепление; прилипание; множество изолированных

adherence

точек (при проектировании БИС);

die ~ сцепление кристалла с подложкой

прилипший, сцеплённый, клейкий, липкий

adherent

адгезия – cлипание разнородных твёрдых или

adhesion

жидких материалов, соприкасающихся своими

плоскостями

photoresist ~ адгезия фоторезиста

активатор склеивания

adhesion promoter

адгезионное соединение – технология соединения

adhesive bonding

материалов склеиванием, технология адгезионно-

го соединения подложек

смежный, расположенный рядом

adjacent

регулировка; подгонка;

adjustment

functional ~ функциональная подгонка

адсорбция – поглощение веществ из растворов

adsorption

или газов на поверхности твёрдого тела или жид-

кости

chemical ~ хемосорбция

возбуждать

agitate

выравнивать, спрямлять, выстраивать в линию,

align

центрировать

совмещение; ориентация;

alignment

coarse ~ грубое совмещение; грубая ориентация

die-by-die ~ последовательное совмещение от

кристалла к кристаллу

diffraction grating ~ совмещение с использовани-

ем дифракционной решетки

double-diffraction ~ совмещение с использовани-

ем двойной дифракции

epitaxial ~ эпитаксиальная ориентация

fine ~ точное совмещение; точная ориентация

Fresnel-zone ~ совмещение с использованием

френелевских зон

full-wafer [global wafer] ~ совмещение по всему

полю полупроводниковой пластины

laser interferometric ~ совмещение с использова-

нием лазерного интерферометра

laser scanning ~ лазерное совмещение

level-to-level ~ послойное совмещение; совмеще-

ние слоев

mask-to-wafer ~ совмещение фотошаблона с по-

лупроводниковой пластиной

multiple-mask ~ совмещение между фотошабло-

материала, при которой травление в различных

направлениях происходит с различной скоростью

Отжиг – вид термической обработки, заключаю-

annealing

щийся в нагреве металла, сплава или стекла, вы-

держке при температуре нагрева и последующем

медленном охлаждении для удаления внутренних

напряжений и получения менее хрупкого мате-

риала;

bulk ~ объемный отжиг

capless ~ отжиг без защитного покрытия

capping ~ отжиг с защитным покрытием

contact ~ отжиг за счет контактного нагрева

diffusion ~ последиффузионный отжиг

hydrogen ~ отжиг в атмосфере водорода

implant(ation) ~ послеимплантационный отжиг

ion-beam ~ ионно-лучевой отжиг

lamp ~ ламповый отжиг

laser(-beam) ~ лазерный отжиг

light ~ радиационный отжиг

microwave ~ СВЧ-отжиг

plasma ~ плазменный отжиг

pulse ~ импульсный отжиг

rapid ~ быстрый отжиг

superficial ~ отжиг поверхности

thermal ~ термический отжиг

анодная (электростатическая) сварка, термоэлек-

anodic (electrostatic)

bonding

тродиффузионная сварка – метод герметичного

бесклеевого соединения стекла с кремнием

отверстие; апертура; диафрагма; апертурный;

aperture

numerical ~ числовая апертура

apparatus

установка

аргон – инертный газ

argon

искусственный орган – это устройство, которое

artificial organ

заменяет неправильно работающий орган и при-

нимает на себя его функции временно или

навсегда

длина устройства по отношению к его ширине в

aspect ratio (lateral)

пределах данной плоскости

высота устройства по отношению к глубине в

aspect ratio (vertical)

пределах данной плоскости

сборка

assembling

отслаивание, которому способствует какой-либо

assisted lift off

процесс

допущение, предположение;

assumption

arbitrary ~ произвольное допущение

tentative ~ первоначальное допущение

асинхронный

asynchronous

метод неконтактного измерения смещения вдоль

astigmatic focus error

detection

оптической оси посредством определения иска-

жения точечного изображения, проецируемого

астигматической оптической системой

атомно-силовой микроскоп

atomic force

microscope (AFM)

прикреплять, присоединять

attach

достижимый

attainable

полезный

attractive

автономное распределённое управление – метод

Autonomous

distributed control

управления, который позволяет выполнять рас-

пределённую индивидуальную работу без внеш-

него управления.

избегать; аннулировать;

avoid

оси;

axes

~ of reference координатные оси, система отсчета

concurrent ~ пересекающиеся оси

moving~ подвижные оси

oblique ~ оси косоугольной системы координат

rectangular ~ оси прямоугольной системы коор-

динат

solid ~ оси пространственной системы координат

ось;

axis

crystal ~ кристаллографическая ось

twin(ning) ~ двойниковая ось

B

процесс первоначального утончения задней сто-

back-grinding

роны подложки для скрайбирования до полировки

или процесс разрезания полупроводниковой пла-

стины для получения реального устройства

шарикоподшипник

ball bearing

полоса, диапазон, зона;

band

valence ~ валентная зона

conduction ~ зона проводимости

energy ~ энергетическая зона

width ~ разница между верхней и нижней часто-

той среза фильтра

полупроводниковый слиток; брусок;

bar

heating ~ нагревательный стержень (печи)

n-type ~ стержень (с электропроводностью) n-

типа

zone-levelled ~ слиток, полученный методом зон-

ного травления

база; базовая область; основание; подложка;

base

diffused ~ диффузионная база

extrinsic ~ пассивная база

insulating ~ диэлектрическая подложка

intrinsic ~ активная база

metal ~ металлическая база (транзистора)

oxide-walled ~ базовая область, ограниченная с

боковых сторон слоем оксида

package ~ основание корпуса

permeable ~ проницаемая база

boron ~ база, легированная бором

процесс изготовления определённого количества

batch process

деталей в едином цикле; периодический процесс

ванна;

bath

electrolythic [electroplating] ~ электролитическая

ванна; электролизер

etch ~ травильная ванная

plating ~ электролитическая ванна; электролизер

балка; луч, пучок лучей, пучок (частиц)

beam

double clamped ~ балка, зажатая с двух концов

laser ~ луч лазера

лучевая обработка – процесс обработки, исполь-

beam processing

зующий высокоплотные энергетические лучи

зазор в подшипнике

bearing clearance

поведенческая модель

behavioral model

изгибаться

bend

скашивать

bevel