Селективное травление жертвенного слоя

Скорости травления жертвенного оксида разного состава в травителе 1:1 HF:HCl

Травление жертвенных и буферных слоев в буферном травителе (7:1)

Рекомендуемый состав буферного травителя: плавиковая кислота

(HF, 48%), фтористый аммоний (NH4F, 40%) и вода (H2O) в соотношении 2:7:1.

Слипание в процессе освобождения структур

Электрохимическое травление

Строение пор в зависимости от времени и тока анодировния.

г д е

Изображения поверхности и срезов пористого кремния, полученные с помощью ФИП: а, б, в- образец КЭФ 0,3 (111) {I1=170 мА t1=30 мин, I2=40 мА t2=60 мин};

г, д, е –образец КЭФ 0,3 (111) {I=170 мА t=30 мин}.